嵌入SU-8胶基底的用于CTCs捕获和分析的微流控芯片制造技术

本发明专利技术公开了一种嵌入SU

【技术实现步骤摘要】
嵌入SU
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8胶基底的用于CTCs捕获和分析的微流控芯片


[0001]本专利技术涉及芯片
，具体的说，本专利技术涉及一种嵌入SU
‑
8胶基底的用于CTCs捕获和分析的微流控芯片。

技术介绍

[0002]近几年，恶性肿瘤已经出现了低龄化的迹象，预估在到2030年，世界范围内将会增加约2000万新癌症病例以及约1300万的癌症相关死亡人数。对于癌症病人来说，病情的早期成功诊断能够延长病人的生命。但是现阶段的诊断手段以及治疗十分依赖分子级别上的识别，同时癌细胞又会产生基因突变以及异常蛋白的表达，进而导致了临床结果对于假阴性和假阳性的干扰难以有效的解决。而循环肿瘤细胞作为从原发性肿瘤脱落进入循环系统的罕见肿瘤细胞，这种细胞与肿瘤转移密切相关。同时CTCs也被认为是肿瘤早期诊断、预后评估以及复发识别的重要检测工具。因此，对于CTCs的捕获，分析以及检测是对癌症检测的有效补充。同时CTCs会携带大量肿瘤病灶特征，这些信息对于临床指导具有十分重要的意义。对CTCs的检测信息同样也对肿瘤晚期患者的病情评估有着重要帮助。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种嵌入SU
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8胶基底的用于CTCs捕获和分析的微流控芯片，其特征在于，所述的微流控芯片的制成包括以下步骤：步骤S1，倒金字塔凹坑阵列硅母膜的制备；步骤S10，在二氧化硅(SiO2)氧化膜的硅片上进行光刻，获得每列交错排列的正方形窗口；步骤S11，利用氢氟酸将窗口内暴露在外的SiO2膜去除；步骤S12，图案被转移到SiO2膜层；步骤S13，氢氧化钾(KOH)溶液加入异丙醇(IPA)、去离子水，得到KOH各向异性刻蚀液；步骤S14，置于磁力搅拌器内，将已经开好窗口的硅片放入刻蚀，得到倒金字塔凹坑硅母模；步骤S2，二次倒模加压印制备金字塔微锥阵列SU
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8胶基底；制备步骤为：取聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)粉末，加入固化剂，搅拌溶解直到无明显粉末；将步骤S1得到的硅母模沉入溶液底部，加热后进行固化；固化后剥离得到PMMA模板；取聚二甲基硅氧烷(PDMS)预聚物，加入固化剂搅拌，抽真空，无明显气泡后倒在PMMA模板上；放入烘箱固化后剥离得到PDMS模板；在PET薄膜上涂抹一层SU
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8光刻胶；用PDMS模板压印得到金字塔微锥阵列基底；步骤S3，微纳加工制备SU
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8胶基底表面粗糙纳米形貌；将步骤S2制得的SU
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8胶基底放入反应离子刻蚀机中，进行干法刻蚀；步骤S4，电子束蒸镀金膜；步骤S5，SU
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8胶基底上修饰适体；步骤S6，微流控芯片的制备。2.如权利要求1所述的嵌入SU
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8胶基底的用于CTCs捕获和分析的微流控芯片，其特征在于，所述的步骤S1中的具体参数为：在具有300nm厚的二氧化硅(SiO2)氧化膜的硅片上进行光刻以获得边长为160um、间隔为30um且每列交错排列的正方形窗口。利用氢氟酸将窗口内暴露在外的SiO2膜去除，图案被转移到SiO2膜层。取6mol〃L
‑1的氢氧化钾(KOH)溶液10.5ml，加入1ml异丙醇(IPA)、1ml去离子水，得到5mol〃L
‑1的KOH各向异性刻蚀液。将恒温磁力搅拌器温度设置为65
°
，转速为300rpm〃min
‑1，将已经开好窗口的硅片放入刻蚀150min，得到倒金字塔凹坑硅母模。3.如权利要求1所述的嵌入SU
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8胶基底的用于CTCs捕获和分析的微流控芯片，其特征在于，所述的步骤S2中的具体参数为：取2g聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)粉末，加入1.6g固化剂，搅拌溶解直到无明显粉末；将步骤S1得到的硅母模沉入溶液底部，40
°
加热12h进行固化，固化后剥离得到PMMA模板；取3g聚二甲基硅氧烷(PDMS)预聚物，加入0.3g固化剂搅拌，抽真空15min，无明显气泡后倒在PMMA模板上，放入70
°
烘箱固化两小时剥离得到PDMS模板；在150umPET薄膜上涂抹一层SU
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8(3035)...

【专利技术属性】
技术研发人员：高荣科，杨懂懂，于连栋，夏豪杰，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：