密封材料及密封材料的制造方法技术

本发明专利技术的一实施方式涉及密封材料或密封材料的制造方法，该密封材料是包含全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(A)、交联剂及交联助剂的弹性体组合物的放射线交联体，其中，所述交联性含氟弹性体(A)包含氟含量在66～68质量％范围内的全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(A1)。性体(A1)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】密封材料及密封材料的制造方法


[0001]本专利技术的一实施方式涉及密封材料或密封材料的制造方法。

技术介绍

[0002]一直以来，密封材料被广泛用于各种用途，在这些用途中，作为对密封材料负荷最大的密封材料的用途的一例，可例举半导体制造装置等中使用的密封材料。
[0003]作为这样的密封材料，为了能够获得耐等离子体性或耐自由基性优异的密封材料，使用交联性含氟弹性体。
[0004]这种交联性含氟弹性体制成的密封材料通常使用在该交联性含氟弹性体中掺合交联剂、交联助剂等添加剂而得到的弹性体组合物，通过对该弹性体组合物进行成形、交联而用作为密封材料。特别是从所得的密封材料的耐龟裂性和密封性等角度考虑，在所述交联时实施包含照射放射线的工序的交联(例如，参考专利文献1)。
[0005]现有技术文件
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本专利特开2004
‑
131656号公报

技术实现思路

[0008]专利技术所要解决的技术问题
[0009]如上所述，在交联性含氟弹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种密封材料，其是包含全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(A)、交联剂及交联助剂的弹性体组合物的放射线交联体，其中，所述交联性含氟弹性体(A)包含氟含量在66～68质量％范围内的全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(A1)。2.如权利要求1所述的密封材料，其中，所述含氟弹性体(A)是可过氧化物交联的含氟弹性体。3.如权利要求1或2所述的密封材料，其中，所述弹性体组合物包含选自具有烯属不饱和键的全氟骨架的化合物、以及具有烯属不饱和键的硅氧烷...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈崎雅则，大住直树，
申请(专利权)人：株式会社华尔卡，
类型：发明
国别省市：