【技术实现步骤摘要】
一种乙二胺四乙酸接枝氧化铈复合磨粒、其制备方法及其应用
[0001]本专利技术涉及抛光磨料生产
，具体为一种乙二胺四乙酸接枝氧化铈复合磨粒、其制备方法及其应用。
技术介绍
[0002]玻璃作为最普通的无机材料，有着很长的工业化和商业化历史。随着科技的进步发展，在促进玻璃传统产业转型升级的同时，玻璃材料的应用范围也在不断扩大，成为了信息显示、航空航天、新能源等邻域中的重要材料。同时随着这些先进领域应用的发展，对现代玻璃材料的表面加工提出了更为苛刻的要求。
[0003]现代制造产业中，玻璃的表面加工常使用化学机械抛光(CMP)方法，而在CMP中，磨粒对于表面质量和材料去除速率有着至关重要的影响。众多磨粒中，稀土氧化物氧化铈(CeO2)与玻璃材料有着特殊的反应特性，因而具有较高的材料去除速率(MRR)，成为了抛光玻璃的最佳磨粒。
[0004]氧化铈磨粒粉体，在配置成抛光液时，粒度越细越容易团聚在一起，形成大团聚物，在用于玻璃表面抛光时，大团聚物会划伤玻璃表面，使得工件表面加工品质不高，市面上的氧化铈抛光粉体一...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种乙二胺四乙酸接枝氧化铈复合磨粒的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，对纯氧化铈磨粒进行氨基改性处理，制得氨基改性的氧化铈磨粒；S2，对所述氨基改性的氧化铈磨粒进行乙二胺四乙酸接枝处理，制得乙二胺四乙酸接枝氧化铈复合磨粒。2.根据权利要求1所述的乙二胺四乙酸接枝氧化铈复合磨粒的制备方法，其特征在于，还包括如下技术特征中至少一项：A.所述S1步骤还包括：将所述纯氧化铈磨粒加入到无水甲苯中，混合均匀处理，得到氧化铈悬浊液，在所述氧化铈悬浊液中加入APTES，进行恒温浴处理，在78℃条件下保温8h，得到第一样品悬浊液，将所述第一样品悬浊液进行固液分离，得到第一沉淀样品，将所述第一沉淀样品进行洗涤处理，得到第一洗涤样品，将所述第一洗涤样品进行干燥处理，制得所述氨基改性的氧化铈磨粒；B.所述S2步骤还包括：将所述氨基改性的氧化铈磨粒加入乙醇/乙酸混合溶液中，混合均匀处理，得到氨基改性氧化铈悬浊液，在所述氨基改性氧化铈悬浊液中快速加入EDTA，进行恒温浴处理，在50℃条件下保温6h，得到第二样品悬浊液，将所述第二样品悬浊液进行固液分离，得到第二沉淀样品，将所述第二沉淀样品进行洗涤处理，得到第二洗涤样品，将所述第二洗涤样品进行干燥处理，制得所述乙二胺四乙酸接枝氧化铈复合磨粒。3.根据权利要求2所述的乙二胺四乙酸接枝氧化铈复合磨粒的制备方法，其特征在于，所述S1步骤中采用先超声处理，然后磁力搅拌的方式进行所述混合均匀处理。4.根据权利要求2所述的乙二胺四乙酸接枝氧化铈复合磨粒的制备方法，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷红，袁晓玥，陈是东，张玮，胡晓刚，张佩嘉，陈晓宇，张业盛，杨瑞星，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：
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