一种长晶炉水冷电极及其焊接工艺制造技术

技术编号:37984911 阅读:30 留言:0更新日期:2023-06-30 09:59
本申请提供了一种长晶炉水冷电极的焊接工艺;此焊接工艺用于水冷电极的密封盖和电极本体的固定连接,以及电极柱和电极本体的固定连接;严格控制变温速率、保温时间和温度区间,有效降低焊接位残余应力,提高了钎缝的强度和气密性,避免加工变形,进一步提升长晶炉的气密性,并降低了工艺成本。并降低了工艺成本。

【技术实现步骤摘要】
一种长晶炉水冷电极及其焊接工艺


[0001]本专利技术金属材料加工
,B23K1/00,尤其涉及一种长晶炉水冷电极及其焊接工艺。

技术介绍

[0002]水冷电极是是连接真空炉外电源与炉内加热元件的关键部件;不同种类的真空炉对电极要求不同,一般真空炉需要同时保证高温和密封的环境,以上不仅要求对电极进行冷却保证其正常工作,还要求电极具有严格的密封性,防止冷却相滴落造成炉内环境不稳定的问题。另外,水冷电极在长晶炉上的安装需要在炉体上开孔,因此,对电极和炉体的匹配尺寸具有更加精密的要求,以使真空炉达到密封性能和工作性能的指标。
[0003]对于水冷电极,其电极杆与电极本体一般采用焊接方式连接,但是电极的焊接加工过程中容易产生变形,且焊接结构易产生焊接缺陷,从而导致电极和真空炉的密封性能下降,存在严重的安全隐患。
[0004]中国专利CN1493430A公开了一种等离子切割电极真空钎焊方法,该方法通过两段式升温和保温过程使钎料与电极配合性好,焊接均匀致密,产品质量稳定,合格率高;但是其未考虑到焊接过程中部件变形以致电极和炉体匹配性不本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种长晶炉水冷电极的焊接工艺,其特征在于,所述焊接工艺包括以下步骤:S1、电极部件预处理;S2、电极部件组装后真空焊接;S3、冷却过程;步骤S2在真空下进行,真空度为0.05

0.2Pa。2.根据权利要求1所述的焊接工艺,其特征在于,所述步骤S2采用分段式升温,具体为:(1)先升温至300

400℃进行预热,并保温1

3h;(2)升温至580

620℃保持0.2

0.5h;(3)升温至730

820℃保持1.5

3.5h;(4)升温至840

860℃保持1.5

3h。3.根据权利要求2所述的焊接工艺,其特征在于,步骤(1)中升温速率为10

30℃/min,步骤(2)的升温速率为5

15℃/min,步骤(4)的升温速率为2

6℃/min。4.根据权利要求2所述的焊接工艺,其特征在于,步骤(3)为:以2

10℃/min的升温速率升温至750

800℃保温2.5

3h。5.根据权利要求2所述的焊接工艺,其特征在于,步骤(4)为:以3

4℃/min的升温速率升温至850℃保温2.5

3h。6.根据权利要求1所述的焊接工...

【专利技术属性】
技术研发人员:钱粟帛
申请(专利权)人:申金电苏州精密机械科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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