一种IC装备零部件喷涂设备制造技术

本发明专利技术公开一种IC装备零部件喷涂设备，包括机床，所述的机床的上方设有轨道，所述的轨道对称设有两组，且截面弧状结构，两个轨道之间设有缝隙，所述的缝隙内设有推料机构；所述的机床上方设有喷涂箱，所述的喷涂箱内设有喷涂管，所述的喷涂管上设有多个喷嘴，所述的喷涂箱上方设有料桶，所述的料桶通过管道连接喷涂管。所述的推料机构包括气压缸，所述的气压缸的伸缩轴连接推料板，所述的推料板上设有多个三角板，所述的三角板位于缝隙的正下方。本发明专利技术的优点在于：设置推料机构，方便对零部件进行喷涂，并且是采用间歇式喷涂，喷涂效果更好；喷涂管可以上下移动，前后零件不会相互影响；设置收集斗，对喷涂箱内的气体进行收集净化处理。化处理。化处理。

【技术实现步骤摘要】
一种IC装备零部件喷涂设备


[0001]本专利技术涉及到喷涂设备领域，具体是指一种IC装备零部件喷涂设备。

技术介绍

[0002]随着电子集成电路，智能制造的快速发展和普及，对于IC装备的需求量也日益增加。国家也将集成电路制造归到9大专项中的02专项进行攻关和研发。该零部件在晶元制造中起到传递和传送的作用，随着IC装备产业的不断发展，对于设备的需求也剧增，则此类零件也有很大的市场需求。
[0003]传统的IC装备零部件多采用阳极氧化铝涂层进行防护。由于零部件处于强的腐蚀性环境和离子轰击交互作用状态，一旦因腐蚀而产生金属离子溶出造成系统污染，损失将无法估量。氧化钇涂层属于陶瓷涂层，通常使用等离子喷涂进行制备，目前进行喷涂时无法进行批量喷涂，喷涂效率不高。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的是以上技术问题，提供一种IC装备零部件喷涂设备。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供的技术方案为：一种IC装备零部件喷涂设备，包括机床，所述的机床的上方设有轨道，所述的轨道对称设有两组，且截面弧状结构，两个轨道之间设有缝隙，所述的缝隙内设有推料机构；
[0006]所述的机床上方设有喷涂箱，所述的喷涂箱内设有喷涂管，所述的喷涂管上设有多个喷嘴，所述的喷涂箱上方设有料桶，所述的料桶通过管道连接喷涂管。
[0007]进一步的，所述的推料机构包括气压缸，所述的气压缸的伸缩轴连接推料板，所述的推料板上设有多个三角板，所述的三角板位于缝隙的正下方。
[0008]进一步的，所述的三角板通过转轴转动设置在推料板上，所述的推料板上设有限位柱。
[0009]进一步的，述的管道为伸缩结构，所述的喷涂管一侧设有螺纹柱，另一侧设有圆柱，所述的喷涂管的两端分别套接在螺纹柱和圆柱上，所述的喷涂箱上方设有电机，所述的电机的主轴连接螺纹柱。
[0010]进一步的，所述的喷嘴的外侧设有挡板，所述的挡板为圆锥形结构。
[0011]进一步的，所述的机床内设有收集斗，所述的收集斗通过引流管连接净化箱，所述的净化箱内垂直设有多个净化板。
[0012]本专利技术与现有技术相比的优点在于：
[0013]1、设置推料机构，方便对零部件进行喷涂，并且是采用间歇式喷涂，喷涂效果更好；
[0014]2、喷涂管可以上下移动，喷涂时，前后零件不会相互影响；
[0015]3、设置收集斗，对喷涂箱内的气体进行收集净化处理。
附图说明
[0016]图1是本专利技术一种IC装备零部件喷涂设备的结构示意图一。
[0017]图2是本专利技术一种IC装备零部件喷涂设备的结构示意图二。
[0018]图3是本专利技术一种IC装备零部件喷涂设备的轨道的结构示意图。
[0019]图4是图1中A处的放大图。
[0020]图5是图2中B处的放大图。
具体实施方式
[0021]为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图1
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5及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0022]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0023]本专利技术的工作原理：
[0024]一种IC装备零部件喷涂设备，包括机床1，所述的机床1的上方设有轨道2，所述的轨道2对称设有两组，且截面弧状结构，零部件位于两个轨道上方，缝隙的距离小于零部件的尺寸，轨道设计为弧状，防止零部件在前进的过程中发生位移；
[0025]两个轨道2之间设有缝隙3，所述的缝隙3内设有推料机构4；所述的推料机构4包括气压缸401，所述的气压缸401的伸缩轴连接推料板402，所述的推料板402上设有多个三角板403，所述的三角板403位于缝隙3的正下方，
[0026]所述的三角板403通过转轴10转动设置在推料板402上，所述的推料板402上设有限位柱11，所述的限位柱11位于转轴10的斜下方，三角板处于正常状态下，一端高于缝隙，进行接触零部件的一侧，推料板前进，三角板推动零部件前进，推料板回缩，位于后方的零部件下压三角板，三角板转动，进行推下一个零部件；
[0027]所述的机床1上方设有喷涂箱5，所述的喷涂箱5内设有喷涂管6，所述的喷涂管6上设有多个喷嘴7，所述的喷涂箱5上方设有料桶8，所述的料桶8通过管道9连接喷涂管6，料箱内的物料沿着管道进入到喷涂管中，然后经过喷嘴进行喷出；
[0028]所述的管道9为伸缩结构，所述的喷涂管6一侧设有螺纹柱12，另一侧设有圆柱13，所述的喷涂管6的两端分别套接在螺纹柱12和圆柱13上，所述的喷涂箱5上方设有电机14，所述的电机14的主轴连接螺纹柱12，电机带动螺纹柱转动，从而带动喷涂管上下移动，对于零部件记性精准喷涂；
[0029]所述的喷嘴7的外侧设有挡板15，所述的挡板15为圆锥形结构，喷涂时，前后零件不会相互影响。
[0030]所述的机床1内设有收集斗16，所述的收集斗16通过引流管17连接净化箱18，所述的净化箱18内垂直设有多个净化板19，对喷涂箱内的气体进行收集净化处理。
[0031]以上对本专利技术及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本专利技术的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本专利技术创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相
似的结构方式及实施例，均应属于本专利技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种IC装备零部件喷涂设备，包括机床(1)，其特征在于：所述的机床(1)的上方设有轨道(2)，所述的轨道(2)对称设有两组，且截面弧状结构，两个轨道(2)之间设有缝隙(3)，所述的缝隙(3)内设有推料机构(4)；所述的机床(1)上方设有喷涂箱(5)，所述的喷涂箱(5)内设有喷涂管(6)，所述的喷涂管(6)上设有多个喷嘴(7)，所述的喷涂箱(5)上方设有料桶(8)，所述的料桶(8)通过管道(9)连接喷涂管(6)。2.根据权利要求1所述的一种IC装备零部件喷涂设备，其特征在于：所述的推料机构(4)包括气压缸(401)，所述的气压缸(401)的伸缩轴连接推料板(402)，所述的推料板(402)上设有多个三角板(403)，所述的三角板(403)位于缝隙(3)的正下方。3.根据权利要求2所述的一种IC装备零部件喷涂设备，其特征在于：所述的三角板(403)通过转轴(10)转动设...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐宏岩，丛雪，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：