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MEMS微镜、及其驱动方法、装置和存储介质制造方法及图纸
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文档序号:37984055
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本申请适用于二维MEMS微镜技术领域,提供了一种基于二维MEMS微镜的驱动方法、装置、二维MEMS微镜及计算机可读存储介质。方法包括:获取二维MEMS微镜的预设参数;根据所述预设参数分别生成驱动函数与叠加函数;根据所述驱动函数与所述叠加函数...
该专利属于武汉万集光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉万集光电技术有限公司授权不得商用。
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