一种托杆与托盘组装结构及单晶炉支撑装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种托杆与托盘组装结构，所述托杆位于托盘的下方，所述托杆与托盘通过螺纹连接。所述托杆与托盘通过螺纹连接具体为：在所述托盘的中心设置一个孔，所述孔的内周面设置内螺纹，所述托杆的上端外周面设置外螺纹，所述托杆的上端通过螺纹旋转嵌入于所述托盘。在所述托盘的上表面设置一个螺钉，所述螺钉连接所述孔的内周面与所述托杆的上端外周面用于二次加固。在所述托杆的外周面设置支撑托盘，托盘底面平行并相搭接在所述支撑托盘的上部。本实用新型专利技术的托杆与托盘组装结构可有效地减少高温下托盘被托杆胀裂破损现象的产生，使各部位更加牢固，各部分零件可进行更换，减少石墨件损失，延长使用寿命。延长使用寿命。延长使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种托杆与托盘组装结构及单晶炉支撑装置


[0001]本技术涉及单晶硅制造
，具体涉及一种托杆与托盘组装结构及单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]单晶炉主要包括炉体、坩埚、坩埚托架、加热器和控制装置等。目前，现有市场上单晶炉的所使用的坩埚托架大多为整体式结构，其整体式结构制造成本过高；同时加工时间长，导致交货时间增加，出现损坏情况难以进行返修。在现有的一些分离式坩埚托架中，由于托杆与托盘之间的组装采用三个石墨销钉进行拼接而成，因公差问题和热胀冷缩问题会导致托盘撑裂，从而砸坏底部的加热器，造成石墨件损失严重，影响车间开炉进度和工作进度，并且无法返修。

技术实现思路

[0004]本技术的目的之一在于提供一种托杆与托盘组装结构，通过在托杆与托盘螺纹连接，托盘与托杆之间设置一个螺钉，解决了因公差问题和热胀冷缩导致托盘撑裂，组装不牢固，无法返修的问题。
[0005]本技术的目的之二在于提供一种单晶炉支撑装置，通过所述单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种托杆与托盘组装结构，包括托杆(3)和托盘(1)，其特征在于，所述托杆(3)位于托盘(1)的下方，所述托杆(3)与托盘(1)通过螺纹连接。2.根据权利要求1所述的一种托杆与托盘组装结构，其特征在于，所述托杆(3)与托盘(1)通过螺纹连接具体为：在所述托盘(1)的底面中心设置一个孔，所述孔的内周面设置内螺纹，所述托杆(3)的上端外周面设置外螺纹，所述托杆(3)的上端通过螺纹旋转嵌入于托盘(1)底面所述的孔中。3.根据权利要求2所述的一种托杆与托盘组装结构，其特征在于，在所述托盘(1)的上表面设置一个螺钉(2)，所述螺钉(2)连接所述孔的内周面与所述托杆(3)的上端外...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘俊杰，关树军，洪华，路建华，
申请(专利权)人：乐山市京运通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：