一种蓝宝石衬底片氧化铝抛光液及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种蓝宝石衬底片氧化铝抛光液及其制备方法。本发明专利技术的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液由氧化铝粉体、分散剂、抛光增速剂、pH调节剂以及水组成，其中，所述分散剂为大分子分散剂，所述氧化铝粉体的粒径在0.5

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石衬底片氧化铝抛光液及其制备方法


[0001]本专利技术涉及抛光液
，具体涉及一种蓝宝石衬底片氧化铝抛光液及其制备方法。

技术介绍

[0002]氧化铝抛光液是目前广泛应用于蓝宝石衬底片抛光的抛光液，但是目前市场的氧化铝抛光液存在诸多问题，如氧化铝分散性不好、底部板结、有沉淀、去除速率达不到、有划伤与塌边等缺陷，严重影响抛光品质量。
[0003]此外，现有的氧化铝抛光液通常加太多的化学试剂，且配制繁琐。如专利申请CN115029070A公开的一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法，配制的氧化铝抛光液虽然使抛光速率提高了很多，但添加试剂太多；而且有双氧水氧化剂，在碱性条件下影响效果，加了双氧水的氧化剂，比较容易分解，加入的双氧水容易挥发，桶会膨胀。再如专利CN114456716公开的一种抛光蓝宝石用氧化铝抛光液及其制备方法，配制的氧化铝抛光液虽然悬浮分散性高、润湿性也好，但也加入了双氧水氧化剂。氧化铝抛光液中加入的双氧水氧化剂由于易挥发原因，配制放一段时间就会失去效果，需要现场添加，给生产带来负担。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是针对现有技术中蓝宝石衬底片的氧化铝抛光液存在分散性差、抛光效率低以及化学试剂添加过多而不利于提高使用效率的问题，提供了一种蓝宝石衬底片氧化铝抛光液。该蓝宝石衬底片氧化铝抛光液采用大分子分散剂进行分散细粒径的氧化铝粉体配制而成，悬浮性好、化学试剂添加少，且抛光效率高。
[0005]本专利技术的目的还在于提供上述蓝宝石衬底片氧化铝抛光液的制备方法。
[0006]本专利技术的目的通过如下技术方案实现。
[0007]一种蓝宝石衬底片氧化铝抛光液，按质量百分比计，由如下组分组成：氧化铝粉体20
‑
30％，大分子分散剂1
‑
5％，抛光增速剂1
‑
10％，pH调节剂1
‑
3％，余量为水；所述大分子分散剂为山梨醇、十二烷基硫酸钠、木质素磺酸钠、聚乙烯醇、甲基丙烯酸钠、乙二醇单丁醚以及丙二醇甲醚醋酸酯中的任一种或多种的混合物。
[0008]在优选的实施例中，所述氧化铝粉体为α
‑
氧化铝粉体。
[0009]在优选的实施例中，所述氧化铝粉体的粒径在0.5
‑
1.0μm。
[0010]在优选的实施例中，所述蓝宝石衬底片氧化铝抛光液的pH值为9
‑
13。
[0011]在优选的实施例中，所述抛光增速剂包括聚乙二醇400、脂肪醇聚氧乙烯醚、甘油以及聚乙烯醇中的任一种或多种的混合物。
[0012]在优选的实施例中，所述pH调节剂为氢氧化钠、乙醇胺、二乙醇胺、氢氧化钾以及四甲基氢氧化铵中的任一种或多种的混合物，更优选为四甲基氢氧化铵。
[0013]在优选的实施例中，所述的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液，按质量百分比计，由如下组分组成：氧化铝粉体20％，大分子分散剂1％，抛光增速剂1％，pH调节剂1
‑
3％，余量为水。
[0014]在优选的实施例中，所述的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液，其特征在于，按质量百分比计，由如下组分组成：氧化铝粉体20％，大分子分散剂1％，所述大分子分散剂为山梨醇，抛光增速剂1％，所述抛光增速剂为聚乙烯醇，pH调节剂1
‑
3％，余量为水。
[0015]制备上述任一项所述的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液的方法，包括如下步骤：
[0016](1)将所述氧化铝粉体分散在水中，形成氧化铝粉体溶液；
[0017](2)在搅拌条件下，将所述抛光增速剂以及大分子分散剂依次加入至所述氧化铝粉体溶液中，搅拌溶解均匀；
[0018](3)加入所述pH调节剂，继续搅拌至混合均匀，即获得所述蓝宝石衬底片氧化铝抛光液。
[0019]优选的，步骤(2)中，所述搅拌的转速为1000
‑‑
1500r/min。
[0020]优选的，步骤(3)中，所述继续搅拌的时间为10
‑
30分钟。
[0021]与现有技术相比，本专利技术具有如下优点和有益效果：
[0022]本专利技术的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液，由氧化铝粉体、大分子分散剂、抛光增速剂、pH调节剂以及水组成。其中，大分子分散剂能够很好的分散氧化铝粉体，使抛光液中的氧化铝粉体颗粒均匀分布，进而使抛光液的抛光性能得到最大发挥，提高抛光液的抛光速率，且氧化铝粉体为细粒径颗粒粉体。从而，在抛光使用时衬底片表面不易造成划伤，表面粗糙度Ra可以达到低于0.3nm，去除速率可以达到15μm/h以上，具有优异的抛光效率。
[0023]此外，该蓝宝石衬底片氧化铝抛光液中不添加双氧水氧化剂，不仅保证了抛光液的良好分散性，避免了双氧水的挥发造成的氧化铝粉体悬浮性变差以及抛光液失效的问题，且使抛光液易于存放，方便使用，成本降低，具有高的性价比。
[0024]本专利技术的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液的制备方法，基于所述蓝宝石衬底片氧化铝抛光液的各组成成分的特性，采用特定工艺进行各组分的混合，获得分散性均匀性高、分散稳定性好的所述蓝宝石衬底片氧化铝抛光液，能够实现所述蓝宝石衬底片氧化铝抛光液规模化生产。
附图说明
[0025]图1为具体实施例中采用的氧化铝粉体的电镜图；
[0026]图2为具体实施例中采用的氧化铝粉体的粒径分布图；
[0027]图3为采用实施例1的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液抛光后的蓝宝石衬底片的表面粗糙度观测图。
具体实施方式
[0028]以下结合具体实施例对本专利技术的技术方案作进一步详细的描述，但本专利技术的保护范围及实施方式不限于此。本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容的理解更加透彻全面。
[0029]并且，除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。
[0030]应该理解，在本专利技术中使用的单数形式，如“一种”，包括复数指代，除非另有规定。
此外，术语“包括”、“含有”、“具有”是开放性限定并非封闭式，即包括本专利技术所指明的内容，但并不排除其他方面的内容。换言之，所述术语也包括“基本上由
…
构成”、或“由
…
构成”。
[0031]另外，说明书中的“及其组合”指的是列举的所有项目的任意组合形式。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0032]除非另有规定，本文使用的所有技术术语和科学术语具有要求保护主题所属领域的标准含义。倘若对于某术语存在多个定义，则以本文定义为准。
[0033]除非另有指明，本专利技术采用分析化学、有机合成化学和光学的标准命名及标准实验室步骤和技术。
[0034]在不违背本领域本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石衬底片氧化铝抛光液，其特征在于，按质量百分比计，由如下组分组成：氧化铝粉体20
‑
30％，大分子分散剂1
‑
5％，抛光增速剂1
‑
10％，pH调节剂1
‑
3％，余量为水；所述大分子分散剂为山梨醇、十二烷基硫酸钠、木质素磺酸钠、聚乙烯醇、甲基丙烯酸钠、乙二醇单丁醚以及丙二醇甲醚醋酸酯中的任一种或多种的混合物。2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液，其特征在于，所述氧化铝粉体为α
‑
氧化铝粉体。3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液，其特征在于，所述氧化铝粉体的粒径在0.5
‑
1.0μm。4.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液，其特征在于，pH值为9
‑
13。5.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液，其特征在于，所述抛光增速剂包括聚乙二醇400、脂肪醇聚氧乙烯醚、甘油以及聚乙烯醇中的任一种或多种的混合物；和/或，所述pH调节剂为氢氧化钠、乙醇胺、二乙醇胺、氢氧化钾以及四甲基氢氧化铵中的任一种或多种的混合物。6.根据权利要求1
‑

【专利技术属性】
技术研发人员：陈杏辉，袁黎光，杨小牛，王杰，
申请(专利权)人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院，
类型：发明
国别省市：