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本公开提供一种用于坐标测量仪器的热平衡模块，坐标测量仪器包括光学机构，光学机构包括可绕第一轴线旋转的光学主体，热平衡模块为将光学机构维持在预设的热平衡状态以使同一梯度的温度一致的热平衡模块，包括：多个加热模块、用于测量温度的多个监测模块以及...
该专利属于深圳市中图仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市中图仪器股份有限公司授权不得商用。

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