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本发明提供一种运动装置及测量设备，涉及集成电路技术领域。该运动装置包括基座、X向运动机构、Y向运动机构和Z向运动机构，其中，X向运动机构包括X向滑动座和X向压电陶瓷电机，X向压电陶瓷电机连接于基座与X向滑动座之间；Y向运动机构包括Y向滑动座...
该专利属于北京华卓精科科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华卓精科科技股份有限公司授权不得商用。

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