【技术实现步骤摘要】
一种用于电子工厂的硅烷安全存储装置及其储存方法
[0001]本专利技术涉及气体存储
，尤其涉及一种用于电子工厂的硅烷安全存储装置及其储存方法。
技术介绍
[0002]硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体,主要用于制备特大或超大规模集成电路、芯片、平板显示器、非晶硅薄膜太阳能电池、高纯多晶硅生长、制备氮化硅、制备碳化硅微粉等。而此种气体通常是装入密封的气罐中进行存储，然后将气罐中装入的硅烷气体置于电子工厂中指定的位置进行放置，以便后续对电子工艺中制备特大或超大规模集成电路、芯片、平板显示器、非晶硅薄膜太阳能电池、高纯多晶硅生长、制备氮化硅、制备碳化硅微粉等产品进行加工使用。
[0003]对于上述应用在电子工厂中的硅烷气体，装入气罐中进行存储时，其使用的气罐通常由圆柱状的罐体与带控制阀一体的进气管组成，当硅烷气体通过进气管表面的控制阀打开，进入罐体的内部存储时，罐体的内部会随着硅烷气体的不断增加压强也随之逐渐增大，若装入的硅烷气体过多，并超过罐体内部承受的预设压力时，就会严重造成罐体爆炸引起安全事故发...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于电子工厂的硅烷安全存储装置，包括储气罐(1)，所述储气罐(1)的顶侧连通有带控制阀的进气管(2)，其特征在于，还包括：顶升机构(3)；其中，所述顶升机构(3)包括连通在储气罐(1)顶部中心位置的固定筒(31)，所述固定筒(31)的底部与储气罐(1)的内顶壁之间贴合有顶升块(32)，所述顶升块(32)的底部与顶升块(32)对应的一侧之间设有连通的对接口(33)，所述顶升块(32)的顶部与固定筒(31)的内顶壁之间固定连接有复位弹簧(34)，所述顶升块(32)的顶部中心固定连接有位于复位弹簧(34)内的顶升杆(35)，所述顶升杆(35)的另一端贯穿至固定筒(31)的顶部上方固定连接有顶升板(36)，所述顶升杆(35)的表面设有齿轮槽(37)；警示单元(4)，设置在所述固定筒(31)的一侧与顶升板(36)的顶部之间，用于对储气罐(1)内部储存的气体在预设阈值时警示；泄压单元(5)，设置在所述固定筒(31)的另一侧与位于固定筒(31)顶部对应的齿轮槽(37)之间，用于对储气罐(1)内部的气压在受温度升高压时泄压收集。2.根据权利要求1所述的一种用于电子工厂的硅烷安全存储装置，其特征在于，所述顶升块(32)顶部与底部均为对应的半球形状，所述顶升块(32)的中间部为圆柱结构。3.根据权利要求1所述的一种用于电子工厂的硅烷安全存储装置，其特征在于，所述警示单元(4)包括水平横向连通在固定筒(31)表面的连接管(41)，所述连接管(41)的内侧壁安装有压力传感器(42)，所述压力传感器(42)的一侧电连有延伸位于连接管(41)外端的传输导线(43)，所述传输导线(43)的另一端电连有安装在顶升板(36)顶部的报警器(44)，所述压力传感器(42)的外表面套接有固定连接在连接管(41)内侧壁的连接弹簧(45)，所述连接弹簧(45)的另一端固定连接有弧形连接头(46)，所述弧形连接头(46)位于连接管(41)端口与固定筒(31)的内部之间，所述弧形连接头(46)对应于连接管(41)内部的一端固定连接有与压力传感器(42)对应的按压杆(47)。4.根据权利要求1所述的一种用于电子工厂的硅烷安全存储装置，其特征在于，所述泄压单元(5)包括泄压机构(51)，所述泄压机构(51)包括连通在固定筒(31)表面的泄压管(5101)，所述泄压管(5101)的内壁与外表面之间通过连接轴连接有与泄压管(5101)内壁贴合的球阀(5102)，所述球阀(5102)贴合于泄压管(5101)内壁之间的表面连通有泄压槽(5103)，所述球阀(5102)位于连接轴对应相反的一面连接有转动杆一(5104)，所述转动杆一(5104)水平延伸至泄压管(5101)对应的外表面固定连接有皮带轮一(5105)，所述皮带轮一(5105)的内表面连接有相适配的传动齿带(5106)，所述传动齿带(5106)的内表面固定连接有皮带轮二(5107)，所述皮带轮二(5107)的表面固定连接有转动杆二(5108)，所述转动杆二(5108)的另一端固定连接有与齿轮槽(37)连接相适配的圆形齿轮...
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