一种运动平台的抖动检测方法及检测系统技术方案

本发明专利技术提出一种运动平台的抖动检测方法及检测系统，以运动平台匀速运动区域作为抖动检测区域，将抖动检测区域划分为多个子区域，每个子区域划分为多个抖动检测区域，通过稳定的时钟脉冲检测每个抖动检测区域中读数头读取光栅尺位置信息对应的实际时钟脉冲信息，依据每个抖动检测区域的实际时钟脉冲信息获得抖动检测区域的第一检测值，依据抖动检测区域的第一检测值获取对应子区域中的第二检测值，对子区域的第二检测值进行整合，获得抖动检测区域的第三检测值，所述第三检测值与抖动阈值进行比较，判断运动平台是否抖动。实时快速获取运动平台的抖动信息，及时修正运动平台，避免工件报废。免工件报废。免工件报废。

【技术实现步骤摘要】
一种运动平台的抖动检测方法及检测系统


[0001]本专利技术属于加工设备领域，具体涉及对加工设备的运动平台抖动的检测。

技术介绍

[0002]加工设备的载物平台多通过直线电机驱动，使得载物平台可以进行直线运动，如对于印刷电路板的曝光加工设备，加工工件放置于载物平台，通过直线电机驱动载物平台直线运动至曝光镜头下方进行扫描曝光操作。
[0003]目前通常是在加工设备调试期间，通过修改电机的电机参数，使得载物平台的速度环、位置环、电流环达到预期值，保存电机参数数据，供后续加工生产使用。在后续的加工生产过程中需要通过加工产品的缺陷发现载物平台出现抖动，再次通过调试修正电机参数，供后续加工生产使用。由于发现载物平台抖动的滞后，会造成大量的加工工件报废，增加了生产成本。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种实时对运动平台进行抖动检测的方法，以避免加工工件的批量浪费。
[0005]为了解决上述问题，本专利技术提供一种运动平台的抖动检测方法，所述运动平台包括光栅尺和读数头，以运动平台匀速运动区域作为抖动检测区域，将抖动检测区域划分为多个子区域，每个子区域划分为多个抖动检测区域，通过稳定的时钟脉冲检测每个抖动检测区域中读数头读取光栅尺位置信息对应的实际时钟脉冲信息，依据每个抖动检测区域的实际时钟脉冲信息获得抖动检测区域的第一检测值，依据抖动检测区域的第一检测值获取对应子区域中的第二检测值，对子区域的第二检测值进行整合，获得抖动检测区域的第三检测值，所述第三检测值与抖动阈值进行比较，判断运动平台是否抖动。
[0006]进一步的，所述第一检测值通过将实际时钟脉冲信息与理想时钟脉冲信息进行比较，判断其是否超出抖动阈值范围，超出抖动阈值范围计数1，未超出抖动阈值范围计数0。
[0007]进一步的，所述第二检测值为当前子区域及当前子区域前的所有子区域中第一检测值的累计值。
[0008]进一步的，所述第三检测值为所述第二检测值中不同数值的个数。
[0009]进一步的，所述第一检测值通过将实际时钟脉冲信息与所在子区域中已获得的较小的时钟脉冲信息进行比较，所述第一检测值为两者中数值较小的实际时钟脉冲信息。
[0010]进一步的，所述第二检测值为每个子区域中获得的最小的时钟脉冲信息。
[0011]进一步的，所述第三检测值为根据所有第二检测值获得的速度范围值或者时钟信息范围值。
[0012]进一步的，所述实际时钟脉冲信息为抖动精度检测区域对应的时钟脉冲的个数或者时间。
[0013]应用于所述的抖动检测方法的抖动检测系统，其包括主控制单元和抖动检测单
元，所述抖动检测单元包括时钟器、抖动精度区域计算单元和子区域数据存储单元，所述主控制单元控制所述抖动检测单元，所述主控制单元用于设定所述运动平台、检测区域、子区域、抖动检测区域的参数以及抖动阈值，并依据所述抖动检测单元输出的第二检测值获取第三检测值进行判断，所述时钟器用于输出稳定的时钟脉冲，所述抖动精度区域计算单元用于依次获取抖动精度区域的第一检测值，并以子区域为单位获取第二检测值，所述子区域数据存储单元用于分别对应存储所述第二检测值。
[0014]进一步的，所述抖动精度区域计算单元包括比较器和计数器，通过计数器对所述比较器的结果进行计数。
[0015]进一步的，所述抖动精度区域计算单元包括比较器，所述比较器用于将获取的实际时钟脉冲信息与所在子区域中已获得的较小的时钟脉冲信息进行比较，获得第一检测值。
[0016]应用所述抖动检测系统的直写曝光系统，所述直写曝光系统包括运动平台、主控制系统、同步板和空间光调制器控制板（DGB），所述主控制系统控制所述运动平台、同步板和空间光调制器控制板（DGB），所述主控制系统包括所述抖动检测系统的主控制单元，所述抖动检测系统的抖动检测单元设置于所述同步板。
[0017]与现有技术相比，通过所述抖动检测方法及系统，在运动平台进行工件加工的过程中可以实时对运动平台进行抖动检测，避免因为运动平台抖动而造成工件的报废。
附图说明
[0018]图1为运动平台示意图。
[0019]图2为检测区域示意图。
[0020]图3为子区域示意图。
[0021]图4为抖动检测区域判定一实施例示意图。
[0022]图5为抖动检测区域判定一实施例流程图。
[0023]图6为抖动检测系统一实施例示意图。
[0024]图7为子区域检测判定另一实施例示意图。
[0025]图8为抖动检测系统另一实施例示意图。
[0026]图9为抖动检测系统应用于直写曝光系统的示意图。
具体实施方式
[0027]为使本专利技术的技术方案更加清楚明了，下面将结合附图来描述本专利技术的实施例。应当理解的是，对实施方式的具体说明仅用于示教本领域技术人员如何实施本专利技术，而不是用于穷举本专利技术的所有可行方式，更不是用于限制本专利技术的具体实施范围。
[0028]如图1所示，运动平台包括载物平台、驱动机构、控制机构和位置检测机构，所述控制机构向所述驱动机构发出指令，指示所述驱动机构带动所述载物平台移动。所述驱动机构包括平台控制器和驱动电机；所述位置检测机构包括光栅尺和读数头，所述驱动电机驱动所述载物平台移动时，带动所述读数头沿光栅尺移动，所述平台控制器通过所述读数头获取所述光栅尺的位置信息。所述读数头根据光栅尺的分辨率（光栅尺可以识别的最小变化量），每移动一个最小变化量，输出一个位置数据信号。
[0029]对所述运动平台进行抖动检测时，借助性能稳定的时钟器进行计时，将实际的检测时间与理想的检测时间进行比较，进而判断运动平台是否发生抖动。
[0030]如图2
‑
3所示，以运动平台匀速运动的抖动检测进行说明，首先确定运动平台的检测区域，所述检测区域通过光栅尺进行位置检测，将检测区域划分为M个子区域，每个子区域的区域长度相同，再将每个子区域划分为J个抖动精度检测区域，每个抖动精度检测区域的区域长度相同，抖动精度检测区域的区域长度d为光栅尺的分辨率的整数倍。或者先确定抖动精度检测区域的区域长度，然后确定子区域的区域长度。
[0031]根据划分的抖动精度区域以及运动平台的运行线路，依次获取运动平台实际时钟脉冲个数。每个子区域依次获取抖动精度区域实际时钟脉冲个数，将实际时钟脉冲个数与已获得的时钟脉冲个数或者设定的时钟脉冲个数范围进行比较，获得第一检测值，通过抖动检测区域的第一检测值获取对应子区域的第二检测值。依据每个子区域的第二检测值，确定所述检测区域的第三检测值，依据第三检测值判断运动平台是否抖动。
[0032]每个子区域中抖动精度区域获取的实际时钟脉冲个数的比较方式可以采用与理想时钟脉冲个数进行比较，判断其是否在差值阈值范围内，若超出差值阈值范围则进行一次计数；或者基于理想时钟脉冲个数直接获得时钟脉冲个数阈值范围，将实际时钟脉冲个数与时钟脉冲个数阈值范围进行比较，对超出阈值范围的抖动精度区域进行一次计本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运动平台的抖动检测方法，所述运动平台包括光栅尺和读数头，其特征在于:以运动平台匀速运动区域作为抖动检测区域，将抖动检测区域划分为多个子区域，每个子区域划分为多个抖动检测区域，通过稳定的时钟脉冲检测每个抖动检测区域中读数头读取光栅尺位置信息对应的实际时钟脉冲信息，依据每个抖动检测区域的实际时钟脉冲信息获得抖动检测区域的第一检测值，依据抖动检测区域的第一检测值获取对应子区域中的第二检测值，对子区域的第二检测值进行整合，获得抖动检测区域的第三检测值，所述第三检测值与抖动阈值进行比较，判断运动平台是否抖动。2.根据权利要求1所述的抖动检测方法，其特征在于：所述第一检测值通过将实际时钟脉冲信息与理想时钟脉冲信息进行比较，判断其是否超出抖动阈值范围，超出抖动阈值范围计数1，未超出抖动阈值范围计数0。3.根据权利要求2所述的抖动检测方法，其特征在于：所述第二检测值为当前子区域及当前子区域前的所有子区域中第一检测值的累计值。4.根据权利要求3所述的抖动检测方法，其特征在于：所述第三检测值为所述第二检测值中不同数值的个数。5.根据权利要求1所述的抖动检测方法，其特征在于：所述第一检测值通过将实际时钟脉冲信息与所在子区域中已获得的较小的时钟脉冲信息进行比较，所述第一检测值为两者中数值较小的实际时钟脉冲信息。6.根据权利要求5所述的抖动检测方法，其特征在于：所述第二检测值为每个子区域中获得的最小的时钟脉冲信息。7.根据权利要求6所述的抖动检测方法，其特征在于：所述第三检测值为根据所有第二检测值获得的速度范围值或者时钟信息范围值。8.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张书荣，胡传武，胥涛棚，张峰，张雷，
申请(专利权)人：源纳微光学科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：