基于反射的激光光束检测系统及其方法技术方案

本发明专利技术公开了一种基于反射的激光光束检测系统及方法，包括两个反射棱镜，反射棱镜背面为锥棱镜，正面为平面镜。两个反射棱镜的平面镜相对而放，平面镜接触光的部分是相互平行的，本发明专利技术利用两个反射棱镜面相对而放，平面镜接触光的部分是相互平行的，根据激光功率的不同，相对移动两个镜片的相对位置，保证入射光束与出射光束均是不经过透射的方式传播出去的，并且根据功率的高低决定光束的折转次数，相对调节两片反射棱镜的相对距离及调节两片镜片的相对水平位置的角度，目的就是实现入射光斑与出射光斑的位置不变，便于使用，实现无论是正入射还是斜入射都可以将透射的光斑在不同的棱的位置将光斑裂变，降低透射的非使用的每束光的能量。用的每束光的能量。用的每束光的能量。

【技术实现步骤摘要】
基于反射的激光光束检测系统及其方法


[0001]本专利技术属于检测系统
，具体涉及一种基于反射的激光光束检测系统及方法。

技术介绍

[0002]随着工业激光加工的蓬勃发展，激光的运用范围越来越广泛，功率也在逐渐的提高，激光加工质量也在随着要求不断的挺高，那么对光束的质量的要求也越来越高，此时对激光光束的质量的检测是至关重要的，激光光束质量的检测包含准直光束的检测以及聚焦光束的检测，对于准直光束的检测方法比较多，利用反射式透射式均可以实现，因为这两种方法不会对光路产生额外的像差的影响，对光程的长短也没有特殊的要求；对于聚焦光束的检测，就不能随意的选择检测方法，在聚焦的光路中，光束的聚焦位置是由聚焦系统的工作距离决定的，而聚焦光斑的大小是由聚焦系统的入射光斑决定的，检测的时候要能同时满足这两个需求并且不引入额外的像差，常规的方法是采用双光楔反射衰减的方式，以及匹配吸收衰减片的方式对激光光束的能量进行衰减，缺点就是双光楔需要根据实际的入射光斑尺寸以及光程来设计，必须折转光路的光程小于聚焦系统的光程这样才能正常的检测聚焦光斑的大小，而折中折转光路本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于反射的激光光束检测系统，包括两个反射棱镜，其特征在于：所述反射棱镜背面为锥棱镜，正面为平面镜，两个反射棱镜的平面镜相对而放，平面镜接触光的部分是相互平行的，所述反射棱镜的后方分别增加吸光装置，将透射的裂变的光束吸收掉；光束入射角度与反射棱镜的倾斜角度的关系是α＝90
°‑
θ，反射次数为经过两个反射棱镜的反射次数，定义为n，两个反射棱镜的间距为t，光束经反射棱镜反射后的光斑的尺寸为D，入射光束与出射光束的间距为H，对应关系为sin(θ)＝H/(2*n*t)，H≥2D，反射棱镜的反射透射衰减比为1：24，根据光束入射的功率值的大小，调节n，t，θ的数值得到衰减后的光束能量值为1mW，反射棱镜的尺寸为≥4D，光束的入光与出光的间距为H。2.一种权利要求1所述的基于反射的激光光束检测系统的检测方法，其特征在于：具体包括以下步骤：S1、相对移动两个反射棱镜的相对位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：温彬，宋小安，张发伟，
申请(专利权)人：光研科技南京有限公司，
类型：发明
国别省市：