一种气管夹持装置和具有该装置的熔融排灰系统制造方法及图纸

技术编号:39609291 阅读:9 留言:0更新日期:2023-12-07 12:22
本申请公开了一种气管夹持装置和具有该装置的熔融排灰系统,气管夹持装置包括:固定座

【技术实现步骤摘要】
一种气管夹持装置和具有该装置的熔融排灰系统


[0001]本申请涉及夹持设备
,具体涉及一种气管夹持装置和具有该装置的熔融排灰系统


技术介绍

[0002]随着半导体行业的迅速发展,石英坩埚也迅速崛起,在石英坩埚的制备过程中,熔融是必不可少的工艺

在熔融过程中,很多因素影响着坩埚的品质,其中黑点造成的影响尤为严重,主要因素就是石墨电极在融化的过程中会产生灰尘落到锅底

为解决黑点对坩埚品质造成的影响,目前使用的解决方法是人工用手拿着气管对石墨电极进行吹灰,技术存在的缺点是:吹气的位置无法准确确定,且在熔融过程中产生的高温会对人体造成伤害

[0003]因此,如何提供一种准确定位气管的夹持设备是本领域技术人员需要解决的问题


技术实现思路

[0004]本申请的目的是提供一种可实现稳定夹持

准确定位的气管夹持装置和具有该装置的熔融排灰系统

[0005]为实现上述目的,本申请提供一种气管夹持装置,包括:
[0006]固定座,设置有安装端面;
[0007]伸缩升降杆,包括固定在安装端面上的固定杆和设置于固定杆内部的伸缩杆;伸缩杆可相对于固定杆沿背离和靠近固定座的方向伸缩;
[0008]限位套管,连接在伸缩杆侧面,包括连通至伸缩杆内部的端口;
[0009]转动夹持结构,用于固定气管,包括转动轴和连接于转动轴一端的夹持件;转动轴的另一端从限位套管的端口贯穿至伸缩杆内部,且与伸缩杆转动连接;
[0010]第一限位件,贯穿限位套管设置,用于限制转动轴移动;
[0011]第二限位件,贯穿固定杆设置,用于限制伸缩杆移动

[0012]在一些实施例中,夹持件包括:第一夹片

第二夹片和拧紧连接件;
[0013]第一夹片的端面和第二夹片的端面均设置有夹持凹陷,拧紧连接件贯穿连接第一夹片与第二夹片,以使两个夹持凹陷相对设置;
[0014]拧紧连接件用于调节第一夹片与第二夹片的相对距离;转动轴连接第二夹片背离第一夹片的端面

[0015]在一些实施例中,第一限位件设置为第一螺钉,第一螺钉的端部用于抵接限位转动轴

[0016]在一些实施例中,第二限位件设置为第二螺钉,第二螺钉的端部用于抵接限位伸缩杆

[0017]在一些实施例中,拧紧连接件包括:贯穿第一夹片与第二夹片设置的第三螺钉和安装在第三螺钉上的螺帽;
[0018]螺帽用以调节第一夹片与第二夹片的相对位置关系

[0019]在一些实施例中,固定杆和伸缩杆均设置为空心管,固定杆滑动套设在伸缩杆外侧

[0020]在一些实施例中,还包括:设置于固定座下侧的转动设备,转动设备用以带动固定座相对于伸缩升降杆的轴线方向转动

[0021]本申请还提供一种熔融排灰系统,包括供气装置

石墨电极和上述任一项的气管夹持装置,转动夹持结构用于固定供气装置的气管,以使气管朝向石墨电极吹灰

[0022]相对于上述
技术介绍
,本申请设置有固定座

伸缩升降杆

限位套管

转动夹持结构

第一限位件和第二限位件

固定座上设置有安装端面,伸缩升降杆包括固定在安装端面上的固定杆和设置于固定杆内部的伸缩杆

伸缩杆可相对于固定杆沿背离和靠近固定座的方向伸缩

限位套管连接在伸缩杆的侧面,且限位套管开设有连通至伸缩杆内部的端口;转动夹持结构用于固定气管,包括转动轴和连接于转动轴一端的夹持件

转动轴背离夹持件的另一端从限位套管的端口贯穿至伸缩杆内部

转动轴与伸缩杆转动连接,从而带动夹持件和气管转动

第一限位件贯穿限位套管设置,用于限制伸缩杆的转动

第二限位件贯穿固定杆设置,用于限制伸缩杆移动

本申请的夹持效果稳定

使用简单

便于调节定位气管位置

[0023]本申请提供的具有上述气管夹持装置的熔融排灰系统,具备上述有益效果,本文不再展开

附图说明
[0024]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图

[0025]图1为本申请实施例所提供的气管夹持装置的结构示意图;
[0026]图2为本申请实施例所提供的气管夹持装置的正视图;
[0027]图3为本申请实施例所提供的气管夹持装置的侧视图;
[0028]图4为本申请实施例所提供的气管夹持装置的俯视图

[0029]其中:
[0030]1‑
固定座
、2

固定杆
、3

伸缩杆
、4

限位套管
、5

转动轴
、6

第一夹片
、7

第二夹片
、8

第一螺钉
、9

第二螺钉
、10

第三螺钉

具体实施方式
[0031]下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚

完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例

基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围

[0032]为了使本
的技术人员更好地理解本申请方案,下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明

[0033]参考说明书附图1‑
附图4,附图1为本申请实施例所提供的气管夹持装置的结构示意图

图2为本申请实施例所提供的气管夹持装置的正视图

图3为本申请实施例所提供的气管夹持装置的侧视图

图4为本申请实施例所提供的气管夹持装置的俯视图,气管夹持装置包括:固定座
1、
伸缩升降杆

限位套管
4、
转动夹持结构

第一限位件和第二限位件

[0034]上述固定座1上设置有安装端面,伸缩升降杆包括固定在安装端面上的固定杆2和设置于上述固定杆2内部的伸缩杆...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种气管夹持装置,其特征在于,包括:固定座
(1)
,设置有安装端面;伸缩升降杆,包括固定在所述安装端面上的固定杆
(2)
和设置于所述固定杆
(2)
内部的伸缩杆
(3)
;所述伸缩杆
(3)
可相对于所述固定杆
(2)
沿背离和靠近所述固定座
(1)
的方向伸缩;限位套管
(4)
,连接在所述伸缩杆
(3)
侧面,包括连通至所述伸缩杆
(3)
内部的端口;转动夹持结构,用于固定气管,包括转动轴
(5)
和连接于所述转动轴
(5)
一端的夹持件;所述转动轴
(5)
的另一端从所述限位套管
(4)
的端口贯穿至所述伸缩杆
(3)
内部,且与所述伸缩杆
(3)
转动连接;第一限位件,贯穿所述限位套管
(4)
设置,用于限制所述转动轴
(5)
移动;第二限位件,贯穿所述固定杆
(2)
设置,用于限制所述伸缩杆
(3)
移动
。2.
根据权利要求1所述的气管夹持装置,其特征在于,所述夹持件包括:第一夹片
(6)、
第二夹片
(7)
和拧紧连接件;所述第一夹片
(6)
的端面和所述第二夹片
(7)
的端面均设置有夹持凹陷,所述拧紧连接件贯穿连接所述第一夹片
(6)
与所述第二夹片
(7)
,以使两个所述夹持凹陷相对设置;所述拧紧连接件用于调节所述第一夹片
(6)
与所述第二夹片
(7)
的相对距离...

【专利技术属性】
技术研发人员:周勇吴伟华方志远尹亮
申请(专利权)人:宁夏鑫晶新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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