排线装置及半导体制造设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种排线装置及半导体制造设备，涉及半导体制造技术领域。该排线装置包括托架和排线组件，托架包括承托体，排线组件包括多根并列排布的线缆和多个对线缆排布位置进行固定的线夹，多个线夹沿线缆的长度方向间隔排布，且位于第一端部的线夹作为固定线夹固设于承托体，与固定线夹相邻的线夹为主随动线夹，主随动线夹朝向承托体的一侧设有主随动磁铁，承托体朝向主随动线夹的一侧设有主固定磁铁，主固定磁铁与主随动磁铁位置相对应且磁极相同。该半导体制造设备包括运动模块、线缆台和上述排线装置。该排线装置中，线缆与托架接触摩擦产生的污染物颗粒量较小，能够确保周围环境的洁净度以及产品的质量。周围环境的洁净度以及产品的质量。周围环境的洁净度以及产品的质量。

【技术实现步骤摘要】
排线装置及半导体制造设备


[0001]本技术涉及半导体制造
，具体而言，涉及一种排线装置及半导体制造设备。

技术介绍

[0002]半导体制造设备运行时，需要为硅片台和掩模台等载片台配备大量的信号线、功率线、气管和水管等线缆，载片台运动的过程中，线缆与载片台连接的一端会受到载片台的拖拽随其同步移动；为了减少线缆拖拽载片台对其运动精度造成的不良影响，现有技术中一般设置线缆台带动线缆随载片台同步移动，其中，线缆一般通过托架固定于线缆台，然而当线缆台与载片台的同步性无法保证时，线缆受到拖拽相对托架运动的过程中极易与托架发生接触摩擦，两者的接触摩擦会产生污染物颗粒，使得发尘量恶化，进而影响周围环境的洁净度以及产品的质量，造成产品良率下降。

技术实现思路

[0003]本技术的目的包括提供一种排线装置及半导体制造设备，以解决现有技术中线缆受到拖拽容易与托架接触摩擦而产生的污染物颗粒，使得发尘量恶化，而影响周围环境的洁净度以及产品的质量的技术问题。
[0004]为解决上述问题，本技术提供一种排线装置，包括托架和排线组件，所述托架包括承托体，所述排线组件包括多根并列排布的线缆和多个对线缆排布位置进行固定的线夹，多个所述线夹沿所述线缆的长度方向间隔排布，且位于第一端部的所述线夹作为固定线夹固设于所述承托体，与所述固定线夹相邻的线夹为主随动线夹，所述主随动线夹朝向所述承托体的一侧设有主随动磁铁，所述承托体朝向所述主随动线夹的一侧设有主固定磁铁，所述主固定磁铁与所述主随动磁铁位置相对应且磁极相同。
[0005]可选地，所述主随动磁铁为多块，多块所述主随动磁铁沿所述主随动线夹的长度方向间隔排布；所述主固定磁铁为多块，多块所述主固定磁铁与多块所述主随动磁铁一一对应。
[0006]可选地，所述固定线夹和所述主随动线夹以外的线夹中，所述线缆平铺于所述承托体时，位于所述承托体区域的线夹为次随动线夹，所述次随动线夹朝向所述承托体的一侧均设有次随动磁铁，所述承托体与所述次随动线夹相向的一侧设有次固定磁铁，所述次固定磁铁与所述次随动磁铁一一对应且磁极相同。
[0007]可选地，所述排线组件还包括沿所述线缆长度方向延伸的条形弹性件，所述固定线夹以外的其中一个线夹作为定型线夹，所述条形弹性件的第一端与所述固定线夹连接、第二端与所述定型线夹连接，且所述定型线夹与所述固定线夹之间存在其他线夹时，所述条形弹性件与相应的线夹对应连接。
[0008]可选地，所述条形弹性件至少为两个，其中一个所述条形弹性件位于所述线缆排布方向的第一侧，另一个所述条形弹性件位于所述线缆排布方向的第二侧。
[0009]可选地，所述条形弹性件为条形弹片，且所述条形弹片的宽度方向与所述线夹的长度方向一致。
[0010]可选地，所述条形弹性件朝向所述承托体的一侧设有辅助随动磁铁，所述承托体朝向所述条形弹性件的一侧设有辅助固定磁铁，所述辅助固定磁铁与所述辅助随动磁铁相对应且磁极相同。
[0011]可选地，所述托架还包括设于所述承托体相对两端的侧板，所述固定线夹位于两个所述侧板之间。
[0012]可选地，沿多个所述线夹的排布方向，位于第二端部的所述线夹为连接线夹，所述连接线夹连接有限位板，所述限位板位于线缆的一侧。
[0013]本技术还提供了一种半导体制造设备，包括运动模块、线缆台和上述排线装置，所述排线装置中，沿多个所述线夹的排布方向，位于第二端部的所述线夹与所述运动模块连接，所述托架与所述线缆台连接。
[0014]本技术提供的排线装置中，与固定线夹相邻的主随动线夹上设置有主随动磁铁、托架上设置有主固定磁铁，且主固定磁铁与主随动磁铁的磁极相同，当线缆朝向承托体运动的过程中，主随动磁铁相向主固定磁铁靠近，随着两者距离的减小，两者之间的磁斥力不断增大，从而阻碍线缆朝向承托体运动，直至两者之间的磁斥力等于线缆因为拖拽受到的作用力时，线缆停止靠近承托体，则主固定磁铁和主随动磁铁的设置能够有效阻止线缆与承托体接触，相应有效减轻两者之间产生的污染物颗粒导致的发尘量恶化，进而确保周围环境的洁净度以及产品的质量，并相应提高产品的良率。
[0015]此外，该排线装置中，将主随动磁铁设置于与固定线夹距离最小的主随动线夹上，当线缆朝向承托体运动时，主随动磁铁与主固定磁铁产生的磁斥力能够有效对线缆根部区域(靠近固定线夹的区域)进行阻碍支撑，从而减少主随动磁铁距离固定线夹较远，导致主随动磁铁与固定线夹之间的线缆与承托体接触摩擦情况的发生，相应进一步减少污染物颗粒的产生。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术提供的排线装置的第一视角示意图；
[0018]图2为本技术提供的排线装置的第二视角示意图；
[0019]图3为本技术提供的排线装置的第三视角示意图；
[0020]图4为本技术提供的排线装置中设置辅助固定磁铁和辅助随动磁铁时的示意图；
[0021]图5为本技术提供的排线装置中托架的示意图，其中，承托体设有圆形凸包；
[0022]图6为本技术提供的排线装置中托架的示意图，其中，承托体设有条形凸包。
[0023]附图标记说明：
[0024]100
‑
托架；110
‑
承托体；120
‑
侧板；121
‑
连接翻耳；130
‑
主固定磁铁；140
‑
次固定磁
铁；150
‑
辅助固定磁铁；160
‑
凸包；200
‑
排线组件；210
‑
线缆；221
‑
固定线夹；222
‑
主随动线夹；223
‑
次随动线夹；224
‑
定型线夹；225
‑
连接线夹；230
‑
主随动磁铁；240
‑
次随动磁铁；250
‑
条形弹性件；260
‑
辅助随动磁铁。
具体实施方式
[0025]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施例做详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0026]本实施例提供一种排线装置，如图1
‑
图4所示，包括托架100和排线组件200，托架100包括承托体110，排线组件200包括多根并列排布的线缆210和多个对线缆210排布位置进行固定的线夹，多个线夹沿线缆210的长度方向间隔排布，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种排线装置，其特征在于，包括托架(100)和排线组件(200)，所述托架(100)包括承托体(110)，所述排线组件(200)包括多根并列排布的线缆(210)和多个对线缆(210)排布位置进行固定的线夹，多个所述线夹沿所述线缆(210)的长度方向间隔排布，且位于第一端部的所述线夹作为固定线夹(221)固设于所述承托体(110)；与所述固定线夹(221)相邻的线夹为主随动线夹(222)，所述主随动线夹(222)朝向所述承托体(110)的一侧设有主随动磁铁(230)，所述承托体(110)朝向所述主随动线夹(222)的一侧设有主固定磁铁(130)，所述主固定磁铁(130)与所述主随动磁铁(230)位置相对应且磁极相同。2.根据权利要求1所述的排线装置，其特征在于，所述主随动磁铁(230)为多块，多块所述主随动磁铁(230)沿所述主随动线夹(222)的长度方向间隔排布；所述主固定磁铁(130)为多块，多块所述主固定磁铁(130)与多块所述主随动磁铁(230)一一对应。3.根据权利要求1所述的排线装置，其特征在于，所述固定线夹(221)和所述主随动线夹(222)以外的线夹中，所述线缆(210)平铺于所述承托体(110)时，位于所述承托体(110)区域的线夹为次随动线夹(223)，所述次随动线夹(223)朝向所述承托体(110)的一侧均设有次随动磁铁(240)，所述承托体(110)与所述次随动线夹(223)相向的一侧设有次固定磁铁(140)，所述次固定磁铁(140)与所述次随动磁铁(240)一一对应且磁极相同。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的排线装置，其特征在于，所述排线组件(200)还包括沿所述线缆(210)长度方向延伸的条形弹性件(250)，所述固定线夹(221)以外的其中一个线夹作为定型线夹(22...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭少龙，张志刚，王利臣，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：