弹性体组合物、密封材料及密封材料的制造方法技术

本发明专利技术的一实施方式涉及弹性体组合物、密封材料或密封材料的制造方法，该弹性体组合物包含全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(A)、含烯属不饱和键的化合物(B)、交联剂(C)及交联助剂(D)，所述含烯属不饱和键的化合物(B)包含选自具有烯属不饱和键的全氟骨架的化合物、以及具有烯属不饱和键的硅氧烷骨架的化合物中的至少一种，所述交联助剂(D)的含量相对于所述交联剂(C)的含量的质量比在5以上。述交联剂(C)的含量的质量比在5以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性体组合物、密封材料及密封材料的制造方法


[0001]本专利技术的一实施方式涉及弹性体组合物、密封材料或密封材料的制造方法。

技术介绍

[0002]一直以来，密封材料被广泛用于各种用途，在这些用途中，作为对密封材料负荷最大的密封材料的用途的一例，可例举半导体制造装置等中使用的密封材料。
[0003]作为这样的密封材料，为了能够获得耐等离子体性或耐自由基性优异的密封材料，使用含氟弹性体(FKM)、全氟弹性体(FFKM)等交联性含氟弹性体。
[0004]例如，专利文献1公开了一种包含含氢氟橡胶、氢位(日文：水素
サイト
)保护剂和热交联剂的未交联橡胶组合物。
[0005]现有技术文件
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本专利特开2019
‑
52226号公报

技术实现思路

[0008]专利技术所要解决的技术问题
[0009]但是，作为由专利文献1记载等现有的弹性体组合物形成的密封材料、特别是被用于等离子体气氛等中粒子产生成为问题的用途的密封材料，采用不添加或少量添加填充材料的密封材料，而这样的密封材料在100％伸长率时拉伸应力(100％Mo)方面尚有改进的空间。
[0010]本专利技术的一实施方式提供一种可形成100％伸长率时拉伸应力(100％Mo)高的密封材料的弹性体组合物。
[0011]解决技术问题所采用的技术方案
[0012]本专利技术人为了解决上述技术问题进行了深入研究，结果发现通过以下的构成例能够解决上述课题，从而完成了本专利技术。
[0013]本专利技术的构成例如下所述。
[0014][1]一种弹性体组合物，其包含全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(A)、含烯属不饱和键的化合物(B)、交联剂(C)及交联助剂(D)，
[0015]所述含烯属不饱和键的化合物(B)包含选自具有烯属不饱和键的全氟骨架的化合物、以及具有烯属不饱和键的硅氧烷骨架的化合物中的至少一种，
[0016]所述交联助剂(D)的含量相对于所述交联剂(C)的含量的质量比在5以上。
[0017][2]如[1]所述的弹性体组合物，其中，所述含氟弹性体(A)是可过氧化物交联的含氟弹性体。
[0018][3]如[1]或[2]所述的弹性体组合物，其中，相对于所述弹性体(A)的含量100质量份，所述含烯属不饱和键的化合物(B)的含量为0.5～50质量份。
[0019][4]如[1]～[3]中任一项所述的弹性体组合物，其中，相对于所述弹性体(A)的含
量100质量份，所述交联助剂(D)的含量为1～10质量份。
[0020][5]如[1]～[4]中任一项所述的弹性体组合物，其中，相对于所述含氟弹性体(A)100质量份，填充材料的含量在5质量份以下。
[0021][6]一种密封材料，其为[1]～[5]中任一项所述的弹性体组合物的放射线交联体。
[0022][7]密封材料的制造方法，其中，包含对[1]～[5]中任一项所述的弹性体组合物或该弹性体组合物的交联物照射放射线的工序。
[0023]专利技术效果
[0024]根据本专利技术的一实施方式，可形成100％Mo高的密封材料，特别是能够获得以良好的平衡性显现出优异的硬度、拉伸强度及100％Mo的密封材料。进一步，根据本专利技术的一个实施方式，可以获得耐等离子体性(耐自由基性)、耐龟裂性、压缩永久形变等优异的密封材料。因此，该密封材料适合用作为半导体制造装置用密封材料、等离子体处理装置用密封材料。
具体实施方式
[0025]《弹性体组合物》
[0026]本专利技术的一实施方式的弹性体组合物(以下，也称为“本组合物”)包含全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(A)、含烯属不饱和键的化合物(B)、交联剂(C)及交联助剂(D)，
[0027]所述含烯属不饱和键的化合物(B)包含选自具有烯属不饱和键的全氟骨架的化合物、以及具有烯属不饱和键的硅氧烷骨架的化合物中的至少一种，
[0028]所述交联助剂(D)的含量相对于所述交联剂(C)的含量的质量比在5以上。
[0029]〈弹性体(A)〉
[0030]弹性体(A)只要是全氟弹性体以外的含氟弹性体，则对其无特别限定，也称为未硫化氟橡胶，作为交联类型，可例举过氧化物交联、多元醇交联、胺交联、放射线交联型等。其中，从不需要使用在等离子体气氛等中成为粒子产生源的吸酸剂、并且所得的密封材料在使用过程中不存在粒子产生风险的方面来看，优选可过氧化物交联的含氟弹性体。
[0031]本组合物中所包含的弹性体(A)可以是1种，也可以是2种以上。
[0032]本专利技术中，“弹性体”和“橡胶”同义，不对它们作特别区分。
[0033]作为弹性体(A)的具体例，可例举含氟弹性体(FKM)、四氟乙烯
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丙烯系弹性体(FEPM)、氟系热塑性弹性体(例如，包含至少一种弹性体性聚合物链段和至少一种非弹性体性聚合物链段且其中至少一方是含氟聚合物链段的弹性体)。
[0034]作为弹性体(A)，优选可获得对各种半导体干式工艺中所使用的等离子体(等离子体蚀刻处理)呈现出耐性的密封材料的弹性体，更优选耐等离子体性较好、密封性能优异的FKM。此外，FKM在价廉且通用性方面也是优选的。
[0035]作为弹性体(A)，可以使用通过以往公知的方法合成的产品，也可以使用市售品。作为该市售品，可例举大金工业株式会社制造的“DAI
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EL”、科慕公司(
ケマーズ
社)制造的“Viton”、3M公司制造的“Dyneon”和苏威公司(
ソルベイ
社)制造的“Technoflon”等。
[0036]弹性体(A)的氟含量优选在55质量％以上，更优选在60质量％以上，进一步优选在63质量％以上，优选在73质量％以下，更优选在72质量％以下，进一步优选在71质量％以下。
[0037]通过使用氟含量在上述范围内的弹性体(A)，能够容易地获得100％Mo高、特别是以良好的平衡性显现出优异的硬度、拉伸强度及100％Mo的密封材料。
[0038]所述氟含量可以通过使用
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F
‑
NMR、1H
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NMR等的氟元素分析或质谱分析法(MS谱法)等进行测定、计算。
[0039]本专利技术中的氟含量是将小数点以后四舍五入而得的值。
[0040]作为弹性体(A)的一例，优选使用氟含量在69～73质量％范围内的弹性体(A1)和氟含量在55～68质量％范围内的弹性体(A2)。
[0041]如果弹性体(A1)和弹性体(A2)的氟含量在上述范围内，则构成这些弹性体的结构单元的种类可相同也可不同。
[0042]本组合物包含弹性体(A1)的情况下，本组合物所包含的弹性体(A1)可以是1种，也可以是2种以上。另外，本组合物包含弹性体(A2)的情况下，本组合物所包含的弹性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性体组合物，其包含全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(A)、含烯属不饱和键的化合物(B)、交联剂(C)及交联助剂(D)，所述含烯属不饱和键的化合物(B)包含选自具有烯属不饱和键的全氟骨架的化合物、以及具有烯属不饱和键的硅氧烷骨架的化合物中的至少一种，所述交联助剂(D)的含量相对于所述交联剂(C)的含量的质量比在5以上。2.如权利要求1所述的弹性体组合物，其中，所述含氟弹性体(A)是可过氧化物交联的含氟弹性体。3.如权利要求1或2所述的弹性体组合物，其中，相对于所述弹性体(A)的含量100质量份，所述含烯属不...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈崎雅则，大住直树，野口仁志，
申请(专利权)人：株式会社华尔卡，
类型：发明
国别省市：