粘附力测量系统、方法及电子设备技术方案

本发明专利技术实施例提供一种粘附力测量系统、方法及电子设备，该系统包括：部件传输模块、部件承载模块、数字光处理DLP投影设备、电荷耦合器件CCD相机及数据处理与控制模块；其中：部件传输模块用于将目标部件传输至部件承载模块上；数据处理与控制模块分别与DLP投影设备和CCD相机相连；DLP投影设备用于向目标部件表面投影相移条纹图；CCD相机用于获取部件传输模块与目标部件分离的过程中，目标部件多次形变所对应的变形条纹图；数据处理与控制模块用于：根据变形条纹图，确定目标部件的最大离面位移；根据最大离面位移，确定目标部件与部件传输模块的粘附力。本发明专利技术实施例的方法实现了粘附力的准确、有效的测量。有效的测量。有效的测量。

【技术实现步骤摘要】
粘附力测量系统、方法及电子设备


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种粘附力测量系统、方法及电子设备。

技术介绍

[0002]在面板生产和传输过程中，摩擦柱垫与面板之间除摩擦力以外，还存在粘附力。当完成传输将面板放置到指定位置时，粘附力会阻碍面板与摩擦柱垫的分离，从而导致放置过程中的面板变形与振颤。因此需要对粘附力进行测量，从而指导和完成摩擦柱垫的设计。
[0003]相关技术中，通过测力计等带有力传感器的测量设备进行测量，但在进行大尺寸面板与摩擦柱垫之间粘附力的测量时，粘附力大小在10N量级，因而需要小量程、高精度的力传感器进行粘附力的测量，导致粘附力测量成本较高。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中的问题，本专利技术实施例提供一种粘附力测量系统、方法及电子设备。
[0005]具体地，本专利技术实施例提供了以下技术方案：
[0006]第一方面，本专利技术实施例提供了一种粘附力测量系统，包括：
[0007]部件传输模块、部件承载模块、数字光处理DLP投影设备、电荷耦合器件CCD相机及数据处理与控制模块；其中：
[0008]所述部件传输模块用于将目标部件传输至所述部件承载模块上；
[0009]所述数据处理与控制模块分别与所述DLP投影设备和CCD相机相连；
[0010]所述DLP投影设备用于向所述目标部件表面投影相移条纹图；
[0011]所述CCD相机用于获取所述部件传输模块与所述目标部件分离的过程中，所述目标部件多次形变所对应的变形条纹图；
[0012]所述数据处理与控制模块用于：根据所述变形条纹图，确定目标部件的最大离面位移；根据所述最大离面位移，确定所述目标部件与所述部件传输模块的粘附力。进一步地，所述部件传输模块，包括：
[0013]摩擦柱垫和机械手；所述摩擦柱垫固定在所述机械手上。
[0014]进一步地，所述数据处理与控制模块，包括：
[0015]依次连接的DLP控制模块、CCD控制模块和图像处理模块；
[0016]所述DLP控制模块用于将生成的多张相移条纹图传输至所述DLP投影设备；控制所述DLP投影设备将所述相移条纹图投影到所述目标部件表面；
[0017]所述CCD控制模块用于对所述部件传输模块与所述目标部件分离的过程中，目标部件多次形变所对应的变形条纹图进行采集；
[0018]所述图像处理模块用于根据CCD控制模块采集的多组变形条纹图，确定所述目标部件的最大离面位移；根据目标部件的最大离面位移，确定所述目标部件与所述部件传输
模块的粘附力。
[0019]第二方面，本专利技术实施例还提供了一种粘附力测量方法，包括：
[0020]在目标部件与部件传输模块为接触状态的情况下，将多张相移条纹图投影至目标部件表面；
[0021]根据所述部件传输模块与所述目标部件分离的过程中目标部件多次形变所对应的变形条纹图，确定目标部件的最大离面位移；
[0022]根据目标部件的最大离面位移，确定所述目标部件与所述部件传输模块的粘附力。
[0023]进一步地，所述根据所述部件传输模块与所述目标部件分离的过程中目标部件多次形变所对应的变形条纹图，确定目标部件的最大离面位移，包括：
[0024]根据目标部件各次形变所对应的变形条纹图，确定目标部件各次形变所对应的相位分布；
[0025]根据目标部件各次形变所对应的相位分布，确定目标部件的最大离面位移。
[0026]进一步地，所述根据目标部件各次形变所对应的变形条纹图，确定目标部件各次形变所对应的相位分布，包括：
[0027]利用如下公式确定目标部件的相位分布：
[0028][0029]其中，表示目标部件的相位分布；表示变形条纹图对应的灰度值。
[0030]进一步地，所述根据目标部件各次形变所对应的相位分布，确定目标部件的最大离面位移，包括：
[0031]根据目标部件各次形变所对应的相位分布，确定目标部件各次形变所对应的离面位移；
[0032]将目标部件各次形变所对应的离面位移进行降序排列，确定所述目标部件的最大离面位移。
[0033]进一步地，所述根据目标部件各次形变所对应的相位分布，确定目标部件各次形变所对应的离面位移，包括：
[0034]利用如下公式确定目标部件各次形变所对应的离面位移：
[0035][0036]其中，h表示目标部件的离面位移，D表示投影设备与相机光学中心的距离，L表示相机到目标部件的基准面距离，p表示投影条纹的节距，表示目标部件形变前与形变后的相位差。
[0037]进一步地，所述根据目标部件的最大离面位移，确定所述目标部件与所述部件传输模块的粘附力，包括：
[0038]根据目标部件的最大离面位移，确定目标部件的应变；
[0039]根据目标部件的应变和所述目标部件所对应的弹性矩阵，确定目标部件的应力；
[0040]根据目标部件的应力和预设的微分算子，确定目标部件的体积力；
[0041]根据目标部件的体积力，确定目标部件与传输模块之间的粘附力。
[0042]第三方面，本专利技术实施例还提供了一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如第二方面所述粘附力测量方法方法。
[0043]第四方面，本专利技术实施例还提供了一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如第二方面所述粘附力测量方法方法。
[0044]第五方面，本专利技术实施例还提供了一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如第二方面所述粘附力测量方法方法。
[0045]本专利技术实施例提供的粘附力测量系统、方法及电子设备，DLP投影设备通过向目标部件表面投影相移条纹图，CCD设备获取目标部件形变所对应的变形条纹图，数据处理与控制模块就可以基于目标部件形变所对应的变形条纹图中各个位置点的灰度值的变化情况准确地确定目标部件形变后的离面位移；进而也就可以基于部件传输模块与目标部件分离的过程中，目标部件多次形变所对应的多个离面位移中，确定部件传输模块与目标部件分离之前目标部件的最大离面位移，并根据目标部件的最大离面位移和目标部件的物理模型的分析，有效的确定目标部件与部件传输模块的粘附力，提高了目标部件与部件传输模块的粘附力的测量准确性和有效性，克服了现有技术中通过测力计等带有力传感器的测量设备进行测量成本较高的问题。
附图说明
[0046]为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0047]图1是本专利技术实施例提供的粘附力测量系统的流程示意图；
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种粘附力测量系统，其特征在于，包括：部件传输模块、部件承载模块、数字光处理DLP投影设备、电荷耦合器件CCD相机及数据处理与控制模块；其中：所述部件传输模块用于将目标部件传输至所述部件承载模块上；所述数据处理与控制模块分别与所述DLP投影设备和CCD相机相连；所述DLP投影设备用于向所述目标部件表面投影相移条纹图；所述CCD相机用于获取所述部件传输模块与所述目标部件分离的过程中，所述目标部件多次形变所对应的变形条纹图；所述数据处理与控制模块用于：根据所述变形条纹图，确定目标部件的最大离面位移；根据所述最大离面位移，确定所述目标部件与所述部件传输模块的粘附力。2.根据权利要求1所述的粘附力测量系统，其特征在于，所述部件传输模块，包括：摩擦柱垫和机械手；所述摩擦柱垫固定在所述机械手上。3.根据权利要求2所述的粘附力测量系统，其特征在于，所述数据处理与控制模块，包括：依次连接的DLP控制模块、CCD控制模块、图像处理模块和粘附力确定模块；所述DLP控制模块用于将生成的多张相移条纹图传输至所述DLP投影设备；控制所述DLP投影设备将所述相移条纹图投影到所述目标部件表面；所述CCD控制模块用于对所述部件传输模块与所述目标部件分离的过程中，所述目标部件多次形变所对应的变形条纹图进行采集；所述图像处理模块用于根据CCD控制模块采集的多组变形条纹图，确定所述目标部件的最大离面位移；所述粘附力确定模块用于根据目标部件的最大离面位移，确定所述目标部件与所述部件传输模块的粘附力。4.一种粘附力测量方法，其特征在于，应用于如权利要求1
‑
3任一项所述的粘附力测量系统，包括：在目标部件与部件传输模块为接触状态的情况下，将多张相移条纹图投影至目标部件表面；根据所述部件传输模块与所述目标部件分离的过程中，所述目标部件多次形变所对应的变形条纹图，确定目标部件的最大离面位移；根据目标部件的最大离面位移，确定所述目标部件与所述部件传输模块的粘附力。5.根据权利要求4所述的粘附力测量方法，其特征在于，所述根据所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李轩，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：