【技术实现步骤摘要】
一种气管夹持装置和具有该装置的熔融排灰系统
[0001]本申请涉及夹持设备
,具体涉及一种气管夹持装置和具有该装置的熔融排灰系统
。
技术介绍
[0002]随着半导体行业的迅速发展,石英坩埚也迅速崛起,在石英坩埚的制备过程中,熔融是必不可少的工艺
。
在熔融过程中,很多因素影响着坩埚的品质,其中黑点造成的影响尤为严重,主要因素就是石墨电极在融化的过程中会产生灰尘落到锅底
。
为解决黑点对坩埚品质造成的影响,目前使用的解决方法是人工用手拿着气管对石墨电极进行吹灰,技术存在的缺点是:吹气的位置无法准确确定,且在熔融过程中产生的高温会对人体造成伤害
。
[0003]因此,如何提供一种准确定位气管的夹持设备是本领域技术人员需要解决的问题
。
技术实现思路
[0004]本申请的目的是提供一种可实现稳定夹持
、
准确定位的气管夹持装置和具有该装置的熔融排灰系统
。
[0005]为实现上述目的,本申请提供一种气管夹持装置,包括:
[0006]固定座,设置有安装端面;
[0007]伸缩升降杆,包括固定在安装端面上的固定杆和设置于固定杆内部的伸缩杆;伸缩杆可相对于固定杆沿背离和靠近固定座的方向伸缩;
[0008]限位套管,连接在伸缩杆侧面,包括连通至伸缩杆内部的端口;
[0009]转动夹持结构,用于固定气管,包括转动轴和连接于转动轴一端的夹持件;转动轴的另一端从限位套管的端口贯穿至伸缩杆内部
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种气管夹持装置,其特征在于,包括:固定座
(1)
,设置有安装端面;伸缩升降杆,包括固定在所述安装端面上的固定杆
(2)
和设置于所述固定杆
(2)
内部的伸缩杆
(3)
;所述伸缩杆
(3)
可相对于所述固定杆
(2)
沿背离和靠近所述固定座
(1)
的方向伸缩;限位套管
(4)
,连接在所述伸缩杆
(3)
侧面,包括连通至所述伸缩杆
(3)
内部的端口;转动夹持结构,用于固定气管,包括转动轴
(5)
和连接于所述转动轴
(5)
一端的夹持件;所述转动轴
(5)
的另一端从所述限位套管
(4)
的端口贯穿至所述伸缩杆
(3)
内部,且与所述伸缩杆
(3)
转动连接;第一限位件,贯穿所述限位套管
(4)
设置,用于限制所述转动轴
(5)
移动;第二限位件,贯穿所述固定杆
(2)
设置,用于限制所述伸缩杆
(3)
移动
。2.
根据权利要求1所述的气管夹持装置,其特征在于,所述夹持件包括:第一夹片
(6)、
第二夹片
(7)
和拧紧连接件;所述第一夹片
(6)
的端面和所述第二夹片
(7)
的端面均设置有夹持凹陷,所述拧紧连接件贯穿连接所述第一夹片
(6)
与所述第二夹片
(7)
,以使两个所述夹持凹陷相对设置;所述拧紧连接件用于调节所述第一夹片
(6)
与所述第二夹片
(7)
的相对距离...
【专利技术属性】
技术研发人员:周勇,吴伟华,方志远,尹亮,
申请(专利权)人:宁夏鑫晶新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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