一种适用于晶圆上料机的柔性夹爪机构制造技术

本发明专利技术属于上料设备技术领域，特别提供了一种适用于晶圆上料机的柔性夹爪机构，包括底板、水平位移机构、连接板、转动基座、转动连接架、夹爪气缸、夹爪、弹性元件，其中，转动基座的主视侧面呈C形，转动基座的上下侧壁竖向转动安装有转动销，转动连接架的侧壁与转动基座之间装配有弹性元件，对转动连接架在水平面内的摆动形成约束。本夹爪机构通过在夹爪气缸与连接板之间增设由转动基座和转动连接架构成的转动结构，在崩环与料盒发生碰撞时，夹爪及夹爪气缸能够发生一定偏转，避免出现硬性拉取的现象；在转动基座和转动连接架之间装配弹性元件，保证偏转后的夹爪及夹爪气缸能够缓慢复位，不影响后续工序。不影响后续工序。不影响后续工序。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于晶圆上料机的柔性夹爪机构


[0001]本专利技术属于上料设备
，特别提供了一种适用于晶圆上料机的柔性夹爪机构。

技术介绍

[0002]晶圆上料机用于给划片机等切割设备上料，上料过程通常需要将崩环预先码垛在料盒内，再经料盒放置于晶圆上料机的料盒升降模块上，通过夹爪机构从料盒内逐片取出崩环，最后经由料片载放模块将崩环送至切割设备的工作平台处。
[0003]目前，常见晶圆上料机的夹爪机构是通过电机带动夹爪气缸做夹取运动，夹爪机构各部件之间均为刚性连接。
[0004]而夹爪取料过程中，考虑到标准料盒与崩环之间的间隙较大，崩环在料盒内可能出现一定角度的偏斜；再者，虽然晶圆上料机的装配精度较高，但依然存在装配误差，多个机构装配过程出现误差累加，可能导致料盒整体出现偏斜；或因其他一些不可预知的情况，导致取料过程中崩环与料盒碰撞。
[0005]由于夹爪机构的刚性连接关系，崩环与料盒碰撞后会出现硬性拉取的现象，导致卡料、取料不到位等情况，严重时甚至会造成崩环及晶圆损坏。

技术实现思路

[0006]为解决上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于晶圆上料机的柔性夹爪机构，其特征在于：包括底板、水平位移机构、连接板、转动基座、转动连接架、夹爪气缸、夹爪、弹性元件，水平位移机构的固定端固定安装于底板上，连接板的一端固定安装于水平位移机构的活动端上，转动基座固定安装于连接板的另一端，转动连接架与转动基座转动连接，且转动连接架能够在水平面内转动，转动连接架的侧壁与转动基座之间装配有弹性元件，对转动连接架在水平面内的摆动形成约束，夹爪气缸的固定端装配于转动连接架上，夹爪装配于夹爪气缸的活动端。2.根据权利要求1中所述的一种适用于晶圆上料机的柔性夹爪机构，其特征在于：所述转动基座的主视侧面呈C形，转动基座的中部为横向设置的连接架回转槽，转动基座的上下侧壁竖向转动安装有转动销，转动基座的C形侧壁上设置有挡板装配孔，挡板装配孔处螺接有螺栓，挡板通过该螺栓固定安装于转动基座的C形侧壁上...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明明，余胡平，石文，刘祥鑫，刘苏阳，徐双双，
申请(专利权)人：沈阳和研科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：