微型LED结构的制作方法技术

一种微型LED结构(12)的制作方法，包括：提供衬底(10)，在衬底(10)上形成图形化的掩膜层(11)，图形化的掩膜层(11)具有暴露衬底(10)的开口(11a)；以图形化的掩膜层(11)为掩膜，对衬底(10)进行外延生长，以在开口(11a)处形成微型LED结构(12)；其中，通过控制开口(11a)在衬底(10)所在平面方向的投影的形状以及在垂直衬底(10)方向的竖剖面的形状以控制微型LED结构(12)的光学性能。微型LED结构(12)的制作方法一方面避免了切割工序，另一方面避免了大面积生长LED外延片以及由此导致的LED外延片应力积累产生翘曲变形，因而可提高微型LED结构(12)的良率。此外，不同形状的微型LED结构(12)具有不同的光学性能，通过开口(11a)形状控制可定制微型LED结构(12)的光学性能。可定制微型LED结构(12)的光学性能。可定制微型LED结构(12)的光学性能。可定制微型LED结构(12)的光学性能。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘慰华，程凯，
申请(专利权)人：苏州晶湛半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：