提出了一种用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置，包括：接收单元，其用于接收表示从沿着所述半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号；泄漏确定单元，其用于基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏；以及警报单元，其用于响应于确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏，发出警报。能够在气体泄漏检测中避免检测人员的不适感和主观性，并且能够实现对微小泄漏的检测。测。测。
【技术实现步骤摘要】
用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置、方法和计算机可读介质
[0001]本专利技术涉及气体泄漏检测，更具体地，涉及对半导体设备中的气路的气体泄漏检测。
技术介绍
[0002]诸如模机、焊线机、切割机等的半导体设备中有大量采用气缸作为动力源的气动机构，因此在这些半导体设备中存在大量的气路连接装置，例如气泵、气阀。在维护或维修这些半导体设备时需要检测气路中的漏点。由于在对这些半导体设备时进行检测时需要这些半导体设备的气缸保持在运行状态，气动机构会对检测人员造成潜在危险。因此，在检测时，需要用透明罩挡住半导体设备。
[0003]通常，检测人员在检测泄漏的过程中需要隔着透明罩俯身聆听漏气声音，检测人员若长时间保持这种姿势会造成疲劳和损伤。此外，人耳判断会被透明罩妨碍，并且人耳的灵敏度不同使得人耳判断具有主观性，因此难以保证检测的准确性。或者，可以将缠绕有飘带的直杆伸入到透明罩中检测泄漏。在这种方式中，直杆可能难以将飘带递送到每个待检测位置，并且一些微小的泄漏可能难以造成飘带扰动从而难以被检测到。
[0004]因此，针对半导体设备，仍然期望提供改进的气体泄漏检测。
技术实现思路
[0005]本专利技术提供了改进的用于半导体设备的气体泄漏检测，其能够在泄漏检测中避免检测人员的不适感和主观性，并且能够实现对微小泄漏的检测。
[0006]根据本专利技术的一个方面，提出了一种用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置，包括：接收单元，其用于接收表示从沿着所述半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号；泄漏确定单元，其用于基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏；以及警报单元，其用于响应于确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏，发出警报。
[0007]根据本专利技术的另一方面，提出了一种用于检测半导体设备中的气体泄漏的方法，包括：接收表示从沿着所述半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号；基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏；以及响应于确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏，发出警报。
[0008]根据本专利技术的又一方面，提出了一种存储有指令的计算机可读介质，所述指令当由处理器运行时令所述处理器执行根据本专利技术的任意实施例的方法。
[0009]对于半导体设备中的气路而言，在存在泄漏和在不存在泄漏时，气路附近的声音是不同的。当前的声学传感器能够在大的频率上以高灵敏度采集声音，使得表示所采集声音的信号能够体现出微小的声音差异。因此，通过分析表示所采集声音的信号，能够识别出信号中的微小差异，从而能够检测到通常无法检测到的微小泄漏。在此过程中，信号分析可
以由诸如计算机的计算设备自动完成，而无需借助检测人员的人耳判断，从而方便了检测人员的操作并避免了人耳检测的主观误差。
[0010]本领域技术人员在阅读和理解以下详细描述之后将认识到本专利技术的其他优点。
附图说明
[0011]图1示出了根据本专利技术的一个实施例的用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置100的框图；
[0012]图2示出了根据本专利技术的一个实施例的所显示的信号图200；并且
[0013]图3示出了根据本专利技术的一个实施例的用于检测半导体设备中的气体泄漏的方法300的流程图。
具体实施方式
[0014]图1示出了根据本专利技术的一个实施例的用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置100的框图。
[0015]装置100包括接收单元110，其用于接收表示从沿着半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号。
[0016]诸如麦克风的声学传感器10能够用于在沿着气路的第一位置处采集声音。例如，声学传感器10可以是微机电系统(MEMS)麦克风，其具有微型化、性能稳定等优点。这样的优点可以便于将麦克风递送到沿着气路的不同位置以准确地采集到相应位置处的声音。麦克风例如可以通过模数转换器(A/D)生成表示所采集声音的数字信号作为第一信号。
[0017]在生成第一信号后，诸如计算机的计算设备可以将该数字信号接收在其存储器或缓存中。计算机中的应用程序可以接收该数字信号以便于后续分析。因此，接收单元110可以表示诸如计算机的设备内的硬件接收部件，也可以表示应用程序中的用于接收信号的软件模块。
[0018]在一个实施例中，装置100不包括声音传感器10，并且声音传感器10可以是能够通过其他途径获得的任何声音传感器，例如，声音传感器10可以是作为计算机的外接设备的麦克风。
[0019]在另一个实施例中，声音传感器10可以被包括在装置100中作为装置100的一部分。
[0020]采集声音的第一位置可以是气路中的连接装置附近的位置，例如，第一位置可以是沿着气路的在气泵、气阀附近的位置。这些连接装置通常是泄漏最频繁发生的部件。例如，由于气泵或气阀未被拧紧，可能导致气体泄漏。因此，需要在气泵、气阀等连接装置附近的位置处采集声音以在泄漏检测中使用。
[0021]或者，第一位置可以是沿着气路管道的其他位置。管道壁的损坏也是导致气体泄漏的潜在原因之一。因此，可能也需要在管道壁附近的位置采集声音以在泄漏检测中使用。
[0022]在半导体设备的实际维护或检修中，需要在多个位置处进行泄漏检测，例如，需要针对每个连接装置和每个管道壁依次进行检测。因此，需要分别在不同位置处采集声音。声音传感器10可以被附接到杆20上，以方便将声音传感器10递送到不同位置处，从而针对不同位置依次进行采集声音。例如，可以由检测人员手持杆20，并且检测人员能够手动地将声
音传感器10递送到不同位置。或者杆20可以被机器人臂夹持，通过机器人臂的受控移动，能够以自动化方式实现针对多个位置的声音采集。
[0023]优选地，杆20是可弯曲杆，使得杆20可以在笔直状态和具有各种弯曲形状的弯曲状态之间进行变化。
[0024]例如，可以采用诸如铝的软质金属制作可弯曲杆20。这些软质金属可以实现杆的可弯曲定型，从而使检测人员能够轻松地将可弯曲杆20调试到各种所需的形状。这在需要将声音传感器10通过杆20伸入到透明罩内的情况下是有利的。灵活的形状能够方便声音传感器10被递送到透明罩内的各个位置处。
[0025]或者，可以通过多个关节形成可弯曲杆20。例如，可以通过铰链关节实现可弯曲杆20的弯曲变形。还可以通过球形关节实现可弯曲杆20的在三个自由度上的变形，从而能够以更高的灵活度将声音传感器10递送到各个位置处。
[0026]在一个实施例中，装置100不包括杆20。检测人员可以用任何能够固定声音传感器10的杆状物体(例如螺丝刀)来充当杆20。
[0027]在另一个实施例中，杆20可以被包括在装置100中作为装置100的一部分。
[0028]代替使用杆20将声学传感器10递送到不同位置，声学传感器10还可以包括多个子传感器，多个子传感器分别被布置在需要检测泄漏的多个位置处。例如可以将多个子传感器分别布置在各个连接装置和各个管道壁附近。每个子传感器可以本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置，包括：接收单元，其用于接收表示从沿着所述半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号；泄漏确定单元，其用于基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏；以及警报单元，其用于响应于确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏，发出警报。2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述泄漏确定单元用于：检测所述第一信号的幅度是否在第一预定时间窗口内超过幅度阈值第一预定次数；以及响应于检测到所述第一信号的幅度在所述第一预定时间窗口内超过所述幅度阈值所述第一预定次数，确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏。3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述接收单元还用于接收表示环境声音的环境信号，所述环境信号与所述第一信号具有相同类型，其中，所述泄漏确定单元还用于：基于所述环境信号调整所述幅度阈值。4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述接收单元还用于接收表示环境声音的环境信号，所述环境信号与所述第一信号具有相同类型，其中，所述泄漏确定单元用于：通过所述环境信号对所述第一信号进行补偿；检测经补偿的第一信号的幅度是否在第一预定时间窗口内超过幅度阈值第一预定次数；以及响应于检测到所述经补偿的第一信号的幅度在所述第一预定时间窗口内超过所述幅度阈值所述第一预定次数，确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏。5.根据权利要求1中的任一项所述的装置，其中，所述接收单元还用于接收表示从远离所述第一位置的第二位置处采集的声音的第二信号，所述第二信号与所述第一信号具有相同类型，其中，所述泄漏确定单元用于：检测所述第一信号的幅度是否在第一预定时间窗口内超过幅度阈值第一预定次数；检测所述第二信号的幅度是否在第二预定时间窗口内超过所述幅度阈值第二预定次数；以及响应于检测到所述第一信号的幅度在所述第一预定时间窗口内超过所述幅度阈值所述第一预定次数并且所述第二信号的幅度在所述第二预定时间窗口内没有超过所述幅度阈值所述第二预定次数，确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏。6.根据权利要求1
‑
5中的任一项所述的装置，其中，所述第一信号为原始声波信号，并且，所述装置还包括：显示单元，其用于显示所述原始声波信号的声波图。7.根据权利要求1
‑
5中的任一项所述的装置，
其中，所述第一信号为音调信号，所述音调信号的每个信号值表示在预定时间段内采集的声音的能量，并且，所述装置还包括：...
【专利技术属性】
技术研发人员：马雪峰，巫缘婷，
申请(专利权)人：英特尔公司，
类型：发明
国别省市：
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