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一种双谐振腔滤波器制造技术

技术编号:37989128 阅读:56 留言:0更新日期:2023-06-30 10:03
本申请涉及一种双谐振腔滤波器,滤波器包括衬底、第一直波导、第二直波导和环形谐振腔;第一直波导、第二直波导和环形谐振腔均位于衬底上;第一直波导和第二直波导,设置于环形谐振腔的两侧,且分别与环形谐振腔耦合;第一直波导上设有第一孔洞,第二直波导上设有第二孔洞,第一孔洞、第二孔洞以及环形谐振腔之间,形成法布里

【技术实现步骤摘要】
一种双谐振腔滤波器


[0001]本申请涉及光学
,特别是涉及一种双谐振腔滤波器。

技术介绍

[0002]目前,社会对通信容量的需求日益增长,但是通信波段的带宽资源却是非常有限的,这就要求用户需要对光谱进行高质量的波长选择,这时低损耗、窄带宽、高消光比的光滤波器的作用就显得尤为重要。除此之外,光滤波器在可调谐激光器、波分复用/解复用器、光交换阵列等有源及无源器件中都有很重要的应用。与传统的以光纤为基础的光器件相比,集成光子器件的体积和尺寸大幅度减小,可实现大规模、高密度的集成。另外,在硅、氧化硅等硅基平台上制作的集成光子器件在光通信波段信号传输几乎是透明的,具有低损耗、低成本、制作流程简单、工艺成熟、易实现规模化和产业化等特点。
[0003]目前的集成光滤波器件大多利用微环谐振腔或者片上受激布里渊散射效应来实现。其中,片上受激布里渊散射效应的实现往往需要高功率的泵浦光注入,来激发出布里渊散射效应;还需要复杂的器件结构来得到较高的布里渊增益系数,例如光子晶体结构、悬空波导结构等,而这些复杂的结构往往都需要繁琐的制作工艺来实现,不利于规本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双谐振腔滤波器,其特征在于,所述滤波器包括衬底、第一直波导、第二直波导和环形谐振腔;所述第一直波导、所述第二直波导和所述环形谐振腔均位于所述衬底上;所述第一直波导和所述第二直波导,设置于所述环形谐振腔的两侧,且分别与所述环形谐振腔耦合;所述第一直波导上设有第一孔洞,所述第二直波导上设有第二孔洞,所述第一孔洞、所述第二孔洞以及所述环形谐振腔之间,形成法布里

珀罗谐振腔。2.根据权利要求1所述的双谐振腔滤波器,其特征在于,所述法布里

珀罗谐振腔的等效腔长的两倍,为所述环形谐振腔的腔长的整数倍。3.根据权利要求1所述的双谐振腔滤波器,其特征在于,所述环形谐振腔为一个或多个封闭的环状结构的组合,所述多个封闭的环状结构,依次垂直排布于所述衬底上,且相邻的环状结构相互耦合。4.根据权利要求3所述的双谐振腔滤波器,其特征在于:在所述环状结构的数量为奇数的情况下,所述第一孔洞和所述第二孔洞位于所述环形谐振腔的同一侧;在所述环状结构的数量为偶数的情况下,所述第一孔洞和所述第二孔洞位于所述环形...

【专利技术属性】
技术研发人员:焦文婷张磊高阳张萌徕王海涛尹坤
申请(专利权)人:之江实验室
类型:发明
国别省市:

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