用于坐标测量仪器的热平衡模块制造技术

本公开提供一种用于坐标测量仪器的热平衡模块，坐标测量仪器包括光学机构，光学机构包括可绕第一轴线旋转的光学主体，热平衡模块为将光学机构维持在预设的热平衡状态以使同一梯度的温度一致的热平衡模块，包括：多个加热模块、用于测量温度的多个监测模块以及根据由多个监测模块获得的温度来控制多个加热模块的温控模块，多个监测模块包括多个监测单元，监测单元的位置关于第一轴线对称分布，温控模块根据监测单元所获得的同一梯度的温度控制多个加热模块使得同一梯度的温度一致。由此，能够实现坐标测量仪器的热平衡状态。能够实现坐标测量仪器的热平衡状态。能够实现坐标测量仪器的热平衡状态。

【技术实现步骤摘要】
用于坐标测量仪器的热平衡模块
[0001]本申请是申请日为2021年07月23日、申请号为2021108396844、专利技术名称为“考虑热力载荷平衡的坐标测量仪器”的专利申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及一种用于坐标测量仪器的热平衡模块。

技术介绍

[0003]在坐标测量仪器中，电子器件的工作过程中存在发热和散热的问题，发热和散热过程在坐标测量仪器内形成一个不稳定的热源，这会导致坐标测量仪器结构产生热形变，进而导致激光束漂移，影响坐标测量仪器的精度。其次，由于安装过程的各种原因容易导致机身或者轴重心与轴系(方位轴系和俯仰轴系)不匹配，存在偏心距，导致例如伺服电机驱动旋转轴时力矩不平衡或控制不够精确。
[0004]现有技术中，大多采用风扇或者半导体制冷等散热方式对坐标测量仪器内进行散热，然而这些现有技术的解决方法并未消除热源不稳定因素，达不到抑制或控制坐标测量仪器内结构细微的热形变。在通过在轴系上增加载荷补偿来克服偏心距的问题的过程中，容易导致坐标测量仪器的其他零部件也会出现失衡，并不能完全克服偏心距的问题。另外，现有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于坐标测量仪器的热平衡模块，所述坐标测量仪器包括光学机构，所述光学机构包括可绕第一轴线旋转的光学主体，所述热平衡模块为将所述光学机构维持在预设的热平衡状态以使同一梯度的温度一致的热平衡模块，其特征在于，包括：多个加热模块、用于测量温度的多个监测模块以及根据由所述多个监测模块获得的温度来控制所述多个加热模块的温控模块，所述多个监测模块包括多个监测单元，所述监测单元的位置关于所述第一轴线对称分布，所述温控模块根据所述监测单元所获得的同一梯度的温度控制所述多个加热模块使得同一梯度的温度一致。2.根据权利要求1所述的热平衡模块，其特征在于，所述温控模块由一个总控制器构成或由多个控制器构成，所述总控制器同时接收不同的监测信号并同时控制不同的所述加热模块。3.根据权利要求1所述的热平衡模块，其特征在于，所述监测单元由多个温度传感器组成，所述温度传感器是RTD、铂热电阻温度传感器、热敏电阻温度传感器、热电偶电阻温度传感器以及半导体温度传感器中的一种。4.根据权利要求1所述的热平衡模块，其特征在于，所述温控模块根据所述监测模块的信息对所述加热模块是否工作进行控制，使得同一梯度的温度一致，使所述坐标测量仪器内各关键部位到达预定的热平衡状态以使各关键部件热形变同步，所述关键部件包括第一旋转轴、第二旋转轴和所述光学主体。5.根据权利要求4所述的热平衡模块，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张和君，陈源，廖学文，章智伟，冯福荣，张琥杰，
申请(专利权)人：深圳市中图仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：