一种石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器制造方法及图纸

本申请公开了一种石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器，包括套设于石墨电极外周并与石墨电极间隔设置的外壳体，外壳体沿其轴向开设有贯穿其侧壁的引弧控制槽，且引弧控制槽与石墨电极位置对应，在外壳体内壁沿其周向设置有内腔隔板，且内腔隔板的数量为多个，且多个内腔隔板沿外壳体内壁轴向分布，相邻的两个内腔隔板间隔设置，且任一内腔隔板均与石墨电极间隔设置；其中，外壳体可沿石墨电极转动，且可沿石墨电极轴向滑动。采用上述方式设置的弧光扰动抑制器，能够有效引弧、控弧，并吸收石墨电极电弧产生的震动，提高坩埚产品质量和品质。提高坩埚产品质量和品质。提高坩埚产品质量和品质。

【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器


[0001]本申请涉及石英坩埚加工
，特别涉及一种石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器。

技术介绍

[0002]石英坩埚是用于单晶硅行业的加工工具。通常石英坩埚的制造方法是电弧法加工：将石英砂加入到旋转的成型模具中，用成型棒将石英砂均匀的铺在成型模具内壁上，通过电极起弧放热的热量将石英砂熔融成型，成型后取出模具冷却，冷却后经过后道加工，形成成品。
[0003]在常规的石英坩埚生产中，电弧法生产坩埚需要使用石墨电极作为加热的载体，每个坩埚的熔融过程中电极需要按设定的参数位置进行上下移动对坩埚内的石英砂进行加热。石墨电极通电以后，产生电弧加热石英砂，现有的电极外表裸露，无引弧、控弧装置，这就导致电极通电后，弧光形状无法控制，电极震动大，坩埚在熔融过程中表皮受到电弧的扰动产生大量的微气泡，从而导致坩埚品质下降或坩埚报废。
[0004]因此，针对上述问题，如何设计一种能够有效引弧、控弧，并降低弧光对坩埚熔融成型扰动的抑制器是本领域技术人员需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]本申请的目的是提供一种石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器，该抑制器能够在电极通电后，有效引弧、控弧，并吸收石墨电极电弧产生的震动，提高坩埚产品质量和品质。
[0006]为实现上述目的，本申请提供一种石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器，它包括套设于石墨电极外周并与所述石墨电极间隔设置的外壳体，所述外壳体沿其轴向开设有贯穿其侧壁的引弧控制槽，且所述引弧控制槽与所述石墨电极位置对应，在所述外壳体内壁沿其周向设置有内腔隔板，且所述内腔隔板的数量为多个，且多个所述内腔隔板沿所述外壳体内壁轴向分布，相邻的两个所述内腔隔板间隔设置，且任一所述内腔隔板均与所述石墨电极间隔设置；
[0007]其中，所述外壳体可沿所述石墨电极转动，且可沿所述石墨电极轴向滑动。
[0008]优选地，所述石墨电极端部设置有铜电极，在所述铜电极外周设置有移动滑套，所述移动滑套与所述外壳体端部固定连接。
[0009]优选地，所述移动滑套转动设置在所述铜电极外周，且沿所述铜电极轴向滑动设置。
[0010]优选地，所述外壳体上设置有贯穿其侧壁的锁紧螺钉，所述锁紧螺钉用于将所述外壳体与所述移动滑套固定。
[0011]优选地，所述内腔隔板呈环形设置，且在所述引弧控制槽位置对应处开设有弧形开口，以使所述引弧控制槽与所述石墨电极之间无遮挡。
[0012]优选地，相邻的两个所述内腔隔板之间的间隔形成能量吸收腔，所述能量吸收腔
用于吸收所述石墨电极电弧产生的震动。
[0013]优选地，所述内腔隔板包括：
[0014]第一环形片，沿所述外壳体内壁周向设置；
[0015]第二环形片，套设于所述石墨电极外周，并与所述石墨电极间隔设置；
[0016]连接环，用于连接所述第一环形片和所述第二环形片；
[0017]其中，所述第一环形片和所述第二环形片位于不同平面上。
[0018]优选地，所述外壳体的长度大于或等于所述石墨电极的长度。
[0019]相对于上述
技术介绍
，本申请的弧光扰动抑制器利用外壳体套设在石墨电极外周，在外壳体的内壁上设置多个内腔隔板，可以有效吸收石墨电极产生的震动，吸收外溢、散射弧光能量；同时，在外壳体上开设有引弧控制槽，可以有效引导、控制电极引弧状态，将散状弧光形态变为可控弧光状态。此外，外壳体可沿石墨电极转动，以便于引弧控制槽引导石墨电极上的不同位置的弧光，且可沿石墨电极轴向转动，随石墨电极的燃烧可上下滑动，控制石墨电极的外露距离，从而有效控弧、引弧。
[0020]具体地说，本申请的石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器包括外壳体，外壳体套设于石墨电极外周，并且与石墨电极间隔设置，在外壳体沿其轴向开设有贯穿其侧壁的引弧控制槽，且引弧控制槽与石墨电极位置对应；也就是说，引弧控制槽与石墨电极的对中位置对应，可以有效引导、控制电极引弧状态，将散状弧光形态变为可控弧光状态。此外，在外壳体内壁沿其周向设置有内腔隔板，且内腔隔板的数量为多个，且多个内腔隔板沿外壳体内壁轴向分布，相邻的两个内腔隔板间隔设置，且任一内腔隔板均与石墨电极间隔设置；多个内腔隔板之间形成了能量吸收腔，能量吸收腔能够吸收弧光能量，降低电弧产生的震动，同时，不影响引弧控制槽控弧和引弧。因此，采用上述方式设置的弧光扰动抑制器，能够有效引弧、控弧，并吸收石墨电极电弧产生的震动，提高坩埚产品质量和品质。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0022]图1为本申请实施例所提供的石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器整体结构示意图；
[0023]图2为本申请实施例所提供的石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器内部结构示意图；
[0024]图3为本申请实施例所提供的石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器安装使用结构示意图；
[0025]图4为图3的俯视结构示意图。
[0026]图中：1、石墨电极 2、外壳体 3、铜电极 4、移动滑套5、引弧控制槽 6、内腔隔板 7、锁紧螺钉 61、第一环形片 62、第二环形片63、连接环。
具体实施方式
[0027]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0028]为了使本
的技术人员更好地理解本申请方案，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。
[0029]如图1至图4所示，在本实施例中，提供一种石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器，该抑制器包括套设于石墨电极1外周并与石墨电极1间隔设置的外壳体2，外壳体2罩在石墨电极1外侧，防止石墨电极1产生的电弧外溢，同时，为了更好的起到引弧、控弧效果，在外壳体2沿其轴向开设有贯穿其侧壁的引弧控制槽5，并且引弧控制槽5的开设位置及方向与石墨电极1对应；如图3或图4所示，当三个石墨电极1通电后，三个石墨电极1对中位置的引弧控制槽5，能够有效引导、控制电极引弧状态，将散状弧光形态变为可控弧光状态。
[0030]此外，在外壳体2内壁沿其周向设置有内腔隔板6，并且内腔隔板6的数量为多个，至于其具体数量，可以根据实际情况设置，这里不做具体限制；多个内腔隔板6沿外壳体2内壁轴向分布，并且相邻的两个内腔隔板6间隔设置，以确保两个内腔隔板6支架留有足够空间，便于吸收石墨电极1产生的弧光能量，从而达到降低震动的效果。
[0031]需要说明的是，为了进一步对弧光的有效控制和引导，在本实施例中，外壳本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器，其特征在于，包括套设于石墨电极外周并与所述石墨电极间隔设置的外壳体，所述外壳体沿其轴向开设有贯穿其侧壁的引弧控制槽，且所述引弧控制槽与所述石墨电极位置对应，在所述外壳体内壁沿其周向设置有内腔隔板，且所述内腔隔板的数量为多个，且多个所述内腔隔板沿所述外壳体内壁轴向分布，相邻的两个所述内腔隔板间隔设置，且任一所述内腔隔板均与所述石墨电极间隔设置；其中，所述外壳体可沿所述石墨电极转动，且可沿所述石墨电极轴向滑动。2.根据权利要求1所述的石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器，其特征在于，所述石墨电极端部设置有铜电极，在所述铜电极外周设置有移动滑套，所述移动滑套与所述外壳体端部固定连接。3.根据权利要求2所述的石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器，其特征在于，所述移动滑套转动设置在所述铜电极外周，且沿所述铜电极轴向滑动设置。4.根据权利要求3所述的石英坩埚熔制装置弧光扰动抑制器，其特征在于，所述外壳体上设置有贯穿其侧壁的锁...

【专利技术属性】
技术研发人员：周勇，吴伟华，方志远，刘涛，
申请(专利权)人：宁夏鑫晶新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：