本发明专利技术提供一种运动装置及测量设备，涉及集成电路技术领域。该运动装置包括基座、X向运动机构、Y向运动机构和Z向运动机构，其中，X向运动机构包括X向滑动座和X向压电陶瓷电机，X向压电陶瓷电机连接于基座与X向滑动座之间；Y向运动机构包括Y向滑动座和Y向压电陶瓷电机，Y向压电陶瓷电机连接于X向滑动座与Y向滑动座之间；Z向运动机构包括Z向滑动座和Z向压电陶瓷电机，Z向压电陶瓷电机连接于Y向滑动座与Z向滑动座之间。该测量设备包括测量组件和上述运动装置，测量组件安装于运动装置的Z向滑动座。该运动装置的运动精度高、抗磁干扰强且对测量组件的位置保持性较好。测量组件的位置保持性较好。测量组件的位置保持性较好。
【技术实现步骤摘要】
运动装置及测量设备
[0001]本专利技术涉及集成电路
，具体而言，涉及一种运动装置及测量设备。
技术介绍
[0002]集成电路领域中，为了保证产品的良率，需要在特定环节对晶圆进行量测，包括对键合精度、表面形貌、电路特征等的显微检测，因此需要运动装置承载测量组件到达特定位置以对晶圆等待测量物的测量位置进行测量，然而现有运动装置的运动精度低、抗磁干扰弱且对测量组件的位置保持性较差。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的包括提供一种运动装置及测量设备，以解决现有运动装置的运动精度低、抗磁干扰弱且对测量组件的位置保持性较差的技术问题。
[0004]为解决上述问题，本专利技术提供一种运动装置，包括：
[0005]基座；
[0006]X向运动机构，包括X向滑动座和X向压电陶瓷电机，所述X向压电陶瓷电机连接于所述基座与所述X向滑动座之间，用于驱动所述X向滑动座沿X向运动；
[0007]Y向运动机构，包括Y向滑动座和Y向压电陶瓷电机，所述Y向压电陶瓷电机连接于所述X向滑动座与所述Y向滑动座之间，用于驱动所述Y向滑动座沿Y向运动；以及，
[0008]Z向运动机构，包括Z向滑动座和Z向压电陶瓷电机，所述Z向压电陶瓷电机连接于所述Y向滑动座与所述Z向滑动座之间，用于驱动所述Z向滑动座沿Z向运动。
[0009]可选地，所述X向滑动座沿X向滑接于所述基座，所述X向压电陶瓷电机的X向陶瓷片设于所述基座且沿X向延伸，所述X向压电陶瓷电机的X向电机本体安装于所述X向滑动座，且所述X向电机本体的触头与所述X向陶瓷片相配合；
[0010]和/或，所述X向滑动座沿Y向延伸，所述Y向滑动座沿Y向滑动连接于所述X向滑动座，所述Y向压电陶瓷电机的Y向陶瓷片设于所述X向滑动座且与所述X向滑动座的延伸方向一致，所述Y向压电陶瓷电机的Y向电机本体安装于所述Y向滑动座，且所述Y向电机本体的触头与所述Y向陶瓷片相配合；
[0011]和/或，所述Y向滑动座沿Z向延伸，所述Z向滑动座沿Z向滑动连接于所述Y向滑动座，所述Z向压电陶瓷电机的Z向陶瓷片设于所述Y向滑动座且与所述Y向滑动座的延伸方向一致，所述Z向压电陶瓷电机的Z向电机本体安装于所述Z向滑动座，且所述Z向电机本体的触头与所述Z向陶瓷片相配合。
[0012]可选地，所述基座设有两条均沿X向延伸的X向导轨，且两条所述X向导轨沿Y向间隔排布于所述基座相对的两侧；所述X向滑动座的两端与两条所述X向导轨一一对应滑接。
[0013]可选地，所述X向压电陶瓷电机为两个，沿Y向，两个所述X向压电陶瓷电机的X向电机本体一一对应设于所述X向滑动座的两端。
[0014]可选地，两个所述X向电机本体共用同一驱动器。
[0015]可选地，所述X向导轨的两端设有限位缓冲器，所述限位缓冲器用于对所述X向滑动座沿X向运动的两端位置进行限位缓冲。
[0016]可选地，所述运动装置还包括控制器；
[0017]所述X向运动机构还包括X向检测组件，所述X向检测组件用于测量所述X向滑动座沿X向的运动位置，且所述X向检测组件及所述X向压电陶瓷电机均与所述控制器连接；
[0018]和/或，所述Y向运动机构还包括Y向检测组件，所述Y向检测组件用于测量所述Y向滑动座沿Y向的运动位置，且所述Y向检测组件及所述Y向压电陶瓷电机均与所述控制器连接；
[0019]和/或，Z向运动机构还包括Z向检测组件，所述Z向检测组件用于测量所述Z向滑动座沿Z向的运动位置，且所述Z向检测组件及所述Z向压电陶瓷电机均与所述控制器连接。
[0020]可选地，所述X向检测组件包括一个X向光栅尺，所述X向光栅尺的X向标尺光栅设于所述基座且沿X向延伸，所述X向光栅尺的X向读数头设于所述X向滑动座沿Y向的一端，且所述X向读数头与所述控制器连接。
[0021]可选地，所述Y向滑动座与所述Z向滑动座之间连接有重力平衡组件，所述重力平衡组件用于平衡所述Z向运动机构及其负载。
[0022]本专利技术还提供了一种测量设备，包括测量组件和上述运动装置，所述测量组件安装于所述运动装置的Z向滑动座。
[0023]本专利技术提供的运动装置能够实现对测量组件X
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Y
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Z向的位置调节，且其X向运动机构、Y向运动机构和Z向运动机构均采用压电陶瓷电机作为驱动组件，第一方面，电机本体利用压电体的压电逆效应将电能转化为机械能，响应迅速，可以做到纳米级的最小步进量；第二方面，电机本体与陶瓷片之间为直驱方式，无需旋转运动与直线运动之间的转化，从而减少转动运动存在转动惯量对驱动位置精度造成的不良影响，相应提高运动装置的驱动位置精度；第三方面，压电陶瓷电机运行为无磁运行，相应不会受到周围电磁的干扰，并且不会对周围元器件造成电磁干扰，从而确保压电陶瓷电机及其周围元器件的正常运行，相应确保运动装置的驱动位置精度，并且触头的机械振动频率在可听范围外，相应减少运动装置运行过程产生的噪音污染；第四方面，压电陶瓷电机停止运行时，其电机本体的触头与陶瓷片保持抵触状态，两者之间存在摩擦保持力，从而确保与电机本体及陶瓷片连接的两个部件的相对位置的保持，如Z向压电陶瓷电机停止运行时，Z向电机本体的触头与Z向陶瓷片之间存在摩擦保持力，Z向滑动座与Y向滑动座相应保持相对位置，测量组件随之保持在测量位置，从而确保驱动组件停止运行时测量组件的位置保持；第五方面，压电陶瓷电机自身重量小，有效驱动效率高，从而减少能量浪费，并且压电陶瓷电机的体积小，占用安装空间小，能够有效缩小运动装置的体积。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0025]图1为本专利技术提供的测量设备的第一视角示意图；
[0026]图2为本专利技术提供的测量设备的第二视角示意图；
[0027]图3为本专利技术提供的测量设备的第三视角示意图；
[0028]图4为本专利技术提供的运动装置中X向滑动座安装有零部件时的示意图；
[0029]图5为本专利技术提供的运动装置中Y向滑动座安装有零部件时的第一视角示意图；
[0030]图6为本专利技术提供的运动装置中Y向滑动座安装有零部件时的第二视角示意图；
[0031]图7为本专利技术提供的运动装置中Z向滑动座安装有零部件时的第一视角示意图；
[0032]图8为本专利技术提供的运动装置中Z向滑动座安装有零部件时的第二视角示意图。
[0033]附图标记说明：
[0034]100
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基座；110
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卡盘；200
‑
X向运动机构；210
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X向滑动座；220
‑
X向压电陶瓷电机；221
‑
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种运动装置，其特征在于，包括：基座(100)；X向运动机构(200)，包括X向滑动座(210)和X向压电陶瓷电机(220)，所述X向压电陶瓷电机(220)连接于所述基座(100)与所述X向滑动座(210)之间，用于驱动所述X向滑动座(210)沿X向运动；Y向运动机构(300)，包括Y向滑动座(310)和Y向压电陶瓷电机(320)，所述Y向压电陶瓷电机(320)连接于所述X向滑动座(210)与所述Y向滑动座(310)之间，用于驱动所述Y向滑动座(310)沿Y向运动；以及，Z向运动机构(400)，包括Z向滑动座(410)和Z向压电陶瓷电机(420)，所述Z向压电陶瓷电机(420)连接于所述Y向滑动座(310)与所述Z向滑动座(410)之间，用于驱动所述Z向滑动座(410)沿Z向运动。2.根据权利要求1所述的运动装置，其特征在于，所述X向滑动座(210)沿X向滑接于所述基座(100)，所述X向压电陶瓷电机(220)的X向陶瓷片(221)设于所述基座(100)且沿X向延伸，所述X向压电陶瓷电机(220)的X向电机本体(222)安装于所述X向滑动座(210)，且所述X向电机本体(222)的触头与所述X向陶瓷片(221)相配合；和/或，所述X向滑动座(210)沿Y向延伸，所述Y向滑动座(310)沿Y向滑动连接于所述X向滑动座(210)，所述Y向压电陶瓷电机(320)的Y向陶瓷片(321)设于所述X向滑动座(210)且与所述X向滑动座(210)的延伸方向一致，所述Y向压电陶瓷电机(320)的Y向电机本体(322)安装于所述Y向滑动座(310)，且所述Y向电机本体(322)的触头与所述Y向陶瓷片(321)相配合；和/或，所述Y向滑动座(310)沿Z向延伸，所述Z向滑动座(410)沿Z向滑动连接于所述Y向滑动座(310)，所述Z向压电陶瓷电机(420)的Z向陶瓷片(421)设于所述Y向滑动座(310)且与所述Y向滑动座(310)的延伸方向一致，所述Z向压电陶瓷电机(420)的Z向电机本体(422)安装于所述Z向滑动座(410)，且所述Z向电机本体(422)的触头与所述Z向陶瓷片(421)相配合。3.根据权利要求2所述的运动装置，其特征在于，所述基座(100)设有两条均沿X向延伸的X向导轨(510)，且两条所述X向导轨(510)沿Y向间隔排布于所述基座...
【专利技术属性】
技术研发人员：张昊，樊树宝，白龙，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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