成膜装置、雾成膜装置、及导电膜的制造方法制造方法及图纸

成膜装置，其将雾供给至物体表面以在所述物体表面成膜出所述雾中含有的材料物质的膜，其具有产生所述雾的雾产生部、以及雾供给部，该雾供给部具有将由所述雾产生部产生的所述雾导入空间的导入口、以及从所述空间将所述雾供给至所述物体表面的供给口。所述供给口设置在第1方向与第2方向交叉、包含所述供给口且供所述雾通过的第1规定平面内的在所述第1方向上与所述导入口不同的位置。上与所述导入口不同的位置。上与所述导入口不同的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】成膜装置、雾成膜装置、及导电膜的制造方法


[0001]本专利技术涉及将含有微细纳米粒子(材料粒子)的雾乘载于载体气体而喷于被处理基板，以在被处理基板表面堆积由纳米粒子构成的材料物质的膜的成膜装置、雾成膜装置、及导电膜的制造方法。

技术介绍

[0002]在电子器件的制造过程中，会实施在形成电子器件的基板(被处理对象)表面形成由各种材料物质构成的薄膜的成膜工序(成膜处理)。成膜工序中的成膜方法有各种方式，近年来，如下的雾成膜法受到关注，该雾成膜法将从含有材料物质微粒子(纳米粒子)的溶液产生的雾喷于基板表面，使附着在基板的雾(溶液)中所含的溶剂成分反应或蒸发，在基板表面形成由材料物质(金属材料等)构成的薄膜。
[0003]在国际公开第2012/124047号中，公开了一种设置有将雾向基板喷射的雾喷射用喷嘴的雾成膜装置，该雾从雾产生器产生并作为成膜原料。国际公开第2012/124047号的雾喷射用喷嘴具备：具有中空部的主体部、在该主体部的横向上设置的将雾供给至主体部内的雾供给口、将雾朝向基板喷射的缝状喷出口、设置在主体部上方对主体内供给载体气体的载体气体供给口、以及配置在主体内的雾供给口上方并形成有多个孔的喷洒片(shower plate)。通过该喷洒片的配设，主体内的中空部被分割为与载体气体供给口连接的第1空间、以及与雾供给口和喷出口连接的第2空间，载体气体经过喷洒片被均匀化后流入第2空间内，由此使从喷出口喷吹至基板的雾均匀化。
[0004]如前所述，在雾喷射用喷嘴的主体内的中空部设置喷洒片，以使在流入第2空间内时的载体气体的分布均匀化的情况下，若从横向供给至第2空间内的雾的分布在缝状喷出口的长度方向(缝长度方向)上未均匀时，最终使喷于基板的雾的浓度分布在缝长度方向上良好地均匀化是非常困难的。

技术实现思路

[0005]本专利技术第1方式的成膜装置将雾供给至物体表面以在所述物体表面成膜出所述雾中含有的材料物质的膜，其中，该成膜装置具有：雾产生部，其产生所述雾；以及雾供给部，其具有将由所述雾产生部产生的所述雾导入空间的导入口、以及与从所述空间将所述雾供给至所述物体表面的供给口；所述供给口设置在第1方向与第2方向交叉、包含所述供给口且供所述雾通过的第1规定平面内的在所述第1方向上与所述导入口不同的位置。
[0006]本专利技术第2方式的成膜装置将载体气体中所含的雾供给至物体表面以在所述物体表面成膜出所述雾所含的材料物质的膜，其中，该成膜装置具备：移动机构，其使所述物体向沿表面的第1方向移动；供给口，其以从与所述物体表面相距规定间隔对置的前端部将所述雾在与所述第1方向交叉的第2方向以延伸为缝状的分布喷出的方式，形成在所述前端部；以及雾供给部，其包括第1壁面和第2壁面，该第1壁面为了从所述雾的导入口到所述供给口将所述雾充满沿所述第2方向展开的空间内，而与所述供给口的所述第1方向的一端部
连接，该第2壁面与所述供给口的所述第1方向的另一端部连接，并且与所述第1壁面的间隔随着从所述导入口朝向所述供给口而变窄；从所述导入口导入的所述雾的导入向量的中心的延长线与所述第2壁面所成的交叉角被设定为锐角。
[0007]本专利技术第3方式的导电膜的制造方法包含：成膜工序，使用第1方式或第2方式的成膜装置，在所述物体上成膜出作为所述材料物质的导电膜材料；以及干燥工序，使成膜的所述物体干燥。
[0008]本专利技术第4方式的雾成膜装置具有：雾产生部，其产生含有材料物质的雾；以及雾供给部，其具有导入口和供给口，将从所述导入口导入的所述雾从所述供给口供给至物体表面，所述供给口在第1方向设置在与所述导入口不同的位置，该第1方向是与所述雾的导入方向不同的方向。
[0009]本专利技术第5方式的雾成膜装置具有：雾产生部，其产生含有材料物质的雾；以及雾供给部，其具有导入口和供给口，将从所述导入口导入的所述雾从所述供给口供给至物体表面，在第1方向，所述供给口的宽度比所述导入口的宽度窄，该第1方向是与所述雾的导入方向不同的方向。
[0010]本专利技术第6方式的雾成膜装置具有：雾产生部，其产生含有材料物质的雾；以及雾供给部，其具有导入口和供给口，将从所述导入口导入的所述雾从所述供给口供给至物体表面，所述雾供给部具有将从所述导入口导入的雾引导至所述供给口的空间，该空间设置在第1壁面和与所述第1壁面对置的第2壁面之间，所述第1壁面及第2壁面中的至少一方被设置为，使所述第1壁面与第2壁面的间隔从所述导入口朝向所述供给口变窄。
附图说明
[0011]图1是概略示出第1实施方式的雾成膜装置的整体结构的图。
[0012]图2是示出图1所示的雾成膜装置的喷嘴单元部的外观结构的立体图。
[0013]图3是用与XuZu(XZ)面平行的面将图2所示的喷嘴单元部的Yu(Y)方向的一部分剖开的剖面图。
[0014]图4A～图4C是示出对因喷嘴单元部内的空间SO的构造差异造成的流速分布差异进行仿真时的若干个模型例。
[0015]图5是示出对从图4A～图4C所示的喷嘴单元部MN各自的缝开口部AP的Yu方向端部附近喷出的雾气体Msf的Zu方向的流速差异进行仿真的结果的图表。
[0016]图6是示出在图4A(图3)所示的喷嘴单元部MN的空间SO内的雾气体Msf在YuZu面内的流速分布的仿真结果的图。
[0017]图7A～图7C示出作为喷嘴单元部MN内的空间SO的形状，特别是将倾斜内壁面10A的角度θa设定为30
°
以外的3个模型例。
[0018]图8是示出对从图7A～图7C所示的喷嘴单元部MN各自的缝开口部AP的Yu方向端部附近喷出的雾气体Msf的Zu方向的流速差异进行仿真的结果的图表。
[0019]图9是放大示出图8所示的仿真结果的图表中的一部分的图表。
[0020]图10A～图10D是为进行仿真，在不改变喷嘴单元部MN内的倾斜内壁面10A的角度θa的情况下，改变其他部分的尺寸的喷嘴单元部MN的变形例(变形例1)的局部剖面图。
[0021]图11是示出对图10A～图10D所示的喷嘴单元部MN各自的雾气体Msf的Zu方向的流
速差异进行仿真的结果的图表。
[0022]图12是示出参酌仿真结果的喷嘴单元部MN的变形例(变形例2)的局部剖面图。
[0023]图13是示出参酌仿真结果的喷嘴单元部MN的变形例(变形例3)的局部剖面图。
[0024]图14是将参酌仿真结果的喷嘴单元部MN的变形例(变形例4)的一部分剖开的立体图。
[0025]图15是图14所示的喷嘴单元部MN的在与XuZu面平行的面观察到的局部剖面图。
[0026]图16是示出将图14、图15的喷嘴单元部MN配合基板P的倾斜而加以倾斜配置的状态的图。
[0027]图17是示出第2实施方式的雾成膜部的喷嘴单元部MN、回收单元部DN1、DN2的具体结构的图。
[0028]图18是以局部剖面示出图17的雾成膜部的变形例(变形例5)的立体图。
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种成膜装置，其将雾供给至物体表面以在所述物体表面成膜出所述雾中含有的材料物质的膜，其中，该成膜装置具有：雾产生部，其产生所述雾；以及雾供给部，其具有将由所述雾产生部产生的所述雾导入空间的导入口、以及与从所述空间将所述雾供给至所述物体表面的供给口，所述供给口设置在第1方向与第2方向交叉、包含所述供给口且供所述雾通过的第1规定平面内的在所述第1方向上与所述导入口不同的位置。2.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，所述雾供给部具有多个所述导入口。3.根据权利要求2所述的成膜装置，其中，所述雾供给部的多个所述导入口沿所述第2方向设置。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的成膜装置，其中，所述雾供给部具有第1壁面、以及与所述第1壁面对置的第2壁面；所述雾供给部以如下的方式设置所述导入口：在所述导入口的所述雾通过的第2规定平面处的所述导入口沿着与所述第2规定平面正交的第3方向延伸时，所述导入口与所述第1壁面交叉。5.根据权利要求4所述的成膜装置，其中，所述供给口的宽度比所述导入口的宽度窄。6.根据权利要求5所述的成膜装置，其中，所述供给口在所述第1方向的宽度比所述导入口在所述第1方向的宽度小。7.根据权利要求4至6中任意一项所述的成膜装置，其中，所述雾供给部具有对附着在所述第1壁面的液化的所述雾进行回收的回收部。8.根据权利要求4至7中任意一项所述的成膜装置，其中，所述第1壁面具有曲面。9.根据权利要求4至8中任意一项所述的成膜装置，其中，所述第2壁面具有曲面。10.根据权利要求1至9中任意一项所述的成膜装置，其中，该成膜装置具有在第2规定平面内保持所述物体的物体保持部；所述雾供给部被设置在与所述物体对置的位置，从所述供给口对所述物体供给所述雾。11.根据权利要求10所述的成膜装置，其中，所述雾供给部以所述第1规定平面与所述第2规定平面成平行面的方式，与所述物体保持部对置设置。12.根据权利要求10或11所述的成膜装置，其中，所述物体保持部具备输送所述物体的输送部，所述雾供给部对被输送中的所述物体供给所述雾。13.根据权利要求12所述的成膜装置，其中，所述输送部将所述物体向与所述第1方向平行的所述第2规定平面内的第3方向输送。
14.根据权利要求13所述的成膜装置，其中，所述物体保持部将所述物体的短边侧配置在所述第2规定平面内与所述第3方向交叉、且与所述第2方向平行的第4方向。15.一种成膜装置，其将载体气体中所含的雾供给至物体表面以在所述物体表面成膜出所述雾所含的材料物质的膜，其中，该成膜装置具备：移动机构，其使所述物体向沿表面的第1方向移动；供给口，其以从与所述物体表面相距规定间隔对置的前端部将所述雾在与所述第1方向交叉的第2方向以延伸为缝状的分布喷出的方式，形成在所述前端部；以及雾供给部，其包括第1壁面和第2壁面，该第1壁面为了从所述雾的导入口到所述供给口将所述雾充满沿所述第2方向展开的空间内，而与所述供给口的所述第1方向的一端部连接，该第2壁面与所述供给口的所述第1方向的另一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥井公太郎，鬼头义昭，佐佐木健至，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：