一种微通道刻蚀方法、装置以及一种分层微通道结构制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微通道刻蚀方法、装置以及一种分层微通道结构，利用激光诱导液相刻蚀技术，使得一部分能量积蓄在液体中并引发各种效应，提高能量的利用率，同时，通过第一透明玻璃片以及待工透明玻璃片之间的吸收液液膜，根据预设的激光加工参数组以及预设的分层扫描路径，对待加工透明玻璃片表面进行分层扫描以刻蚀出具有不同深度的分层微通道，从而形成两种不同的水分输送方式并在运输液体工程中自动形成液体薄膜，该刻蚀方法、装置以及一种分层微通道结构提升了制备效率并提升液体运输效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种微通道刻蚀方法、装置以及一种分层微通道结构


[0001]本专利技术涉及微流体通道制备
，尤其涉及一种微通道刻蚀方法、装置以及一种分层微通道结构。

技术介绍

[0002]玻璃由于其透光性、耐腐蚀性、化学稳定性、绝缘性以及耐高温和热冲击性，在微纳米制造、微电子芯片、生物芯片、生物通道、微流体和光电子器件等应用中是非常重要的材料。微流体技术可应用于从生物学，化学到信息技术和光学等各个领域。在透明材料上制备高效的微通道刚好可以满足微流体技术发展的要求，其应用涉及到化学、生物、医学和检测分析等领域。例如：用于毛细管电泳，免疫测定，质谱中的样品注射，PCR扩增；血液中纳米粒子的运输以及化学反应动力学的观察；用于测量分子扩散系数，流体粘度，pH和化学结合系数；在生物制药生产中具有许多分析用途。
[0003]在现有技术中，传统的微流道通过光刻和飞秒激光直接烧蚀制备。
[0004]但是，现有技术仍存在如下缺陷：这些技术要求的设备精密且价格昂贵，制造的时间成本和经济成本都偏高；其中光刻技术的步骤繁多，且光刻技术中使用的显影液和光刻胶对环境本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微通道刻蚀方法，其特征在于，所述刻蚀方法包括：将第一透明玻璃片完全浸入吸收液，并将待加工透明玻璃片覆盖在所述吸收液上方，以使得所述第一透明玻璃片和所述待加工透明玻璃片之间夹着一层吸收液液膜；根据预设的激光加工参数组以及预设的分层扫描路径，通过激光对所述吸收液液膜进行选择性分层扫描，在所述待加工透明玻璃片的表面刻蚀出第一微通道以及第二微通道；所述第一微通道具有第一深度，所述第二微通道具有第二深度，且所述第一深度不等于所述第二深度。2.根据权利要求1所述的微通道刻蚀方法，其特征在于，所述第一深度大于所述第二深度。3.根据权利要求2所述的微通道刻蚀方法，其特征在于，根据预设的激光加工参数组以及预设的分层扫描路径，通过激光对所述吸收液液膜进行选择性分层扫描，在所述待加工透明玻璃片的表面刻蚀出第一微通道以及第二微通道，具体包括：以预设的第一间距、预设的第一扫描速度、第一平均功率、第一频率以及第一重复扫描次数，将第一束激光聚焦在所述待加工透明玻璃片与所述吸收液液膜之间的固液接触面上，对所述待加工透明玻璃片进行扫描，在所述待加工透明玻璃片的表面形成第一微通道；以预设的第二间距、预设的第二扫描速度、第二平均功率、第二频率以及第二重复扫描次数，将第二束激光聚焦在所述待加工透明玻璃片与所述吸收液液膜之间的固液接触面上，对所述待加工透明玻璃片进行扫描，在所述待加工透明玻璃片的表面、所述第一微通道两两相邻之间形成第二微通道。4.根据权利要求1所述的微通道刻蚀方法，其特征在于，所述第一透明玻璃片和所述待加工透明玻璃片是成分为硅酸盐复盐的玻璃片或石英玻璃片。5.根据权利要求1所述的微通道刻蚀方法，其特征在于，所述吸收液是CuSO4溶液。6.根据权利要求1所述的微通道刻蚀方法，其特征在于，所述吸收液的CuSO4浓度为15％
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20％。7.一种微通道刻蚀装置，其特征在于，所述刻蚀装置包括玻璃片安置单元以及激光刻蚀单元，其中，所述玻璃片...

【专利技术属性】
技术研发人员：董重里，聂铭，罗啸宇，岳楹超，吕旺燕，汪林立，黄丰，谢文平，李顺华，刘小璐，
申请(专利权)人：广东电网有限责任公司电力科学研究院，
类型：发明
国别省市：