【技术实现步骤摘要】
一种采用流延成型制备氧化铝陶瓷薄片的方法
[0001]本专利技术涉及一种氧化铝陶瓷薄片的制备方法,属于陶瓷传感器领域。
技术介绍
[0002]压力传感器是能按照一定的规律将感知到的外界信号转换成电信号的器件,压力传感器广泛应用于铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、汽车、石化、油井、电力、船舶、机床和管道等众多领域。
[0003]随着3C电子、新源汽车、人工智能、物联网等领域对传感器需要的愈加旺盛和下游市场的高速发展。
[0004]而压力传感器是汽车应用的主要传感器类型之一,在空调系统、发动机系统、刹车系统等关键系统中大量使用。
[0005]目前国内外常用的压力传感器,从感测原理来区分,主要包括如下几大类:硅压阻技术、玻璃微熔技术和陶瓷压力传感技术。其中陶瓷压力传感技术包括陶瓷电阻传感技术和陶瓷电容传感技术。对于电容式传感器而言,弹性膜片是关键的敏感元件,膜片在受力发生小挠度变形时,电容与压力近似成线性函数关系。常规的96氧化铝陶瓷的弹性模量较大、韧性较低,对传感器的灵敏度和寿命有负面影响。如何确保 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种采用流延成型制备氧化铝陶瓷薄片的方法,其特征在于,包括如下步骤:将向有机溶剂中加入PEI和纳米石墨粉体,然后加入锡的可溶性盐和肼使锡离子被还原后包覆于纳米石墨粉体表面,然后加入氧化锆粉体、氧化铝粉体、粘接剂和增塑剂,得到流延浆料;将流延浆料脱泡、流延成型和排胶后烧结,即得。2.如权利要求1所述的采用流延成型制备氧化铝陶瓷薄片的方法,其特征在于:所述氧化铝粉体的纯度大于或等于96%;所述氧化铝粉体的平均粒径D50为1~2μm;所述氧化锆粉体的平均粒径D50为0 .1~0 .2μm。3.如权利要求1所述的采用流延成型制备氧化铝陶瓷薄片的方法,其特征在于:所述PEI的加入量为所述石墨粉体的0.3
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0.6wt%;所述肼的加入量为所述石墨粉体的0.8
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1.2wt%;所述锡的可溶性盐的加入量为所述石墨粉体的3
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5wt%。4.如权利要求1所述的采用流延成型制备氧化铝陶瓷薄片的方法,其特征在于:所述氧化锆粉体的加入量为所述氧化铝粉体加入量的0.15
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0.2wt%;所述纳米石墨粉体的加入量为所述氧化铝粉体的5
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10wt%。5.如权利要求1所述的采用流延成型制备氧化铝陶瓷薄片的方法,其特征在于:所述烧结的温度为1450~1520℃;所述烧结的的保温时间为30
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