一种多元红色氮化物靶材的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种多元红色氮化物靶材的制备方法。所述制备方法包括：以酒精为球磨介质、以氮化硅球为磨球对具有所述化学组成的多元红色氮化物荧光粉进行球磨处理，其中磨球、多元红色氮化物荧光粉、酒精的质量比为(5.39～10.9)：(1.71～2.48)：1，球磨时间为8～32小时；将经球磨处理的多元红色氮化物荧光粉放入模具中，预压成型为坯体，其中预压的压力为0.8～3KN，时间为0.5～1min；以及将所述坯体连同模具放入放电等离子体烧结炉中，在真空条件下烧结形成所述多元红色氮化物靶材。结形成所述多元红色氮化物靶材。结形成所述多元红色氮化物靶材。

【技术实现步骤摘要】
一种多元红色氮化物靶材的制备方法


[0001]本专利技术属于无机非金属材料和氮化物靶材制备
，具体涉及一种多元红色氮化物靶材的制备方法。

技术介绍

[0002]氮化物涂层具有高硬度、优异的耐磨、耐环境性能，被广泛应用于合金的表面改性。比如二元AlN材料具有优异的介电性能和导热率高等优良特性，可作为高温绝缘薄膜或半导体表面的钝化膜，在光电子器件和微电子领域存在潜在应用价值。三元TiAlN合金氮化物涂层，可大幅提高涂层的硬度和抗冲蚀性，用于压气机整流器的防护。近年来人们研制出各种新型薄膜材料，其中包括超硬薄膜材料、半导体薄膜材料，复合薄膜等。但是对于稀土掺杂的氮化物薄膜调控发光性质的研究鲜有报道，尤其是目前在多元红色氮化物靶材方面的研究仍是空白。
[0003]靶材是物理气相沉积制备薄膜的材料源，随着我国科技产业的飞速发展，对溅射靶材的需求也不断增加。现有技术主要采用昂贵的高纯金属靶材和反应气氛(如：氮气、氩气等)或高纯复合氮化物靶材，制备氮化物薄膜。并且目前纯氮化物靶材通常采用热等静压法制备，生产成本高。因此，亟须提供一种工艺简便、成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多元红色氮化物靶材的制备方法，其特征在于，所述多元红色氮化物靶材的化学组成为CaAlSiN3:Eu
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，所述制备方法包括：以酒精为球磨介质、以氮化硅球为磨球对具有所述化学组成的多元红色氮化物荧光粉进行球磨处理，其中磨球、多元红色氮化物荧光粉、酒精的质量比为(5.39～10.9)：(1.71～2.48)：1，球磨时间为8～32小时；将经球磨处理的多元红色氮化物荧光粉放入模具中，预压成型为坯体，其中预压的压力为0.8～3KN，时间为0.5～1min；以及将所述坯体连同模具放入放电等离子体烧结炉中，在真空条件下烧结形成所述多元红色氮化物靶材。2.根据权利要求1所述的多元红色氮化物靶材的制备方法，其特征在于，所述球磨速度为200～270转/分钟。3.根据权利要求1或2所述的多元红色氮化物靶材的制备方法，其特征在于，还包括对经球磨处理的多元红...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹蒙蒙，胡松，周国红，
申请(专利权)人：中国科学院上海硅酸盐研究所，
类型：发明
国别省市：