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本发明属于上料设备技术领域，特别提供了一种适用于晶圆上料机的柔性夹爪机构，包括底板、水平位移机构、连接板、转动基座、转动连接架、夹爪气缸、夹爪、弹性元件，其中，转动基座的主视侧面呈C形，转动基座的上下侧壁竖向转动安装有转动销，转动连接架的侧...
该专利属于沈阳和研科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳和研科技股份有限公司授权不得商用。

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