【技术实现步骤摘要】
一种用于彩色光刻胶的红色颜料的预处理设备及其方法
[0001]本专利技术涉及光刻胶生产设备
，具体涉及一种用于彩色光刻胶的红色颜料的预处理设备及其方法。
技术介绍
[0002]光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域，光刻胶是一种有机化合物，它被紫外光曝光后，在显影溶液中的溶解度会发生变化，硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面，而后被干燥成胶膜，光刻胶的生产过程是将感光材料、树脂、溶剂等主要原料，在恒温恒湿1000级的黄光区洁净房进行混合，在氮气气体保护下进行充分搅拌，使其充分混合形成均相液体，经过多次过滤，并通过中间过程控制和检验，使其达到工艺技术和质量要求，做产品的检验合格后在氮气的保护下包装、打标、入库。
[0003]现有技术存在以下不足：现有的用于彩色光刻胶的红色颜料的预处理搅拌操作时，一般需要在无菌实验室中使用，由于光刻胶在面对不同用途时，对其制作环境的要求非常高，通过对光刻...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于彩色光刻胶的红色颜料的预处理设备，包括搅拌器，所述搅拌器外壁固定安装升降台，其特征在于：所述升降台顶部固定安装保护气体循环组件，所述保护气体循环组件顶部包括用于对搅拌器顶部进行密封插接连接的顶盖板(240)，所述顶盖板(240)底部固定安装密封板(250)，所述密封板(250)与搅拌器内壁配合插接，所述顶盖板(240)顶部固定安装保护气体循环组件，所述保护气体循环组件用于对彩色光刻胶的红色颜料预处理过程中进行保护，所述顶盖板(240)顶部固定安装搅拌组件，所述搅拌组件用于对彩色光刻胶的红色颜料各组分进行打散混合。2.根据权利要求1所述的一种用于彩色光刻胶的红色颜料的预处理设备，其特征在于，所述搅拌器包括外筒(100)，所述外筒(100)内壁均匀固定安装红色补光灯(110)，所述外筒(100)内壁配合可拆卸固定安装内筒(120)，所述内筒(120)内壁均匀固定安装透光板(130)，所述透光板(130)位于红色补光灯(110)前方。3.根据权利要求2所述的一种用于彩色光刻胶的红色颜料的预处理设备，其特征在于，所述红色补光灯(110)光源透过透光板(130)照射到内筒(120)内部，所述内筒(120)底部设置为锥形，所述内筒(120)底部中心位置固定按出料管(140)，所述出料管(140)外壁固定安装阀门一(150)，所述阀门一(150)用于控制出料管(140)出料。4.根据权利要求1所述的一种用于彩色光刻胶的红色颜料的预处理设备，其特征在于，所述升降台包括支撑板(200)，所述支撑板(200)固定安装在外筒(100)外壁上，所述支撑板(200)顶部固定安装升降仓(210)，所述升降仓(210)内部固定安装气缸(220)，所述气缸(220)顶部固定安装滑座(230)，所述滑座(230)与升降仓(210)内壁滑动连接，所述滑座(230)顶部右端外壁固定连接顶盖板(240)。5.根据权利要求1所述的一种用于彩色光刻胶的红色颜料的预处理设备，其特征在于，保护气体循环组件包括氮气瓶(300)，所述氮气瓶(300)固定安装在顶盖板(240)的顶部，所述氮气瓶(300)顶部固定安装阀门二(301)，所述氮气瓶(300)顶部内壁固定连接进气管(310)。6.根据权利要求5所述的一种用于彩色光刻胶的红色颜料的预处理设备，其特征在于，所述进气管(310)外壁固定连接气泵一(311)，所述进气管(310)外壁固定安装加热管(312)，所述进气管(310)外壁依次固定安装温度传感器(313)、压力流量计(314)、湿度计(315)，所述进气管(310)穿过顶盖板(240)延伸至顶盖板(240)底部，所述进气管(310)底端固定连接喷头(320)。7.根据权利要求6所述的一种用于彩色光刻胶的红色颜料的预处理设备，其特征在于，所述氮气瓶(300)包括循环管(330)，所述循环管(330)固定连接在氮气瓶(300)顶部外壁上，所述循环管(330)外壁固定安装气泵二(331)...
【专利技术属性】
技术研发人员：饶圣红，唐健桦，刘涛，
申请(专利权)人：万思得新材料科技中山有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。