一种真空镀膜用同步翻转的工件架制造技术

本发明专利技术公开了一种真空镀膜用同步翻转的工件架，涉及真空镀膜技术领域。本发明专利技术包括中心轴、工件架体和升降架，升降架包括圆环状的底板和顶板，顶板设置在中心轴顶端周侧面并与中心轴转动连接，顶板顶部边缘处固定有若干气缸，若干气缸输出端贯穿顶板并固定有外板体，外板体底部边缘处固定有若干连杆，若干连杆底端固定有内板体，底板通过若干下杆件固定在内板体底部，底板内侧转动连接有内环体，内环体顶部固定有外齿圈，内环体沿着中心轴上下滑动。本发明专利技术通过设计可转动式的中心轴，可驱动中心轴和外齿圈同步转动，配合角度恒定的分架体和齿轮，可同步带动所有分架体同时翻转，自动化工作，工作效率较高且安全性较高。工作效率较高且安全性较高。工作效率较高且安全性较高。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜用同步翻转的工件架


[0001]本专利技术属于真空镀膜
，特别是涉及一种真空镀膜用同步翻转的工件架。

技术介绍

[0002]真空镀膜内上部设置伞状的工件架用于工件的放置支撑，而由于部分工件需要双面镀膜，工件朝上的表面无法镀膜，此时需要对工件进行翻转和翻面，由于工件架上工件数量较多，同时镀膜箱远离箱门的工件由于空间局限性不易操作，固定式的工件架需要配合手动翻料，会影响工作效率同时可能会对工件造成损伤。
[0003]若是将工件架分为多个分架体，通过翻转机构同步控制分架体的翻转，则可极大提高工作效率，然而由于工件架轴心处需要配备竖直式的晶控，占用一定空间，可能会造成翻转机构不易设计和布置的问题，同时工件架与镀膜箱顶部之间的距离相对较短，不利于分架体的翻转，可能会出现干涉情况的出现。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种真空镀膜用同步翻转的工件架，通过设计可转动式的中心轴，可驱动中心轴和外齿圈同步转动，配合角度恒定的分架体和齿轮，可同步带动所有分架体同时翻转，自动化工作，工作效率较高且安全性较本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用同步翻转的工件架，其特征在于：包括中心轴(1)、工件架体(2)和升降架(3)；所述升降架(3)包括圆环状的底板(301)和顶板(302)；所述顶板(302)设置在中心轴(1)顶端周侧面并与中心轴(1)转动连接，所述顶板(302)顶部边缘处固定有若干气缸(303)，若干所述气缸(303)输出端贯穿顶板(302)并固定有外板体(304)，所述外板体(304)底部边缘处固定有若干连杆(305)，若干所述连杆(305)底端固定有内板体(306)，所述底板(301)通过若干下杆件(307)固定在内板体(306)底部；所述底板(301)内侧转动连接有内环体(308)，所述内环体(308)顶部固定有外齿圈(309)，所述内环体(308)沿着中心轴(1)上下滑动，所述内环体(308)与中心轴(1)之间设有导向件；所述底板(301)顶部边缘处呈环状固定有若干安装座(310)，所述安装座(310)与下杆件(307)位置交错；所述工件架体(2)由若干分架体(201)组成，若干所述分架体(201)呈环状设置在底板(301)外侧；所述分架体(201)内侧固定有转轴(202)，所述转轴(202)端部固定有齿轮(203)，所述转轴(202)贯穿安装座(310)并通过轴承与安装座(310)转动连接，所述齿轮(203)与外齿圈(309)啮合；所述中心轴(1)顶端且位于顶板(302)下部的位置固定有上齿轮(101)，所述顶板(302)上设有与上齿轮(101)传动连接的驱动机构。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用同步翻转的工件架，其特征在于，所述中心轴(1)贯穿设置在镀膜箱体(4)顶部，所述中心轴(1)与镀膜箱体(4)之间设有磁流密封(401)。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用同步翻转的工件架，其特征在于，所述中心轴(1)为...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宸佳，李晓刚，
申请(专利权)人：江苏索腾真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：