多级伸缩货叉及机械手制造技术

本发明专利技术提供了一种多级伸缩货叉及机械手，多级伸缩货叉包括转台机构以及多级伸缩机构，转台机构包括支撑座、第一转动驱动装置和旋转轴，第一转动驱动装置设置于支撑座上，第一转动驱动装置与旋转轴通过涡轮蜗杆机构动力耦合连接；多级伸缩机构呈能够水平伸缩设置，多级伸缩机构的始端与旋转轴的上端连接，多级伸缩机构的末端设置有朝上的托板，托板用于承载料盒。本发明专利技术提供的多级伸缩货叉，占用的空间小，具有伸缩和旋转两个自由度，可以搬运多个方向的料盒，旋转上为了尽可能减少高度上的空间占用，增加升降极限可达性，采用了涡轮蜗杆机构进行传动，同时具有自锁作用，防止伸出后转台机构转动，使得机构整体结构更为紧凑。使得机构整体结构更为紧凑。使得机构整体结构更为紧凑。

【技术实现步骤摘要】
多级伸缩货叉及机械手


[0001]本专利技术实施例涉及自动化设备
，特别涉及一种多级伸缩货叉及机械手。

技术介绍

[0002]在半导体料盒FOUP(Front Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)存储时需要用到自动化立体仓库，立体仓库的堆垛机上需要进行料盒的搬运取放，故设计需要晶元搬运机械手，来实现晶元的两侧搬运功能。而现有的晶元搬运机械手通常采用普通的单级滑台伸缩货叉，普通的单级滑台伸缩货叉占用的空间较大，无法紧凑的利用空间，影响Z轴的行程，在取放过程中没有定位和检测，造成料盒的跌落风险，同时普通的DD(direct driver)马达旋转轴或者皮带旋转轴无法自锁，使伸出后料盒摆动。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施方式的目的在于提供一种多级伸缩货叉及机械手，旨在解决现有的晶元搬运机械手占用的空间较大，且无法自锁会使伸出后料盒摆动的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术的实施方式提供了一种多级伸缩货叉，包括：
[0005]转台机构，所述转台机构包括支撑座、第一转动驱动装置和旋转轴，所述第一转动驱动装置设置于所述支撑座上，所述第一转动驱动装置与所述旋转轴通过涡轮蜗杆机构动力耦合连接，以驱动所述旋转轴沿着上下向的轴线转动；以及，
[0006]多级伸缩机构，所述多级伸缩机构呈能够水平伸缩设置，所述多级伸缩机构的始端与所述旋转轴的上端连接，以通过所述旋转轴带动所述多级伸缩机构转动，所述多级伸缩机构的末端设置有朝上的托板，所述托板用于承载料盒。
[0007]本专利技术提供的多级伸缩货叉，占用的空间小，具有伸缩和旋转两个自由度，可以搬运多个方向的料盒，旋转上为了尽可能减少高度上的空间占用，增加升降极限可达性，采用了涡轮蜗杆机构进行传动，同时具有自锁作用，防止伸出后转台机构转动，使得机构整体结构更为紧凑。
[0008]优选地，在所述多级伸缩货叉中，所述第一转动驱动装置呈沿着水平向布置，所述第一转动驱动装置位于所述旋转轴在水平向的一侧。
[0009]优选地，在所述多级伸缩货叉中，所述第一转动驱动装置为电机。
[0010]优选地，在所述多级伸缩货叉中，所述多级伸缩机构包括：
[0011]第一层旋转台，所述第一层旋转台的下端与所述旋转轴的上端连接，所述第一层旋转台的上端设置有沿着所述多级伸缩机构的伸缩方向布置的第一带轮机构；
[0012]第二转动驱动装置，所述第二转动驱动装置设置于所述第一层旋转台上，所述第二转动驱动装置与所述第一带轮机构动力耦合连接，以通过所述第二转动驱动装置驱动所述第一带轮机构；以及，
[0013]第二层滑台，所述第二层滑台的下端能够沿着所述伸缩方向滑动地设置于所述第一层旋转台的上端，所述第二层滑台与所述第一带轮机构中的皮带连接，以通过所述第一
带轮机构带动所述第二层滑台滑动。
[0014]优选地，在所述多级伸缩货叉中，所述第一带轮机构位于所述第二层滑台在水平向的一侧。
[0015]优选地，在所述多级伸缩货叉中，所述第二转动驱动装置为朝上设置的电机。
[0016]优选地，在所述多级伸缩货叉中，所述第一层旋转台与所述第二层滑台之间设置有沿着所述伸缩方向布置的第一导轨机构。
[0017]优选地，在所述多级伸缩货叉中，所述多级伸缩机构还包括：
[0018]第二带轮机构，所述第二带轮机构设置于所述第二层滑台上，所述第二带轮机构呈沿着所述伸缩方向布置，所述第二带轮机构中的皮带与所述第一层旋转台连接；以及，
[0019]第三层滑台，所述第三层滑台的下端能够沿着所述伸缩方向滑动地设置于所述第二层滑台的上端，所述第三层滑台与所述第二带轮机构中的皮带，以通过所述第二带轮机构带动所述第三层滑台滑动，所述第三层滑台的上端设置有所述托板。
[0020]优选地，在所述多级伸缩货叉中，所述第二层滑台与所述第三层滑台之间设置有沿着所述伸缩方向布置的第二导轨机构。
[0021]优选地，在所述多级伸缩货叉中，所述第二层滑台呈框状设置，所述第二带轮机构设置于所述第二层滑台的内侧。
[0022]优选地，在所述多级伸缩货叉中，所述托板的上板面上凸设有定位销。
[0023]优选地，在所述多级伸缩货叉中，所述托板的上板面上设置有用于感应料盒的传感器。
[0024]优选地，在所述多级伸缩货叉中，所述托板的上板面上设置有安装槽，所述传感器设置于所述安装槽中。
[0025]优选地，在所述多级伸缩货叉中，所述定位销与所述传感器均设置有多个，多个所述传感器分别靠近多个所述定位销设置。
[0026]为了实现上述目的，本专利技术还提供一种机械手，包括上述的多级伸缩货叉。
附图说明
[0027]一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
[0028]图1为本专利技术实施例中的多级伸缩货叉的结构示意图；
[0029]图2为图1中多级伸缩货叉于另一视角的结构示意图；
[0030]图3为图2中转台机构处的结构示意图；
[0031]图4为图2中多级伸缩机构处的结构示意图；
[0032]图5为图4中第一层旋转台处的结构示意图；
[0033]图6为图4中第二层滑台处的结构示意图；
[0034]图7为图4中托板处的结构示意图。
[0035]本专利技术附图标号说明：
[0036]标号名称标号名称1000多级伸缩货叉240第二层滑台
100转台机构250第一导轨机构110支撑座260第二带轮机构120第一转动驱动装置270第三层滑台130旋转轴280第二导轨机构140涡轮蜗杆机构300托板200多级伸缩机构310定位销210第一层旋转台320传感器220第一带轮机构330安装槽230第二转动驱动装置
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[0037]本专利技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0038]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0039]需要说明，若本专利技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0040]另外，若本专利技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多级伸缩货叉，其特征在于，包括：转台机构，所述转台机构包括支撑座、第一转动驱动装置和旋转轴，所述第一转动驱动装置设置于所述支撑座上，所述第一转动驱动装置与所述旋转轴通过涡轮蜗杆机构动力耦合连接，以驱动所述旋转轴沿着上下向的轴线转动；以及，多级伸缩机构，所述多级伸缩机构呈能够水平伸缩设置，所述多级伸缩机构的始端与所述旋转轴的上端连接，以通过所述旋转轴带动所述多级伸缩机构转动，所述多级伸缩机构的末端设置有朝上的托板，所述托板用于承载料盒。2.如权利要求1所述的多级伸缩货叉，其特征在于，所述第一转动驱动装置呈沿着水平向布置，所述第一转动驱动装置位于所述旋转轴在水平向的一侧；和/或，所述第一转动驱动装置为电机。3.如权利要求1或2所述的多级伸缩货叉，其特征在于，所述多级伸缩机构包括：第一层旋转台，所述第一层旋转台的下端与所述旋转轴的上端连接，所述第一层旋转台的上端设置有沿着所述多级伸缩机构的伸缩方向布置的第一带轮机构；第二转动驱动装置，所述第二转动驱动装置设置于所述第一层旋转台上，所述第二转动驱动装置与所述第一带轮机构动力耦合连接，以通过所述第二转动驱动装置驱动所述第一带轮机构；以及，第二层滑台，所述第二层滑台的下端能够沿着所述伸缩方向滑动地设置于所述第一层旋转台的上端，所述第二层滑台与所述第一带轮机构中的皮带连接，以通过所述第一带轮机构带动所述第二层滑台滑动。4.如权利要求3所述的多级伸缩货叉，其特征在于，所述第一带轮机构位于所述第二层滑台在水平向的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁林航，郑忠斌，李韩军，冯源，方剑锋，
申请(专利权)人：工业互联网创新中心上海有限公司，
类型：发明
国别省市：