一种研磨抛光液加工用配料混合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及研磨抛光液混合技术领域，尤其是一种研磨抛光液加工用配料混合装置，包括箱体，所述箱体的顶部内壁通过轴承转动连接有杆体，所述杆体的外壁上方间隙配合有板体，所述板体的顶部固定连接有筒体，所述筒体的外壁通过轴承转动连接有圆板，所述圆板的外壁与箱体的内壁上方固定连接。通过箱体、竖板、阀门、斜块、杆体、搅拌杆、电机、圆板、筒体、板体和刮落结构的配合，使得该装置在使用时，可以通过电机带动杆体转动，杆体带动齿轮二转动，齿轮二带动齿轮一转动，齿轮一带动齿圈转动，齿圈带动筒体转动，筒体带动板体转动，板体带动刮板转动，进而便于将附着在箱体内壁的研磨抛光液刮落，避免造成研磨抛光液的浪费。避免造成研磨抛光液的浪费。避免造成研磨抛光液的浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种研磨抛光液加工用配料混合装置


[0001]本技术涉及研磨抛光液混合
，具体为一种研磨抛光液加工用配料混合装置。

技术介绍

[0002]硅片的加工过程，包括硅晶体长晶、晶体切割、硅片刻蚀、硅片研磨、硅片抛光等机械加工过程，这其中研磨和抛光起着非常重要的作用，而硅片的研磨过程中，优质的研磨抛光液是保证衬底片表面完美的基础材，研磨抛光液在制作时需要将多种物料进行混合，从而增加研磨抛光液的各种属性，从而对硅片起到更好的研磨抛光效果。
[0003]现有一种用于研磨抛光液的混合装置(申请号：202121453009.X)防止硬团聚纳米金刚石微晶对硅片表面造成较深的划伤，从而提升硅片加工的良品率，上述仍存在，在配置研磨抛光液时，需要将研磨抛光液的各种原料进行混合，通过搅拌装置的设置，可以使研磨抛光液的各种充分原料混合，混合后的研磨抛光液需要排出，此时部分的研磨抛光液很容易附着在箱体的内壁，无法顺利的排出，进而容易造成研磨抛光液的浪费，不便于将附着在箱体内壁的研磨抛光液刮落。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在不便于将附着在箱体内壁的研磨抛光液刮落，容易造成研磨抛光液的浪费的缺点，而提出的一种研磨抛光液加工用配料混合装置。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]设计一种研磨抛光液加工用配料混合装置，包括箱体，所述箱体的顶部内壁通过轴承转动连接有杆体，所述杆体的外壁上方间隙配合有板体，所述板体的顶部固定连接有筒体，所述筒体的外壁通过轴承转动连接有圆板，所述圆板的外壁与箱体的内壁上方固定连接，所述箱体的底部内壁固定连接有阀门，所述箱体的内壁下方固定连接有斜块，所述杆体的一侧设有刮落结构。
[0007]优选的，所述刮落结构包括齿轮二，所述齿轮二的内壁与杆体的外壁上方固定连接，所述齿轮二的一侧啮合连接有齿轮一，所述齿轮一的外壁上方通过轴承与箱体的顶部一侧内壁转动连接，所述齿轮一的一侧啮合连接有齿圈，所述齿圈的外壁与筒体的内壁固定连接，所述齿轮一的一侧设有刮板，所述刮板的顶部与板体的底部一侧固定连接。
[0008]优选的，所述箱体的底部一侧固定连接有竖板。
[0009]优选的，所述杆体的顶部与电机的输出端固定连接，所述电机的底部与箱体的顶部固定连接。
[0010]优选的，所述杆体的外壁下方固定连接有搅拌杆。
[0011]本技术提出的一种研磨抛光液加工用配料混合装置，有益效果在于：通过箱体、竖板、阀门、斜块、杆体、搅拌杆、电机、圆板、筒体、板体和刮落结构的配合，使得该装置
在使用时，可以通过电机带动杆体转动，杆体带动齿轮二转动，齿轮二带动齿轮一转动，齿轮一带动齿圈转动，齿圈带动筒体转动，筒体带动板体转动，板体带动刮板转动，进而便于将附着在箱体内壁的研磨抛光液刮落，避免造成研磨抛光液的浪费。
附图说明
[0012]图1为本技术结构示意图；
[0013]图2为本技术的箱体、竖板和阀门结构示意图；
[0014]图3为本技术的杆体和搅拌杆结构示意图；
[0015]图4为本技术的齿圈、圆板和筒体结构示意图；
[0016]图5为本技术的杆体、齿轮一和齿轮二结构示意图。
[0017]图中：1、箱体，2、刮落结构，201、齿轮一，202、齿轮二，203、齿圈，204、刮板，3、竖板，4、阀门，5、斜块，6、杆体，7、搅拌杆，8、电机，9、圆板，10、筒体，11、板体。
具体实施方式
[0018]下面结合附图对本技术作进一步说明：
[0019]参照附图1
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5：本实施例中，一种研磨抛光液加工用配料混合装置，包括箱体1，箱体1的顶部内壁通过轴承转动连接有杆体6，轴承使杆体6受力时可以在箱体1的顶部内壁转动，杆体6的外壁上方间隙配合有板体11，板体11的顶部固定连接有筒体10，筒体10的外壁通过轴承转动连接有圆板9，圆板9的外壁与箱体1的内壁上方固定连接，箱体1的底部内壁固定连接有阀门4，箱体1的内壁下方固定连接有斜块5，箱体1的底部一侧固定连接有竖板3，竖板3对箱体1起到支撑作用，杆体6的顶部与电机8的输出端固定连接，电机8的底部与箱体1的顶部固定连接，电机8的型号根据实际使用情况而定，杆体6的外壁下方固定连接有搅拌杆7，杆体6的一侧设有刮落结构2，刮落结构2便于将附着在箱体1内壁的研磨抛光液刮落，避免造成研磨抛光液的浪费。
[0020]刮落结构2包括齿轮二202，齿轮二202的内壁与杆体6的外壁上方固定连接，齿轮二202的一侧啮合连接有齿轮一201，齿轮一201的外壁上方通过轴承与箱体1的顶部一侧内壁转动连接，轴承使齿轮一201受力时可以在箱体1的顶部一侧内壁转动，齿轮一201的一侧啮合连接有齿圈203，齿轮一201受力转动时可以带动齿圈203一同转动，齿圈203的外壁与筒体10的内壁固定连接，齿轮一201的一侧设有刮板204，刮板204的顶部与板体11的底部一侧固定连接，电机8带动杆体6转动，杆体6带动齿轮二202转动，齿轮二202带动齿轮一201转动，齿轮一201带动齿圈203转动，齿圈203带动筒体10转动，筒体10带动板体11转动，板体11带动刮板204转动，进而便于将附着在箱体1内壁的研磨抛光液刮落，避免造成研磨抛光液的浪费。
[0021]工作原理：
[0022]首先将原料放入箱体1的内部，将电机8连接外接电源，电机8开始工作，电机8带动杆体6转动，杆体6带动搅拌杆7转动，进而实现对研磨抛光液的混合，同时杆体6带动齿轮二202转动，齿轮二202带动齿轮一201转动，齿轮一201带动齿圈203转动，齿圈203带动筒体10转动，筒体10带动板体11转动，板体11带动刮板204转动，避免研磨抛光液在箱体1的内壁留有残留，打开阀门4，进而将研磨抛光液排出。
[0023]虽然本技术已通过参考优选的实施例进行了图示和描述，但是，本专业普通技术人员应当了解，在权利要求书的范围内，可作形式和细节上的各种各样变化。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种研磨抛光液加工用配料混合装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的顶部内壁通过轴承转动连接有杆体(6)，所述杆体(6)的外壁上方间隙配合有板体(11)，所述板体(11)的顶部固定连接有筒体(10)，所述筒体(10)的外壁通过轴承转动连接有圆板(9)，所述圆板(9)的外壁与箱体(1)的内壁上方固定连接，所述箱体(1)的底部内壁固定连接有阀门(4)，所述箱体(1)的内壁下方固定连接有斜块(5)，所述杆体(6)的一侧设有刮落结构(2)。2.根据权利要求1所述的一种研磨抛光液加工用配料混合装置，其特征在于：所述刮落结构(2)包括齿轮二(202)，所述齿轮二(202)的内壁与杆体(6)的外壁上方固定连接，所述齿轮二(202)的一侧啮合连接有齿轮一(201)，所述齿轮一(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：程波，姜雪，陈卓，
申请(专利权)人：天津嘉宇合电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：