一种冲压模具的超声清洗及其表面CrAlN涂层的制备制造技术

技术编号:38160196 阅读:10 留言:0更新日期:2023-07-13 09:32
本发明专利技术公开了一种冲压模具的超声清洗及其表面CrAlN涂层的制备,属于高强度板冲压模具制备技术领域,具体涉及采用了冲压模具作为基材,基材用渗氮的方式进行硬化,提高基材的承载力,避免蛋壳效应;涂层中第一层为结合层,结合层确保整个基材和涂层的附着力,第二层为结构相对疏松的能量吸收层,当来自外界的高强度压力时,可对应力进行吸收和转移,类似于“海绵弹性”的效果,第三层为主要功能层,主要功能层承接大部分来自外界的冲击应力,第四层为表面功能层,表面功能层是一个高硬度的表层,来抵抗与加工材料的磨损。抵抗与加工材料的磨损。抵抗与加工材料的磨损。

【技术实现步骤摘要】
一种冲压模具的超声清洗及其表面CrAlN涂层的制备


[0001]本专利技术属于高强度板冲压模具制备
,具体涉及一种冲压模具的超声清洗及其表面CrAlN涂层的制备。

技术介绍

[0002]CN101818321A公开了高硬度高弹性模量CrAlN保护涂层及其制备方法,文件中指出底层是Cr过渡层,厚度为400

600nm,外层是CrAlN涂层,为致密的陶瓷涂层,厚度为2.2

2.9μm,所采用的的制备方法为溅射镀膜法。通过该方法获得高硬高韧的CrAlN涂层。CN114645248A公开了一种表面抗咬合薄膜材料及其制备方法,文件中指出通过多弧离子镀的方法制备底层Cr,过渡层CrN以及CrAlBN功能层制得薄膜,从而解决航空中螺母粘结问题。CN113416926A公开了一种纳米多层结构过渡金属氮化物涂层及其制备方法和应用,通过多弧离子镀的方法制备CrAlN涂层的叠层涂层从而改善双金属带锯条的切屑性能。
[0003]现有技术的缺点在于制备的CrAlN涂层厚度较薄,基本在5μm以下,这主要是由于涂层的应力大,过厚的膜厚会导致涂层和基体之间出现崩碎,失去保护作用。然而应用于高强度冲压模具的涂层,涂层过薄的情况下,对模具所起到的保护作用不明显,因此需要设计者通过合理的涂层结构设计,来获得硬度高,韧性好,厚度足够的纳米涂层。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种硬度高、弹性模量高的冲压模具的超声清洗及其表面CrAlN涂层的制备。
[0005]本专利技术通过涂层合理的结构设计,来获得一款应用于冲压模具的纳米涂层,该涂层的硬度高,韧性好,涂层与基体之间的结合力≥80N,涂层厚度可达10μm以上,仍有好的效果。而一般情况下,CrAlN涂层厚度较薄,基本在5μm以下。
[0006]本专利技术为实现上述目的所采取的技术方案为:一种模具的CrAlN涂层,包括:基体材料,以及结合于基体材料上的CrAlN涂层;所述CrAlN涂层包括结合层、能量吸收层、主要功能层和表面功能层,结合层结合于基体材料上,能量吸收层结合于结合层上,主要功能层结合于能量吸收层上,主要功能层中至少含有CrAlN层和CrAl层的循环层;表面功能层结合于主要功能层上。本专利技术制备的CrAlN涂层包括了结合层、能量吸收层、主要功能层和表面功能层,由其结合形成高性能的CrAlN涂层,其最主要在于主要功能层上循环层的设置,本专利技术中主要功能层至少由CrAlN层和CrAl层循环沉积而成,而其中CrAlN层和CrAl层循环沉积的次数,对其性能有影响,CrAlN层和CrAl层循环沉积并非越多越好,而是在一定次数下具有最优的性能。
[0007]优选地,基体材料为冲压模具。
[0008]优选地,CrAlN涂层厚度为6.4μm以上。
[0009]优选地,CrAlN涂层厚度为10μm以上。
[0010]优选地,结合层厚度为0.4μm以上。
[0011]优选地,能量吸收层的厚度为2μm以上。
[0012]优选地,主要功能层的厚度为3μm以上。
[0013]优选地,表面功能层的厚度为1μm以上。
[0014]优选地,Cr结合层的涂层厚度为400~800nm;能量吸收层的涂层厚度为2~4μm;主要功能层的涂层厚度为3~6μm;表面功能层的厚度为1~2μm。
[0015]主要功能层包括其中CrAlN层和CrAl层的交替沉积,CrAlN层和CrAl层沉积完成一次为一个调制周期,CrAlN层和CrAl层的循环沉积层数为2

10层,即其调制周期为2

10。
[0016]一种应用于超声清洗后的冲压模具表面CrAlN涂层的制备方法,包括:在模具上通过多弧离子镀的方法沉积CrAlN涂层,所述CrAlN涂层包括结合层、能量吸收层、主要功能层和表面功能层,结合层结合于基体材料上,能量吸收层结合于结合层上,主要功能层结合于能量吸收层上,主要功能层中至少含有CrN层和CrAl层的循环层;表面功能层结合于主要功能层上;模具经超声清洗。
[0017]优选地,结合层的沉积:打开Cr靶,设置靶电流110

130A,偏压700

900V,5

15s,然后偏压500

700V,5

15s,然后偏压300

500V,5

15s,然后偏压200

250V,500

700s。
[0018]优选地,能量吸收层的沉积:打开Cr靶,通入氮气500

600sccm,气压设置为0.4

0.6Pa,设置靶电流140

160A,偏压5

15V,7000

8000s;优选地,主要功能层的沉积:关闭Cr靶,打开CrAl靶,通入氮气700

800sccm,气压设置为3

5Pa,设置靶电流为150

250A,偏压90

110V,时间500

700s;关闭氮气,保持其他设置参数不变,时间1000

1500s。
[0019]优选地,表面功能层的沉积中,在主要功能层沉积的基础上,打开CrAl靶,通入氮气700

900sccm,气压设置为3

5Pa,偏压为60

80V,设置靶电流为140

160A,镀膜时间3500

3700s。
[0020]优选地,冲压模具的清洗中,将冲压模具于清洗液超声清洗,烘干后,得到清洗后的冲压模具。清洗液包括丙酮。
[0021]优选地,冲压模具的预处理中,将清洗后的冲压模具置于多弧离子镀设备的真空炉中,然后抽真空至3
×
10
‑3Pa以下,升温至300~400℃,通入Ar气,打开偏压电源,设置参数为120~150V,IET参数为40~60A,钨丝电流 50~70A,进行Ar离子轰击,时间15~30min;然后通入N2,IET参数为50~70A,钨丝电流80~100A,偏压设置为40~100V,时间为120min;然后进行清靶,打开Cr靶和CrAl靶,设置靶电流150A,偏压0V,清靶时间为2min,得到预处理后的冲压模具。
[0022]优选地,冲压模具的镀膜中,采用多弧离子镀的方法对预处理后的冲压模具进行沉积CrAlN涂层。CrAlN涂层的沉积中,包括了结合层、能量吸收层、主要功能层和表面功能层,其中,结合层位于冲压模具表面,在结合层上沉积能量吸收层,在能量吸收层上沉积主要功能层,主要功能层可循环沉积,依所需要循环次数进行沉积之后,在最外层沉积表面功能层。
[0023]更优选地,结合层的沉积中,打开Cr靶,设置靶本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种模具的CrAlN涂层,包括:基体材料,以及结合于基体材料上的CrAlN涂层;所述CrAlN涂层包括结合层、能量吸收层、主要功能层和表面功能层,结合层结合于基体材料上,能量吸收层结合于结合层上,主要功能层结合于能量吸收层上,主要功能层中至少含有CrAlN层和CrAl层的循环层;表面功能层结合于主要功能层上。2.根据权利要求1所述的一种模具的CrAlN涂层,其特征是:所述基体材料为冲压模具。3.根据权利要求1所述的一种模具的CrAlN涂层,其特征是:所述CrAlN涂层厚度为6.4μm以上;或,CrAlN涂层厚度为10μm以上。4.根据权利要求1所述的一种模具的CrAlN涂层,其特征是:所述能量吸收层的涂层厚度为2~4μm;或,表面功能层的厚度为1~2μm。5.根据权利要求1所述的一种模具的CrAlN涂层,其特征是:所述主要功能层的厚度为3μm以上;或,主要功能层的涂层厚度为3~6μm。6.一种应用于超声清洗后的冲压模具表面CrAlN涂层的制备方法,包括:在模具上通过多弧离子镀的方法沉积CrAlN涂层,所述CrAlN涂层包括结合层、能量吸收层、主要功能层和表面功能层,结合层结合于基体材料上,能量吸收层结合于结合层上,主要功能层结合于能量吸收层上,主要功能层中至少含有CrN层和CrAl层的循环层;表面功能层结合于主要功能层上;所述模具经超声清洗。7.根据权利要求6所述的一种应用于超声清洗后的冲压模具表面CrAlN涂层的制备方法,其特征是:所述结合层的沉积:打开Cr靶,设置靶电流110

130A,偏压700

900V,5

15s,然后偏压500

700V,5

15s,然后...

【专利技术属性】
技术研发人员:贺林青李庆超沈学忠
申请(专利权)人:纳狮新材料有限公司东莞瀚晶纳米材料有限公司
类型:发明
国别省市:

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