一种薄膜型光电探测器及其制备方法与心率传感器技术

本发明专利技术公开一种薄膜型光电探测器及其制备方法与心率传感器，其中，包括依次层叠设置的基底、第一电极层、光电转换层、缓冲层、窗口层及第二电极层，所述光电转换层为铜锌锡硫基薄膜。本发明专利技术提供的光电探测器能够实现无外加偏压自驱动工作，探测度高达10

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜型光电探测器及其制备方法与心率传感器


[0001]本专利技术涉及光电探测
，尤其涉及一种薄膜型光电探测器及其制备方法与心率传感器。

技术介绍

[0002]对生物信息(如心率、血压、动脉血氧饱和度等)的准确、实时和无创监测对于可穿戴医疗设备具有重要意义，不健康或亚健康患者穿戴移动医疗设备可以及时收到身体信号异常警报并迅速采取行动。生物信息采集的关键部件是具有高灵敏度和低功耗的光电检测组件，光电检测组件通常由光电探测器和发光二极管(LED)组成。发光二极管产生的光通过生物组织传输或被生物组织反射，携带相关生物信息，光电探测器检测产生的光信号并生成相关的电信号，集成电路收集光电探测器生成的相关电信号，最终由相应的软件程序对信号进行处理。收集的信号经过处理后可以提供各种重要的生物信息，例如心率、血压、动脉血氧饱和度等。
[0003]目前可穿戴医疗设备采用的光电探测器的灵敏度较低、探测度较低、光谱响应范围较窄，在弱光下无法工作，因此，需使用多个光电探测器(光电二极管)并且配备两个及以上的强发射发光二极管光源。因此，这些可穿戴医疗设备本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜型光电探测器，其特征在于，包括依次层叠设置的基底、第一电极层、光电转换层、缓冲层、窗口层及第二电极层，所述光电转换层为铜锌锡硫基薄膜。2.根据权利要求1所述的薄膜型光电探测器，其特征在于，所述光电转换层为银离子或钛离子掺杂的铜锌锡硫基薄膜。3.根据权利要求2所述的薄膜型光电探测器，其特征在于，所述银离子或钛离子与所述铜锌锡硫基薄膜中铜离子的摩尔比为(0.02
‑
0.07):1。4.根据权利要求2所述的薄膜型光电探测器，其特征在于，所述铜锌锡硫基薄膜包括铜锌锡硫薄膜、铜锌锡硫硒薄膜中的至少一种。5.根据权利要求1所述的薄膜型光电探测器，其特征在于，所述缓冲层包括CdS缓冲层、锌锡氧缓冲层中的一种。6.根据权利要求1所述的薄膜型光电探测器，其特征在于，所述窗口层的材料包括氧化铟锡、铝掺杂氧化锌中的一种。7.根据权利要求1所述的薄膜型光电探测器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁广兴，李传昊，陈烁，付毅，
申请(专利权)人：深圳大学，
类型：发明
国别省市：