一种基于稀土金属氧化物Nd2O3的低功耗高性能紫外探测器及其制备方法技术

一种基于稀土金属氧化物Nd2O3的低功耗高性能紫外探测器及其制备方法，属于紫外光电探测技术领域。依次由部分FTO层被刻蚀的带有FTO导电薄膜的玻璃衬底、在衬底表面制备的Ag底电极、采用溶胶

【技术实现步骤摘要】
一种基于稀土金属氧化物Nd2O3的低功耗高性能紫外探测器及其制备方法


[0001]本专利技术属于紫外光电探测
，具体涉及一种基于稀土金属氧化物Nd2O3的低功耗高性能紫外探测器及其制备方法。

技术介绍

[0002]高灵敏度紫外光电探测器在细胞检测、远程控制、环境监测和光电集成电路等领域具有重要应用。随着半导体材料与器件制备工艺的不断进步，新一代宽禁带半导体紫外探测器克服了传统的光电倍增管器件结构复杂、体积大、耗能高等缺点，目前已成为紫外探测
的关注热点。同时，宽禁带材料自身所具备的可见盲性，有效弥补了硅基器件无法实现自身屏蔽可见光的劣势，而且宽禁带材料种类众多，尤其包括多种氧化物材料如ZnO、TiO2、Ga2O3、Nd2O3等，这些材料性质稳定，制备方法多样且成本低，具有重要的应用价值。
[0003]随着科技的不断发展和能源问题的产生，如何更有效地利用资源成为各应用领域广泛关注的问题。因此在提高紫外探测器响应度和探测灵敏度等基本性能参数的同时，各应用领域逐渐把目光聚焦在降低器件能耗上，比如让器件在待机时处于低功耗状态。高性能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于稀土金属氧化物Nd2O3的低功耗高性能紫外探测器的制备方法，其步骤如下：(1)清洗衬底将带有FTO导电薄膜的玻璃衬底沿一侧边刻蚀掉一定宽度的FTO层，露出其下面的玻璃衬底；然后将刻蚀后的带有FTO导电薄膜的玻璃衬底依次置于丙酮、乙醇和去离子水中进行超声清洗10～20分钟，氮气吹干后置于紫外臭氧环境中处理10～20分钟，得到清洁的带有FTO导电薄膜的玻璃衬底；(2)制备Nd2O3纳米薄膜首先制备Nd2O3溶胶：将0.01～0.08克Nd2O3加入到3～8毫升乙二醇甲醚中，超声1～3小时，静置20～30小时后抽取上清液，过滤后得到Nd2O3前驱体溶液；在FTO被刻蚀区域的对边表面用胶带覆盖一定宽度的带有FTO导电薄膜的玻璃衬底，用旋涂的方法在带有FTO导电薄膜的玻璃衬底和胶带表面旋涂Nd2O3前驱体溶液并形成薄膜，然后于100～150℃条件下烘干10～15分钟；衬底冷却至室温后重复上述“旋涂－烘干”步骤1～5次；最后揭去胶带，再在500～600℃条件下烧结1～3小时，从而在带有FTO导电薄膜的玻璃衬底上得到Nd2O3纳米薄膜光敏感层...

【专利技术属性】
技术研发人员：周敬然，房路磊，阮圣平，刘彩霞，董玮，张歆东，沈亮，温善鹏，郭文滨，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：