基板处理装置、基板处理方法、半导体制造方法及记录介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供基板处理装置、基板处理方法、半导体制造方法及记录介质。获得能够在利用旋转的臂搬送基板并将所搬送的基板载置于载置台的情况下抑制基板相对于载置台的错位的技术。本公开的技术具备：搬送装置，其具有使轴向为铅垂方向而旋转的轴、和从所述轴沿水平方向延伸并且支承基板的臂，该搬送装置通过使支承着所述基板的所述臂旋转，向载置台的上方搬送所述基板；检测部，其检测支承于所述臂并被搬送的所述基板；搬送控制部，其构成为能够基于所述检测部的检测结果来检测所述基板相对于所述臂的搬送偏移，并以修正所述基板相对于所述载置台的错位的方式控制所述搬送装置；以及处理部，其对载置于所述载置台的所述基板进行处理。处理。处理。

【技术实现步骤摘要】
基板处理装置、基板处理方法、半导体制造方法及记录介质


[0001]本公开涉及基板处理装置、基板处理方法、半导体制造方法及记录介质。

技术介绍

[0002]专利文献1所记载的基板处理装置具备：搬送单元，其向处理室内搬送基板；和第1控制单元，其按照包括由多个序列构成的基板搬送序列的自动搬送处理来控制搬送单元。而且，序列(sequence)具有至少1个以上的在搬送时执行的搬送动作和针对每个搬送动作由传感器进行检查的判定工序。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2010
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206222号公报
[0006]在以往的基板处理装置中，有时检查从真空装置向工艺腔室搬送的基板的搬送动作。换言之，有时检查从一方的单元向另一方的单元搬送的基板的搬送动作。不过，在这样的结构中，无法检查在单元的内部搬送的基板的动作。
[0007]例如，存在如下结构：在单元的内部，使基板支承于臂，通过使该臂旋转从而搬送基板，将所搬送的基板载置于载置台。在这样的结构中，由于使臂旋转，所以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：搬送装置，其具有使轴向为铅垂方向而旋转的轴、和从所述轴沿水平方向延伸并且支承基板的臂，该搬送装置通过使支承着所述基板的所述臂旋转，从而向载置台的上方搬送所述基板；检测部，其检测支承于所述臂并被搬送的所述基板；搬送控制部，其构成为能够基于所述检测部的检测结果来检测所述基板相对于所述臂的搬送偏移，并以修正所述基板相对于所述载置台的错位的方式控制所述搬送装置；以及处理部，其对载置于所述载置台的所述基板进行处理。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述搬送装置具备使所述基板相对于所述载置台升降的升降部，所述搬送控制部在检测到所述基板的搬送偏移的情况下，利用所述升降部使支承于所述臂并被搬送到所述载置台的上方的所述基板上升而与所述臂隔开间隔，在使所述臂旋转而修正了所述臂的位置之后，利用所述升降部使所述基板下降而使所述基板支承于所述臂，由此修正所述基板的搬送偏移而修正所述基板相对于所述载置台的错位。3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述臂设有多个，所述搬送控制部针对每个支承于所述臂而被搬送的所述基板修正相对于所述载置台的错位。4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述检测部检测支承于旋转的所述臂上的所述基板在预先决定的位置通过的定时，所述搬送控制部基于所述检测部的检测结果来修正所述基板相对于所述载置台的错位。5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述检测部利用图像识别来检测支承于旋转的所述臂上的所述基板，所述搬送控制部基于所述检测部的检测结果来修正所述基板相对于所述载置台的错位。6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，具备配置部，该配置部将所述基板配置于在所述臂上支承基板的位置，所述搬送控制部在检测到所述基板的搬送偏移的情况下，...

【专利技术属性】
技术研发人员：高野智，
申请(专利权)人：株式会社国际电气，
类型：发明
国别省市：