半导体电子元件旋转电镀机构制造技术

技术编号:38048094 阅读:9 留言:0更新日期:2023-06-30 11:14
本实用新型专利技术属于电镀技术领域,尤其是半导体电子元件旋转电镀机构,包括底座,所述底座的顶部安装有阳极槽,所述阳极槽的上方设有旋转电机,旋转电机的输出端连接有导电转盘,导电转盘的底部设有产品治具,且产品治具位于阳极槽的上方,所述产品治具上放置有电镀产品。本实用新型专利技术改善原本直线式电镀生产流程排序允长,以提高产能,采用模块化设计,节省连续电镀生产线所需之空间,能提供电镀过程产品正确的相对位置,达到产品质量的均一性,提高产品良率。良率。良率。

【技术实现步骤摘要】
半导体电子元件旋转电镀机构


[0001]本技术涉及电镀
,尤其涉及半导体电子元件旋转电镀机构。

技术介绍

[0002]电镀,为一种被广泛使用的成熟工艺手段;而最常见的电镀方式为浸镀法,浸镀法主要是将待镀工件浸置于一装满电镀液的镀槽中,该镀槽中同时置放一镀覆金属材,透过使该镀覆金属材及待镀工件分别电性连接于正、负极,即可进行电镀。
[0003]目前,电镀制程使用时,针对半导体电子元件端面需电镀的产品设计,一般采用直线式电镀方法,直线式电镀生产流程排序允长,影响产能,不便于节省连续电镀生产线所需之空间,不便于提供电镀过程产品正确的相对位置,产品质量的均一性和产品良率不高。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的半导体电子元件旋转电镀机构。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]半导体电子元件旋转电镀机构,包括底座,所述底座的顶部安装有阳极槽,所述阳极槽的上方设有旋转电机,旋转电机的输出端连接有导电转盘,导电转盘的底部设有产品治具,且产品治具位于阳极槽的上方,所述产品治具上放置有电镀产品。
[0007]优选的,所述旋转电机的输出端安装有连接器,且连接器与导电转盘相连接。
[0008]优选的,所述底座的顶部中心位置安装有转动轴承,且产品治具和导电转盘均套接在转动轴承上。
[0009]优选的,所述阳极槽的一侧设有固定安装在底座上的螺纹立柱,螺纹立柱上套接有套筒,且套筒的一侧固定安装有连接架,所述旋转电机固定安装在连接架上。
[0010]优选的,所述螺纹立柱上套接有多个固定螺母,且多个固定螺母位于套筒的上下两侧。
[0011]本技术中,所述半导体电子元件旋转电镀机构,改善原本直线式电镀生产流程排序允长,以提高产能,采用模块化设计,节省连续电镀生产线所需之空间,能提供电镀过程产品正确的相对位置,达到产品质量的均一性,提高产品良率。
附图说明
[0012]图1为本技术提出的半导体电子元件旋转电镀机构的结构示意图;
[0013]图2为本技术提出的半导体电子元件旋转电镀机构的侧视结构示意图;
[0014]图3为本技术提出的半导体电子元件旋转电镀机构的俯视结构示意图。
[0015]图中:1底座、2阳极槽、3产品治具、4导电转盘、5连接器、6连接架、7旋转电机、8螺纹立柱、9套筒、10固定螺母。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0017]参照图1

3,半导体电子元件旋转电镀机构,包括底座1,底座1的顶部安装有阳极槽2,提供电镀所需之阳极及电镀药液之供给,阳极槽2的上方设有旋转电机7,旋转电机7的输出端连接有导电转盘4,用以固定产品治具并带动其旋转及提供电镀阴极导电,导电转盘4的底部设有产品治具3,且产品治具3位于阳极槽2的上方,产品治具3上放置有电镀产品。
[0018]本技术中,旋转电机7的输出端安装有连接器5,且连接器5与导电转盘4相连接。
[0019]本技术中,底座1的顶部中心位置安装有转动轴承,且产品治具3和导电转盘4均套接在转动轴承上。
[0020]本技术中,阳极槽2的一侧设有固定安装在底座1上的螺纹立柱8,螺纹立柱8上套接有套筒9,且套筒9的一侧固定安装有连接架6,旋转电机7固定安装在连接架6上。
[0021]本技术中,螺纹立柱8上套接有多个固定螺母10,且多个固定螺母10位于套筒9的上下两侧。
[0022]本技术中,将所需电镀产品先放入产品治具,然后将产品治具固定于导电转盘上,固定好成为产品电镀模块,在将其放置于阳极槽,接着将旋转电机套上即完成生产准备,开启电镀制程:电镀药液经由电镀模块输出,产品经旋转电机带动旋转,达到产品电镀的需求。
[0023]以上所述,仅为本技术较佳的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内,根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.半导体电子元件旋转电镀机构,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的顶部安装有阳极槽(2),所述阳极槽(2)的上方设有旋转电机(7),旋转电机(7)的输出端连接有导电转盘(4),导电转盘(4)的底部设有产品治具(3),且产品治具(3)位于阳极槽(2)的上方,所述产品治具(3)上放置有电镀产品。2.根据权利要求1所述的半导体电子元件旋转电镀机构,其特征在于,所述旋转电机(7)的输出端安装有连接器(5),且连接器(5)与导电转盘(4)相连接。3.根据权利要求1所述的半导体电子元件旋转电镀机构,其特征在于,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:余剑周海虎
申请(专利权)人:深圳市金品表面处理科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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