石英管清洗架、石英管清洗底架以及石英管清洗组装架制造技术

提供一种石英管清洗架、石英管清洗底架以及石英管清洗组装架。石英管清洗架包括主板体、第一支撑板体、第二支撑板体、多个支杆。主板体具有沿厚度方向的相反的第一表面和第二表面和与厚度方向垂直的左右方向的第一端部和第二端部。第一支撑板体立设于主板体的第一表面且位于第一端部。第二支撑板体设于主板体的第二表面并位于第二端部。多个支杆并排设置在第二支撑板体上并与主板体并行，支杆用于供待清洗的石英管套在其上。石英管清洗底架包括基板体、第一支板、第二支板、第三支板以及多个支撑杆。石英管清洗架、石英管清洗底架的一个或多个可构成叠置放置形式。石英管清洗组装架包括前述的石英管清洗架以及前述的石英管清洗底架。洗底架。洗底架。

【技术实现步骤摘要】
石英管清洗架、石英管清洗底架以及石英管清洗组装架


[0001]本公开涉及石英管领域，更具体地涉及一种石英管清洗架、石英管清洗底架以及石英管清洗组装架。

技术介绍

[0002]石英管是半导体材料制备过程中常用的样品架管料，其纯度高、有害杂质少、耐高温、耐腐蚀、热膨胀系数小。清洗石英管料时，可采用高浓度酸浸泡清洗，以达到污渍的充分去除，同时在其较好的热稳定性下，不易加热炸裂。石英管清洗烘干过程中，由于管料易碎、人工拿取需格外小心，致使清洗烘干步骤繁琐且工时长。因此石英管在清洗和烘干作业中往往事倍功半。
[0003]于2014年6月18日公布的中国专利技术专利申请公布号CN103861684A公开了一种试管清洗架，试管清洗架通过在侧板上设置喷头、进水口和进风口，在侧板内部设置管道，可以批量清洗、晾干试管，而无需收纳整理试管。该专利文献解决的试管清洗晾干的手动人工问题，但是由于侧板垂直设置在底板上以使侧板和底板呈L型且处于侧板顶部的喷头向上超出侧板，故这种试管清洗架不能叠置放置(即两个或更多个试管清洗架在侧板延伸的方向上叠置放置)，在同样的底板面积的情况下无法进一步增加清洗和晾干的效率。
[0004]于2020年10月2日公布的中国专利技术专利申请公布号CN111729707A公开了一种具有快速烘干功能的可折叠滴水架，包括支撑座和悬挂架，悬挂架包括连接座、支撑杆和转轴，悬挂架可以折叠，方便可折叠滴水架的收纳。在该专利文献的技术中，支撑座呈倒T型，悬挂架设置在支撑座的竖直的壁的侧面，处于悬挂架的竖直的壁的顶部处的悬挂架能够提供折叠而不超出竖直的壁的顶部，但是这种可折叠滴水架因为倒T型结构同样不能叠置放置(即两个或更多个可折叠滴水架在竖直的壁的延伸方向上叠置放置)，在同样的支撑座的水平的壁的面积的情况下无法进一步烘干的效率。

技术实现思路

[0005]鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种石英管清洗架、石英管清洗底架以及石英管清洗组装架，其能实现石英管清洗架的叠置放置以提高清洗和烘干的效率。
[0006]由此，提供一种石英管清洗架，包括主板体、第一支撑板体、第二支撑板体、多个支杆。主板体具有沿主板体的厚度方向的相反的第一表面和第二表面和沿主板体的与厚度方向垂直的左右方向的第一端部和第二端部。第一支撑板体立设于主板体的第一表面且位于第一端部。第二支撑板体设于主板体的第二表面并位于第二端部。多个支杆并排设置在第二支撑板体上并与主板体并行，支杆用于供待清洗的石英管套在其上。
[0007]此外，提供一种石英管清洗底架，包括基板体、第一支板、第二支板、第三支板以及多个支撑杆。基板体具有沿基板体的厚度方向的彼此相反的第一面和第二面和沿基板体的与厚度方向垂直的左右方向的第一端和第二端。第一支板立设于基板体的第一面且位于第
一端。第二支板立设于基板体的第二面并位于第二端。第三支板立设于基板体的第一面并位于第二端。多个支撑杆并排设置在第二支板上并与基板体并行，支撑杆用于供待清洗的石英管套在其上。
[0008]另外，提供一种石英管清洗组装架，包括前述的石英管清洗架以及前述的石英管清洗底架。石英管清洗底架的基板体与石英管清洗架的主板体并行，石英管清洗架的第一支撑板体支撑在石英管清洗底架的基板体的第二面上，石英管清洗底架的第二支板支撑在石英管清洗架的第一表面上，由此，石英管清洗底架和石英管清洗架在基板体的厚度方向和主板体的厚度方向上叠置在一起。本公开的有益效果如下：在本公开的石英管清洗架中，第一支撑板体和第二支撑板体立设在主板体的相反的第一表面和第二表面且分别位于主板体的左右方向的第一端部和第二端部，构成Z字形结构，而这种Z字形结构提供了采用多个石英管清洗架时相邻石英管清洗架之间的彼此支撑连接关系，实现了采用多个石英管清洗架在设置支杆的第二支撑板体的延伸方向(即主板体的厚度方向)上的叠置放置，由此方便多批次清洗和烘干，提高工作效率。多个支杆与主板体并行，在多个石英管清洗架叠置放置时，石英管将位于相邻两个石英管清洗架的主板体和一个石英管清洗架的第一支撑板体和另一个石英管清洗架的第二支撑板体所围成的空间中，从而保护石英管不受清洗和烘干过程中搬运时造成相互碰撞的伤害，也同时限制石英管在清洗和烘干过程中的位移，起到保护和限位石英管的效果。
[0009]与石英管清洗架区别的地方在于，石英管清洗底架增加了第三支板。第三支板和第二支板立设于基板体的第一面，如前所述，叠置放置的多个石英管清洗架可以使得叠置方向处于上下方向，当清洗液槽和烘箱无需设置用于支撑石英管清洗底架的支脚，石英管清洗底架就能够为石英管清洗架提供支撑，从而石英管清洗底架和多个石英管清洗架构成叠置放置形式。
[0010]石英管清洗底架也可以单独使用，即多个石英管清洗底架能够在基板体的厚度方向上叠置放置，此时仅需要将相邻的石英管清洗底架的第三支板和第二支板在左右方向上错开且一个石英管清洗底架的第二支板支撑另一个石英管清洗底架的基板体。
[0011]石英管清洗组装架具有石英管清洗架和石英管清洗底架二者的效果。
附图说明
[0012]图1是根据本公开的石英管清洗架的一立体图。
[0013]图2是根据本公开的石英管清洗架的一剖视图。
[0014]图3是根据本公开的石英管清洗架的一俯视图。
[0015]图4是根据本公开的石英管清洗架的一侧视图。
[0016]图5是根据本公开的石英管清洗底架的一立体图。
[0017]图6是根据本公开的石英管清洗组装架置于清洗液槽中的示意图，其中石英管清洗底架和两个石英管清洗架沿厚度方向叠置在一起、厚度方向处于竖直方向，清洗液槽中未盛放清洗液。
[0018]图7是根据本公开的石英管清洗组装架置于烘箱中的示意图，其中石英管清洗底架和两个石英管清洗架沿厚度方向叠置在一起、厚度方向处于水平方向且石英管的开口朝下。
[0019]其中，附图标记说明如下：
[0020]1000石英管清洗架21基板体
[0021]11主板体211第一面
[0022]111第一表面212第二面
[0023]112第二表面213第一端
[0024]113第一端部214第二端
[0025]114第二端部215卡槽
[0026]115第一插槽217开槽
[0027]116第二插槽22第一支板
[0028]117第二通孔23第二支板
[0029]D1厚度方向231第一贯通孔
[0030]D2左右方向24第三支板
[0031]12第一支撑板体25支撑杆
[0032]13第二支撑板体251过孔
[0033]131第一通孔3000石英管清洗组装架
[0034]14支杆4000石英管
[0035]141穿孔5000清洗液槽
[0036]2000石英管清洗底架6000烘箱
具体实施方式
[0037]附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英管清洗架，其特征在于，包括主板体(11)、第一支撑板体(12)、第二支撑板体(13)、多个支杆(14)，主板体(11)具有沿主板体(11)的厚度方向(D1)的相反的第一表面(111)和第二表面(112)和沿主板体(11)的与厚度方向(D1)垂直的左右方向(D2)的第一端部(113)和第二端部(114)；第一支撑板体(12)立设于主板体(11)的第一表面(111)且位于第一端部(113)；第二支撑板体(13)设于主板体(11)的第二表面(112)并位于第二端部(114)；多个支杆(14)并排设置在第二支撑板体(13)上并与主板体(11)并行，支杆(14)用于供待清洗的石英管(4000)套在其上。2.根据权利要求1所述的石英管清洗架，其特征在于，第一支撑板体(12)和第二支撑板体(13)平行；和/或主板体(11)与第一支撑板体(12)、第二支撑板体(13)垂直；和/或各支杆(14)与第二支撑板体(13)垂直，各支杆(14)与主板体(11)平行。3.根据权利要求2所述的石英管清洗架，其特征在于，第一支撑板体(12)在主板体(11)的第一表面(111)上的高度与第二支撑板体(13)在主板体(11)的第二表面(112)上的高度相等。4.根据权利要求1所述的石英管清洗架，其特征在于，各支杆(14)在主板体(11)的投影不超过第一支撑板体(12)与第二支撑板体(13)沿主板体(11)的左右方向(D2)上的间距。5.根据权利要求1所述的石英管清洗架，其特征在于，各支杆(14)具有贯通各支杆(14)的穿孔(141)，第二支撑板体(13)设有彼此间隔的多个第一通孔(131)，各第一通孔(131)沿左右方向(D2)贯通第二支撑板体(13)，各第一通孔(131)与相应一个支杆(14)的穿孔(141)连通。6.根据权利要求1所述的石英管清洗架，其特征在于，主板体(11)设有第一插槽(115)，第一插槽(115)位于主板体(11)的第二表面(112)且在主板体(11)的厚度方向(D1)与第一支撑板体(12)正对。7.根据权利要求1所述的石英管清洗架，其特征在于，主板体(11)设有第二插槽(116)，第二插槽(116)位于主板体(11)的第一表面(111)且在主板体(11)的厚度方向(D1)与第一支撑板体(12)正对。8.一种石英管清洗底架，其特征在于，包括基板体(21)、第一支板(22)、第二支板(23)、第三支板(24)以及多个支撑杆(25)，基板体(21)具有沿基板体(21)的厚度方向(D1)的彼此相反的第一面(211)和第二面(212)和沿基板体(21)的与厚度方向(D1)垂直的左右方向(D2)的第一端(213)和第二端(214)；第一支板(22)立设于基板体(21)的第一面(211)且位于第一端(213)；第二支板(23)立设于基板体(21)的第二面(212)并位于第二端(214)，第三支板(24)立设于基板体(21)的第一面(211)并位于第二端(214)，
...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鑫，刘荣，郝先胜，李想，游阿峰，许军，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：