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本发明提供基板处理装置、基板处理方法、半导体制造方法及记录介质。获得能够在利用旋转的臂搬送基板并将所搬送的基板载置于载置台的情况下抑制基板相对于载置台的错位的技术。本公开的技术具备：搬送装置，其具有使轴向为铅垂方向而旋转的轴、和从所述轴沿水...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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