本实用新型专利技术属于石英基片切割技术领域，尤其为一种MEMS技术用石英基片的切割装置，包括工作台，工作台的内部开设有工作槽，工作槽的内壁设置有轨道，轨道的一侧设置有切割台，切割台的上表面设置有石英固定台，工作槽的上方设置有切割线，切割线的一侧设置有线切割机，切割线的上方设置有出液口，出液口的上方设置有工作液喷射装置，工作台的上方设置有塑料盖板，工作槽的下方设置有过滤箱，过滤箱的下方设置有废液箱，工作台的侧边设置有控制台，本实用新型专利技术通过设置切割台和线切割机，使得切割面更光滑，从而提高成品率，通过设置塑料盖板，过滤箱和废液箱，使得切割产生得碎屑被更好得收集起来，而不会散落到周围的环境中去。而不会散落到周围的环境中去。而不会散落到周围的环境中去。
【技术实现步骤摘要】
一种MEMS技术用石英基片的切割装置
[0001]本技术涉及石英基片切割
，具体为一种MEMS技术用石英基片的切割装置。
技术介绍
[0002]石英是主要造岩矿物之一，一般指低温石英，是石英族矿物中分布最广的一个矿物，广义的石英还包括高温石英和柯石英等，石英是一种物理性质和化学性质均十分稳定的矿产资源，晶体属三方晶系的氧化物矿物，石英块又名硅石，主要是生产石英砂的原料，也是石英耐火材料和烧制硅铁的原料，石英是由二氧化硅组成的矿物，纯净的石英无色透明，因含微量色素离子或细分散包裹体，或存在色心而呈各种颜色，并使透明度降低，具玻璃光泽，断口呈油脂光泽；微电子机械系统(MEMS)技术利用IC加工技术实现微纳米尺度加工，在加工精度、加工手段、EDA(计算机辅助设计)等方面具有先天优势，因此石英晶体技术与MEMS技术的结合成为必然的一种发展方向，而对于石英的使用和加工则需要切割装置对石英进行切割。
[0003]现有技术存在以下问题：
[0004]1、现有的石英基片切割装置的精度较低，切割面不够光滑，切片的成品率低，从而导致效率低下；
[0005]2、现有的石英基片切割装置对在切割石英基片过程中产生的碎屑等物质的处理效果较差，容易导致工人的工作环境变差。
技术实现思路
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种MEMS技术用石英基片的切割装置，解决了现今存在的切割精度不足和对切割产生的碎屑的处理能力不足的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种MEMS技术用石英基片的切割装置，包括工作台，其特征在于：所述工作台的内部开设有工作槽，所述工作槽的内壁设置有轨道，所述轨道的一侧设置有切割台，所述切割台的上表面设置有石英固定台，所述石英固定台的外侧设置有石英固定块，所述切割台的一侧设置有转动齿轮，所述工作槽的上方设置有切割线，所述切割线的一侧设置有线切割机，所述切割线的上方设置有出液口，所述出液口的上方设置有工作液喷射装置，所述工作液喷射装置的一端设置有工作液管，所述工作液管的一侧设置有工作液箱，所述工作台的上方设置有塑料盖板，所述塑料盖板的一侧设置有盖板活动块，所述工作槽的下方设置有过滤箱，所述过滤箱的下方设置有废液箱，所述工作台的侧边设置有控制台。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述轨道固定安装在工作槽的内壁上，且所述转动齿轮安装在轨道中。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述转动齿轮设置有两个，且所述转动齿轮安装在切割台的两侧。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述切割线由细金属丝钼丝制成。
[0011]作为本技术的一种优选技术方案，所述出液口设置有三个，且所述出液口固定安装在工作液喷射装置的下表面。
[0012]作为本技术的一种优选技术方案，所述塑料盖板通过盖板活动块和工作台活动连接。
[0013]作为本技术的一种优选技术方案，所述过滤箱和废液箱均设置有两组，且所述废液箱设置在过滤箱的底部。
[0014]与现有技术相比，本技术提供了一种MEMS技术用石英基片的切割装置，具备以下有益效果：
[0015]1、该一种MEMS技术用石英基片的切割装置，通过设置切割台和线切割机，使得石英基片通过由细金属丝钼丝制成的切割线进行切割，与传统的砂轮切割相比，线切割可以使得石英基片的切割面更加光滑，从而提高成品率，使得加工石英基片的效率更高。
[0016]2、该一种MEMS技术用石英基片的切割装置，通过设置塑料盖板，过滤箱和废液箱，使得线切割产生的碎屑随着工作液进入过滤箱中进行过滤处理，而过滤后的废液进入废液箱中被收集起来，塑料盖板使得碎屑和工作液不会散落到周围的工作环境中，起到一定的密封作用，使切割产生的碎屑和工作液都被约束到切割装置的工作台中的过滤槽中。
附图说明
[0017]图1为本技术整体外观结构示意图；
[0018]图2为本技术整体俯视平面结构示意图；
[0019]图3为本技术剖面结构示意图；
[0020]图4为本技术切割台结构示意图；
[0021]图中：1、工作台；2、工作槽；3、轨道；4、切割台；5、石英固定台；6、石英固定块；7、转动齿轮；8、切割线；9、线切割机；10、出液口；11、工作液喷射装置；12、工作液管；13、工作液箱；14、塑料盖板；15、盖板活动块；16、过滤箱；17、废液箱；18、控制台。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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4，本实施方案中：一种MEMS技术用石英基片的切割装置，包括工作台1，其特征在于：工作台1的内部开设有工作槽2，用于切割作业，工作槽2的内壁设置有轨道3，用于供切割台4在其中移动工作，轨道3的一侧设置有切割台4，切割台4的上表面设置有石英固定台5，石英固定台5的外侧设置有石英固定块6，用于固定需要切割的石英基片，切割台4的一侧设置有转动齿轮7，工作槽2的上方设置有切割线8，用于切割石英基片，切割线8的一侧设置有线切割机9，用于控制切割线8进行工作，切割线8的上方设置有出液口10，出液口10的上方设置有工作液喷射装置11，用于控制工作液均匀的喷射到切割线8上，和切割线8配合进行切割作业，工作液喷射装置11的一端设置有工作液管12，工作液管12的一侧设
置有工作液箱13，用于存储工作液，工作台1的上方设置有塑料盖板14，用于在切割作业时防止切割产生的碎屑和从出液口10中喷射出的工作液散落到切割装置以外的地方，塑料盖板14的一侧设置有盖板活动块15，工作槽2的下方设置有过滤箱16，用于过滤工作液中的石英碎屑，过滤箱16的下方设置有废液箱17，用于集中存储废液，工作台1的侧边设置有控制台18，用于控制该切割装置的工作。
[0024]本实施例中，轨道3固定安装在工作槽2的内壁上，且转动齿轮7安装在轨道3中，转动齿轮7设置有两个，且转动齿轮7安装在切割台4的两侧，使得切割台4可以通过转动齿轮7在轨道3中移动，从而带动其上固定的石英基片通过切割线8进行线切割，切割线8由细金属丝钼丝制成，钼丝的强度高，放电性能好，表面光洁度高，用于线切割时切割速度快，使用寿命长，出液口10设置有三个，且出液口10固定安装在工作液喷射装置11的下表面，塑料盖板14通过盖板活动块15和工作台1活动连接，过滤箱16和废液箱17均设置有两组，且废液箱17设置在过滤箱16的底部，用于收集切割作业产生的废液。
[0025]本技术的工作原理及使用流程：操作者通过盖板活动块15打开塑料盖板14，将需要切割的石英固定到石本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种MEMS技术用石英基片的切割装置，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）的内部开设有工作槽（2），所述工作槽（2）的内壁设置有轨道（3），所述轨道（3）的一侧设置有切割台（4），所述切割台（4）的上表面设置有石英固定台（5），所述石英固定台（5）的外侧设置有石英固定块（6），所述切割台（4）的一侧设置有转动齿轮（7），所述工作槽（2）的上方设置有切割线（8），所述切割线（8）的一侧设置有线切割机（9），所述切割线（8）的上方设置有出液口（10），所述出液口（10）的上方设置有工作液喷射装置（11），所述工作液喷射装置（11）的一端设置有工作液管（12），所述工作液管（12）的一侧设置有工作液箱（13），所述工作台（1）的上方设置有塑料盖板（14），所述塑料盖板（14）的一侧设置有盖板活动块（15），所述工作槽（2）的下方设置有过滤箱（16），所述过滤箱（16）的下方设置有废液箱（17），所述工作台（1）的侧边设置有控制台（18）。2.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵煜，李媛，
申请(专利权)人：天津云晶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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