一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件制造技术

涉及清洗技术领域，本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件，包括箱体，所述箱体底面固定连接有过滤箱，所述过滤箱的内部固定设有两个斜滤板，所述箱体的内部固定设有水箱，所述水箱的外部固定连接有多个喷头，所述箱体的内部固定设有挡板，多个所述喷头的外端均伸出挡板，所述箱体的内部转动连接有转杆，所述箱体的内壁固定设有电机，所述电机的输出端固定连接有转轮，所述转轮的外部转动连接有皮带，所述皮带的一端转动连接有飞轮，所述飞轮的内部固定连接转杆，所述转杆的外部固定套设有滚笼，所述滚笼的内部固定设有两个连杆，本实用新型专利技术可以及时清除研磨头的水分，可以让研磨头立即投入使用。可以让研磨头立即投入使用。可以让研磨头立即投入使用。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件


[0001]本技术涉及清洗
，具体为一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件。

技术介绍

[0002]晶圆抛光机是一种机构设计复杂、精度要求比较高的机械生产设备。就抛光工艺本身来说，它是一种对于尺寸要求比较高的可以有效改善产品外表面粗糙度的表面加工工艺。随着抛光工艺的发展，抛光机的种类越来越多，涉及的领域范围也越来越大。而它就是适用于半导体行业的抛光打磨设备。
[0003]经检索，公告号为：CN211103452U的中国专利公布了一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件，包括有底座、固定杆、喷嘴、水管、气动阀，所述固定杆与底座之间采用焊接，所述喷嘴通过紧固件固定连接在固定杆上且可拆卸，所述水管的一端连接在喷嘴的底部，所述水管的另一端连接有气动阀。
[0004]该专利还存在以下缺点：虽然该专利能够调节清洗的角度，实现最优化的清洗效果，但是它的装置没有干燥装置，不能及时清除研磨头的水分，不易立即投入使用。
[0005]所以，本申请现提出一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件来解决上述出现的问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件，以解决上述没有干燥装置，不能及时清除研磨头的水分，不易立即投入使用的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件，包括箱体，所述箱体底面固定连接有过滤箱，所述过滤箱的内部固定设有两个斜滤板，所述箱体的内部固定设有水箱，所述水箱的外部固定连接有多个喷头，所述箱体的内部固定设有挡板，多个所述喷头的外端均伸出挡板，所述箱体的内部转动连接有转杆，所述箱体的内壁固定设有电机，所述电机的输出端固定连接有转轮，所述转轮的外部转动连接有皮带，所述皮带的一端转动连接有飞轮，所述飞轮的内部固定连接转杆。
[0008]其中，所述转杆的外部固定套设有滚笼，所述滚笼的内部固定设有两个连杆，两个所述连杆的外侧均固定连接有多个夹具，所述箱体的内壁固定设有风机，所述箱体的内部固定连接有加热管。
[0009]其中，多个所述夹具的内部均活动连接有两个压杆，多个所述压杆的外部固定套设有弹簧。
[0010]其中，所述过滤箱的底面固定连接有多个垫块。
[0011]其中，所述水箱的上端面固定连接有进水管，所述进水管伸出箱体。
[0012]其中，所述过滤箱的侧面固定连接有出水管。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]本技术在使用时，首先通过进水管注入水源到水箱里，打开滚笼的门，将研磨
头依次放到夹具里，夹具受到向外的力，弹簧蓄积弹力，释放弹力，将压杆向前推动，挤压住研磨头，防止研磨头掉落，启动电机，电机驱动转轮，带动皮带以及飞轮转动，飞轮带动转杆转动，转杆带动与之连接的滚笼转动，与此同时启动水箱里的驱动装置，将水从喷头中喷出，喷到滚笼里，滚笼转动的同时喷水清洗，可以将研磨头全方位的清洗干净，清洗好后，启动风机和加热管，风机吹出风通过加热管的加热成为热风，此时转动滚笼，即可将研磨头甩干干燥，本装置可以及时清除研磨头的水分，可以让研磨头立即投入使用。
附图说明
[0015]图1为本技术立体结构示意图；
[0016]图2为本技术剖视图；
[0017]图3为本技术滚笼内部结构示意图。
[0018]图中：1、箱体；2、过滤箱；3、斜滤板；4、水箱；5、喷头；6、挡板；7、转杆；8、电机；9、转轮；10、皮带；11、飞轮；12、滚笼；13、连杆；14、夹具；15、风机；16、加热管；17、压杆；18、弹簧；19、垫块；20、进水管；21、出水管。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件，包括箱体1，箱体1底面固定连接有过滤箱2，过滤箱2的内部固定设有两个斜滤板3，箱体1的内部固定设有水箱4，水箱4的外部固定连接有多个喷头5，箱体1的内部固定设有挡板6，多个喷头5的外端均伸出挡板6，箱体1的内部转动连接有转杆7，箱体1的内壁固定设有电机8，电机8的输出端固定连接有转轮9，转轮9的外部转动连接有皮带10，皮带10的一端转动连接有飞轮11，飞轮11的内部固定连接转杆7，启动水箱4里的驱动装置，将水从喷头5中喷出，喷到滚笼12里，滚笼12转动的同时喷水清洗，可以将研磨头全方位的清洗干净。
[0021]其中，转杆7的外部固定套设有滚笼12，滚笼12的内部固定设有两个连杆13，两个连杆13的外侧均固定连接有多个夹具14，箱体1的内壁固定设有风机15，箱体1的内部固定连接有加热管16，启动风机15和加热管16，风机15吹出风通过加热管16的加热成为热风，此时转动滚笼12，即可将研磨头甩干干燥。
[0022]其中，多个夹具14的内部均活动连接有两个压杆17，多个压杆17的外部固定套设有弹簧18，夹具14受到向外的力，弹簧18蓄积弹力，释放弹力，将压杆17向前推动，挤压住研磨头。
[0023]其中，过滤箱2的底面固定连接有多个垫块19，提供支撑点，防滑。
[0024]其中，水箱4的上端面固定连接有进水管20，进水管20伸出箱体1，通过进水管20注入水源到水箱4里。
[0025]其中，过滤箱2的侧面固定连接有出水管21，便于废水排出。
[0026]工作原理：在使用时，首先通过进水管20注入水源到水箱4里，打开滚笼12的门，将
研磨头依次放到夹具14里，夹具14受到向外的力，弹簧18蓄积弹力，释放弹力，将压杆17向前推动，挤压住研磨头，防止研磨头掉落，启动电机8，电机8驱动转轮9，带动皮带10以及飞轮11转动，飞轮11带动转杆7转动，转杆7带动与之连接的滚笼12转动，与此同时启动水箱4里的驱动装置，将水从喷头5中喷出，喷到滚笼12里，滚笼12转动的同时喷水清洗，可以将研磨头全方位的清洗干净，清洗好后，启动风机15和加热管16，风机15吹出风通过加热管16的加热成为热风，此时转动滚笼12，即可将研磨头甩干干燥。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)底面固定连接有过滤箱(2)，所述过滤箱(2)的内部固定设有两个斜滤板(3)，所述箱体(1)的内部固定设有水箱(4)，所述水箱(4)的外部固定连接有多个喷头(5)，所述箱体(1)的内部固定设有挡板(6)，多个所述喷头(5)的外端均伸出挡板(6)，所述箱体(1)的内部转动连接有转杆(7)，所述箱体(1)的内壁固定设有电机(8)，所述电机(8)的输出端固定连接有转轮(9)，所述转轮(9)的外部转动连接有皮带(10)，所述皮带(10)的一端转动连接有飞轮(11)，所述飞轮(11)的内部固定连接转杆(7)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件，其特征在于：所述转杆(7)的外部固定套设有滚笼(12)，所述滚笼(12)的内部固定设有两个连杆(...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈思雯，
申请(专利权)人：黑曼巴半导体无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：