一种分选控制方法、装置、设备、介质及产品制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种分选控制方法、装置、设备及介质，该方法应用于制造执行系统，通过预先获取用户配置的盒子标识、设备标识和第一对应关系之间的第二对应关系，当目标盒子到达设备时，获取该设备发送的目标盒子的盒子标识和设备的设备标识，根据该盒子标识、设备标识和第二对应关系，获取包括分选标识和类型的第一对应关系。然后根据盒子标识获取该盒子中晶圆的晶圆标识和晶圆类型，根据该晶圆类型和第一对应关系，获取晶圆类型对应的分选标识，然后将晶圆标识和对应的分选标识返回至该设备，以指示该设备将不同的晶圆移动至对应类型的分选口。由此，通过可以灵活设置的分选标识和类型的第一对应关系，提高了分选效率。提高了分选效率。提高了分选效率。

【技术实现步骤摘要】
一种分选控制方法、装置、设备、介质及产品


[0001]本专利技术实施例涉及控制
，尤其涉及一种分选控制方法、装置、设备、计算机可读存储介质及计算机程序产品。

技术介绍

[0002]在半导体领域的晶圆分选中，通过分选设备对晶圆进行分选，具体地，需要将晶圆移动到目标位置。
[0003]通常情况下，分选设备的装载口和分选类型为固定的对应关系。例如，当分选设备具有3个装载口时，则只能将3种类型的晶圆进行分选。如果需要对第四种类型的晶圆进行分选，则需要另一种分选设备。
[0004]但是在实际生产中，通常需要进行多种类型的分选，由此需要多个分选设备，影响分选效率。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术实施例期望提供一种分选控制方法，该方法能够提高晶圆分选的效率。本申请还提供了该方法对应的装置、设备、介质以及程序产品。
[0006]本专利技术实施例的技术方案是这样实现的：
[0007]第一方面，本专利技术实施例提供了一种分选控制方法，所述方法应用于制造执行系统，包括：
>[0008]获取用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分选控制方法，其特征在于，所述方法应用于制造执行系统，所述方法包括：获取用户配置的盒子标识、设备标识与第一对应关系之间的第二对应关系；当目标盒子到达设备时，获取所述设备发送的目标盒子的盒子标识和所述设备的设备标识；根据所述盒子标识、所述设备标识以及所述第二对应关系，获取第一对应关系，所述第一对应关系包括分选标识和类型的对应关系；根据所述盒子标识获取所述盒子中晶圆的晶圆标识和晶圆类型；根据所述晶圆类型与所述第一对应关系，获取所述晶圆类型对应的分选标识；将所述晶圆标识和所述分选标识发送至所述设备，以使所述设备将所述晶圆移动至所述分选标识对应的分选口。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述盒子标识、所述设备标识以及所述第二对应关系，获取第一对应关系，包括：根据所述盒子标识、所述设备标识和第三对应关系，获取客户标识，所述第二对应关系包括所述第三对应关系，所述第三对应关系包括盒子标识、设备标识和客户标识的对应关系；根据所述客户标识、设备标识和第四对应关系获取所述第一对应关系，所述第二对应关系包括所述第四对应关系，所述第四对应关系包括客户标识、设备标识以及第一对应关系的对应关系。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述盒子标识获取所述盒子中的晶圆标识和晶圆类型，包括：响应于设备的晶圆分选请求，根据所述盒子标识获取所述盒子中的晶圆标识和晶圆类型。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：判断所述第二对应关系是否包...

【专利技术属性】
技术研发人员：余以杰，王贵石，范东方，刘永亮，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：