品质管理方法技术

一种品质管理方法，包括：以分组方式对样本数据进行采样，其中不同组的数据之间不具有连续性；根据所述样本数据，分别设置组间控制界以及组内控制界。本发明专利技术充分考虑了批处理生产过程中，样本数据组织间不具备连续性的特点，对所采集的样本数据分别设置了组间控制界和组内控制界，从而改善了常规品质管理方法对批处理生产过程无法监控或监控时发生失误的现象，有效地提高了对批处理生产过程的监控水平，提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，特别是对批处理生产中产品的。
技术介绍
在企业的生产部门里，每天都要生产或加工大量产品，产品的性能和品质关系到企业的命脉，对产品质量进行及时的监控和检测分析显得尤为重要。就是通过对产品质量进行检测和分析，从而实现对生产的控制的一种方法，其中，常常通过采集产品质量的相关参数数据，采用统计学原理对所采集的参数样本数据进行分析，及时发现问题，从而实现对生产条件或流程的完善和改进。 在对产品质量进行监控的过程中，可将产品分为“合格品”和“不合格品”两种类型。以半导体制造生产为例，其中，“不合格品”，也就是残次品，是指生产过程中所产生的、其功能无法实现的芯片。现有技术采用统计方法对这样的不合格品进行监控时，通常采用p型控制图对其进行分析，即通过监控出现不合格评的概率来对生产过程进行监控。理论上，在计算控制界时，总是认为所采集的采样数据符合一定的前提条件，即采样数据为在连续的生产过程中所采集到的具有连续性的样本数据。 然而在实际生产制造的过程中，由于实际需要，为提高生产效率，常采用批处理方式进行生产。在批处理过程中，将连续的单个生产过程分为多个连续的生产阶段，并且所有进入生产过程的一组原材料分为并行处理的原材料，每个组分别同时经过每个生产阶段直至生产过程结束，最后将每个组处理好的产品汇集在一起。当某一个生产阶段结束，将进入下一个生产阶段时，通过对多组产品数据进行测量，获得同一个生产阶段中的多组样本数据。这些样本数据的组之间不存在连续性，因此当对这些样本数据进行分析和计算时，采用原来的方法获得的控制界将不能有效地对批处理生产过程进行监控。 专利
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种，能对批处理生产过程中的多组产品进行品质管理和监控。 为解决上述问题，本专利技术提供了一种，包括分组对样本数据进行采样，其中不同组的数据之间不具有连续性；根据所述样本数据，分别设置组间控制界以及组内控制界。 可选的，所述样本数据为μ+σβωi+σWεij，其中i＝1，2，....，m，且j＝1，2，...，n； 为样本数据的组间方差， 为样本数据的组内方差，并且ωi、εij为独立正态分布N(0，1)的随机方差。 可选的，所述分组对样本数据进行采样，包括根据所述样本数据，计算所述样本数据的组内方差和组间方差。 可选的，所述计算样本数据的组内方差和组间方差包括获得所述样本数据的方差V(Yij)以及所述样本数据平均值的方差 根据 以及 获得所述样本数据的组间方差 以及所述样本数据的组内方差 其中，n为所述样本数据的数目。 可选的，所述根据样本数据，分别设置组间控制界以及组内控制界，包括采用p型控制图对所述样本数据进行监控。 可选的，所述采用p型控制图对样本数据进行监控，包括计算各组样本数据的不合格率；计算组间平均不合格率；根据所述各组的样本数据的不合格率以及所述组间平均不合格率，获得组间控制图和组内控制图。 可选的，所述组内控制界包括 组内控制上限 组内控制下限为 组内均值为 可选的，所述组间控制界包括 组间控制上限为 组间控制下限为 组间均值为 与现有技术相比，本专利技术具有以下优点充分考虑了批处理生产过程中，样本数据组织间不具备连续性的特点，对所采集的样本数据分别设置了组间控制界和组内控制界，从而改善了常规对批处理生产过程无法监控或监控时发生失误的现象，有效地提高了对批处理生产过程的监控水平，提高了生产效率。 附图说明 图1是本专利技术实施方式的流程示意图； 图2是本专利技术具体实施方式中获得所述样本数据的组间控制图和组内控制图的流程示意图； 图3是本专利技术具体实施例中样本数据组间控制图的示意图； 图4是采用本专利技术具体实施例所获得的样本数据组间控制图的控制上界、以及采用现有技术所获得的控制上界的示意图。 具体实施例方式 产品要么属于合格，要不属于不合格，也就是说，对于同一件产品的测试结果而言，具有两种可能的相互对立的测试结果。其中，获得所述不合格产品的概率在统计学上满足二项分布(binomial distribution)。其中，所述二项分布，就是统计学上对这种只具有两种互斥结果的离散型随机事件的规律性进行描述的一种概率分布。具体来说，不合格产品数量为D，总产品数量为n，P为出现合格产品的概率，则具有以下关系 在现有技术中，采用p型控制图对生产过程进行品质管理，包括对m组样本依次进行采样，其中每组包含n个样本数据；根据所采集的样本数据是否合格，对每组的采样结果进行统计整理；根据第i组采集到的不合格样本的数量为Di，其中，i＝1，2，3，....，m，获得第i组中所具有的不合格率 即 根据每组所具有的不合格率 获得m组的平均不合格率 即 根据所获得的平均不合格率 获得p控制图对所述批处理生产过程进行品质管理时，所采用的上控制界UCL、下控制界LCL以及均值CL，分别为 然而，上述控制界等参数的获得是基于m组样本数据之间具有连续性的基础上，但是，这对于批处理生产过程而言，是无法实现的。在批处理的生产过程中，由于批处理流程的性质，不同组之间的样本数据可以是同时获得，也可以是依次获得，但不同组的样本数据之间不存在连续性。 基于此，参考图1，本专利技术提供一种，包括步骤S1，以分组方式对样本数据进行采样，其中不同组的数据之间不具有连续性；步骤S2，根据所述样本数据，分别设置组间控制界以及组内控制界。 具体来说，上述(4)-(6)的获得，是基于所采集到的每个样本数据都具有以下关系 Xij＝μ+σWεij..................(7) 其中，i＝1，2，....，m，且j＝1，2，...，n；n为在同一个组内所获得样本数据数目，m为组数。μ为总体样本数据平均值， 为样本数据方差，并且εij为独立正态分布N(0，1)的随机方差。 其中， 为样本总体均值，并且具有分布 但是，在批处理生产过程中，所采集的样本数据分为不同的组，并且组与组之间的数据没有连续性。具体来说，批处理生产过程中所获得样本数据满足以下的关系 Yij＝μ+σBωi+σWεij..................(9) 其中，i＝1，2，....，m，且j＝1，2，...，n； 为样本数据的组间方差， 为样本数据的组内方差，并且ωi为独立正态分布N(0，1)的随机方差。 对照式(8)和式(9)，由于批处理生产过程中所获得的样本数据不能忽视组间方差的存在，因此用常规对批处理生产过程进行监控显然是行不通的。 对于式(9)所描述的样本数据，进一步地，具有 其中， V(Yij)为Yij的方差， 为 的方差， 根据V(Yij)和 以及式(10)和式(11)，可获得 和 下面以晶圆的刻蚀过程为例，对本专利技术实施方式作进一步说明。 首先，分别对在不同的控制室制作生产的晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种品质管理方法，其特征在于，包括：以分组方式对样本数据进行采样，其中不同组的数据之间不具有连续性；根据所述样本数据，分别设置组间控制界以及组内控制界。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨斯元，简维廷，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]