一种多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备技术方案

本实用新型专利技术涉及一种多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备，属于化学气相沉积技术领域。该多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备，包括蒸发仓、裂解仓和沉降仓，所述蒸发仓与裂解仓相对应，所述裂解仓设置在蒸发仓和沉降仓之间，所述沉降仓对应多个蒸发仓和裂解仓。该多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备，弥补现有派瑞林镀膜设备只能应用于小尺寸素材，单批装料少，成本高，镀膜速度慢，均匀性差，镀膜效率低的弊病。通过集成多套独立蒸发和裂解装置于一台镀膜机中，沉积仓体积可以数倍于现有常规尺寸镀膜机的沉积仓，膜层质量和膜层性能不变，解决了派瑞林气相沉积镀膜在大尺寸素材上的应用，扩大了派瑞林镀膜的应用范围。扩大了派瑞林镀膜的应用范围。扩大了派瑞林镀膜的应用范围。

【技术实现步骤摘要】
一种多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备


[0001]本技术涉及一种多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备，属于化学气相沉积


技术介绍

[0002]化学气相沉积是近30年迅速发展起来的材料表面改性技术，它是利用气相之间的反应，在各种材料和制品表面沉积一层薄膜，赋予材料表面一些特殊的性能。如派瑞林膜就是用对二甲苯环二体或者其衍生物为原料，通过气相沉积过程来实现的。气相沉积的过程要通过一定的设备实现。通常气相沉积设备由5部分组成：蒸发仓、裂解仓、沉积仓、冷阱捕集和真空系统。
[0003]现有的气相沉积设备，存在如下缺陷，如沉积速度慢，蒸发过快会影响膜层质量，沉积空间不易过大，会影响膜层的均匀性等等，所有这些现有的设备和技术限制了气相沉积镀膜在大尺寸素材上的应用。

技术实现思路

[0004]为了克服
技术介绍
中存在的缺陷，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备，包括蒸发仓、裂解仓和沉降仓，所述蒸发仓与裂解仓相对应，所述裂解仓设置在蒸发仓和沉降仓之间，所述沉降仓对应多个蒸发仓和裂解仓。
[0005]优选的所述蒸发仓为管状材料，直径10
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80毫米，长度100
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500毫米，所述蒸发仓由铜、不锈钢、石英或合金材料制备而成。
[0006]优选的所述裂解仓为管状材料，直径10
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80毫米，长度1000
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2000毫米，所述裂解仓由不锈钢、石英或合金材料制备而成。
[0007]优选的所述所述蒸发仓与裂解仓均有独立的加热系统和温控系统。
[0008]优选的所述沉降仓对应2
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7个蒸发仓和裂解仓。
[0009]优选的所述多个裂解仓在沉降仓内的出口共用一块挡板。
[0010]优选的所述多个裂解仓在沉降仓内的出口各自设有独立的挡板。
[0011]本技术设计了一种多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备，弥补现有派瑞林镀膜设备只能应用于小尺寸素材，单批装料少，成本高，镀膜速度慢，均匀性差，镀膜效率低的弊病。通过集成多套独立蒸发和裂解装置于一台镀膜机中，沉积仓体积可以数倍于现有常规尺寸镀膜机的沉积仓，膜层质量和膜层性能不变，解决了派瑞林气相沉积镀膜在大尺寸素材上的应用，扩大了派瑞林镀膜的应用范围。
附图说明
[0012]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0013]图1是本技术一种多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备的结构示意图；
[0014]其中:1、蒸发仓；2、裂解仓；3、沉降仓。
具体实施方式
[0015]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。
[0016]具体实施例一，请参阅图1，一种多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备，包括蒸发仓1、裂解仓2和沉降仓3，所述蒸发仓1与裂解仓2相对应，所述裂解仓2设置在蒸发仓1和沉降仓3之间，所述沉降仓3对应多个蒸发仓1和裂解仓2，所述蒸发仓1为管状材料，直径10
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80毫米，长度100
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500毫米，所述蒸发仓1由铜、不锈钢、石英或合金材料制备而成，所述裂解仓2为管状材料，直径10
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80毫米，长度1000
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2000毫米，所述裂解仓2由不锈钢、石英或合金材料制备而成，所述所述蒸发仓1与裂解仓2均有独立的加热系统和温控系统，所述沉降仓3对应2
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7个蒸发仓1和裂解仓2，所述多个裂解仓2在沉降仓内的出口共用一块挡板，所述多个裂解仓2在沉降仓内的出口各自设有独立的挡板。
[0017]本技术设计了一种多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备，弥补现有派瑞林镀膜设备只能应用于小尺寸素材，单批装料少，成本高，镀膜速度慢，均匀性差，镀膜效率低的弊病。通过集成多套独立蒸发和裂解装置于一台镀膜机中，沉积仓体积可以数倍于现有常规尺寸镀膜机的沉积仓，膜层质量和膜层性能不变，解决了派瑞林气相沉积镀膜在大尺寸素材上的应用，扩大了派瑞林镀膜的应用范围。
[0018]显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本技术创造的保护范围之中。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备，包括蒸发仓（1）、裂解仓（2）和沉降仓（3），其特征在于：所述蒸发仓（1）与裂解仓（2）相对应，所述裂解仓（2）设置在蒸发仓（1）和沉降仓（3）之间，所述沉降仓（3）对应多个蒸发仓（1）和裂解仓（2）。2.根据权利要求1所述一种多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备，其特征在于：所述蒸发仓（1）为管状材料，直径10
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80毫米，长度100
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500毫米，所述蒸发仓（1）由铜、不锈钢、石英或合金材料制备而成。3.根据权利要求1所述一种多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备，其特征在于：所述裂解仓（2）为管状材料，直径10
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80毫米，长度1...

【专利技术属性】
技术研发人员：钦瑞良，
申请(专利权)人：苏州凯瑞纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：