MEMS微镜、及其驱动方法、装置和存储介质制造方法及图纸

本申请适用于二维MEMS微镜技术领域，提供了一种基于二维MEMS微镜的驱动方法、装置、二维MEMS微镜及计算机可读存储介质。方法包括：获取二维MEMS微镜的预设参数；根据所述预设参数分别生成驱动函数与叠加函数；根据所述驱动函数与所述叠加函数生成慢轴驱动信号；将慢轴驱动信号驱动所述二维MEMS微镜的慢轴转动。本申请可以在电路形式上省去现有技术中二维MEMS微镜反馈信号的接收及处理电路部分，且无需获取反馈信号进行调节，调节方式从原理上不存在滞后性，只需要根据合适的叠加函数对驱动函数进行调整，生成驱动信号，即可实现较好的鲁棒性，在实现形式上较为简单，不需要进行预设参数的标定。设参数的标定。设参数的标定。

【技术实现步骤摘要】
MEMS微镜、及其驱动方法、装置和存储介质


[0001]本申请属于二维MEMS微镜
，尤其涉及一种基于二维MEMS微镜的驱动方法、装置、二维MEMS微镜及计算机可读存储介质。

技术介绍

[0002]微机电系统(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，MEMS)微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜，当其光学偏转角度较大(达到10
°
以上)，主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时，可被称为“MEMS扫描镜”，以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。
[0003]MEMS扫描镜是激光应用必不可少的关键激光元器件，应用领域已渗透到消费电子、医疗、军事国防、通讯等。主要应用领域有三个方面：激光扫描、光通讯、数字显示。扫描镜主要可用在激光雷达、3D摄像头、条形码扫描、激光打印机、医疗成像；光通讯主要指光分插复用器、光衰减器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于二维MEMS微镜的驱动方法，其特征在于，包括：获取二维MEMS微镜的预设参数；根据所述预设参数分别生成驱动函数与叠加函数；根据所述驱动函数与所述叠加函数生成慢轴驱动信号；根据所述慢轴驱动信号驱动所述二维MEMS微镜的慢轴转动。2.如权利要求1所述的驱动方法，其特征在于，所述预设参数包括二维MEMS微镜的慢轴频率fm和慢轴品质因数q；根据所述预设参数生成叠加函数，包括：根据慢轴频率fm与慢轴品质因数q生成具有前馈特征的叠加函数f1(t)；其中，t为叠加函数的时间变量。3.如权利要求2所述的驱动方法，其特征在于，所述根据慢轴频率fm与慢轴品质因数q生成具有前馈特征的叠加函数f1(t)，包括：根据所述慢轴品质因数q计算慢轴阻尼参数ξ，其中根据所述慢轴阻尼参数ξ计算阻尼分子系数m，根据所述阻尼分子系数m生成阻尼分母系数M，M＝1+3m+3m2+m3；根据所述慢轴频率fm与所述慢轴阻尼参数ξ计算时间参数T，根据所述时间参数T、所述阻尼分子系数m、所述阻尼分母系数M和狄拉克函数δ(t)，计算叠加函数f1(t)。4.如权利要求1所述的驱动方法，其特征在于，所述预设参数包括二维MEMS微镜的快轴谐振频率fk、快慢轴频率比n、慢轴驱动幅值Av和慢轴驱动占空比P；根据所述预设参数生成驱动函数，包括：对于当前时刻t，驱动函数f2(t)如下式：其中，所述驱动函数为三角波函数，所述快慢轴频率比n＝快轴谐振频率fk/慢轴频率fm。5.如权利要求1所述的驱动方法，其特征在于，根据所述驱动函数与所述叠加函数生成慢轴驱动信号，包括：基于所述驱动函数f2(t)和叠加函...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩劭纯，屈志巍，王伟星，李媛媛，
申请(专利权)人：武汉万集光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：