一种加速度计摆片加工系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种加速度计摆片加工系统及方法，系统包括液体脱泡机、加热喷涂设备以及可翻转定位温控装置；加热喷涂设备包括上料仓、上料仓温控套筒、点胶喷头以及点胶喷头温控装置；可翻转定位温控装置包括摆片装载框和温控加热盘；上料仓用于存储微晶蜡，所述上料仓温控套筒用于对所述微晶蜡进行加热，所述点胶喷头用于在点胶喷头温控装置的控制下对待涂摆片进行喷涂；摆片装载框用于固定待涂摆片，所述温控加热盘用于将待涂摆片加热至预设温度；加工方法人工操作简单，可重复性高。可重复性高。可重复性高。

【技术实现步骤摘要】
一种加速度计摆片加工系统及方法


[0001]本专利技术涉及加速度计的加工
，尤其涉及一种加速度计摆片加工系统及方法。

技术介绍

[0002]石英挠性加速度计作为一种线加速度传感器，广泛应用于惯性导航、轨道测绘、石油勘探等领域。在惯性导航领域，要求长期输出且稳定性高。石英挠性加速度计的核心部件是摆片，摆片是通过熔融石英玻璃精抛后的毛坯片经过激光切割、湿法化学刻蚀后形成相应的图形，最后在图形上镀金膜形成电学性能。其中，用浓酸的湿法化学刻蚀是最广泛应用的刻蚀方法,化学刻蚀需要先在熔融石英玻璃片表面覆盖一层耐氢氟酸的掩膜，然后将石英摆片连同掩膜一起浸泡在氢氟酸中进行腐蚀。目前石英摆片的蚀刻分两步进行，第一步是刻蚀摆片平桥，分离摆片与刻蚀掩膜并充分清洁摆片后，再进行第二步刻蚀摆片凸台。
[0003]目前采用特种橡胶和铍青铜复合材料作为掩膜，这种掩膜的优点是材料刚度大、耐腐蚀性高，能够长时间浸泡在氢氟酸中不溶胀且能够始终保持掩膜相对石英摆片的密封压力。但铍青铜和橡胶复合掩膜工艺复杂,成本高，手工操作同时对准多个小面积双面刻蚀图形的难度大；且同样压力下小面积图形的橡胶组织与石英材料间压强大，长时间受压接触后容易粘附在石英材料表面难以清除，对后续镀金操作造成妨碍，此外，摆片厚度仅0.7mm，拆装复合掩膜过程中摆片外环有断裂风险。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供了一种加速度计摆片加工系统及方法，能够有效避免拆装复合掩膜过程中摆片外环有断裂风险。
[0005]一种加速度计摆片加工系统，包括液体脱泡机、加热喷涂设备以及可翻转定位温控装置；
[0006]所述加热喷涂设备包括上料仓、上料仓温控套筒、点胶喷头以及点胶喷头温控装置；
[0007]所述可翻转定位温控装置包括摆片装载框和温控加热盘；
[0008]所述上料仓用于存储微晶蜡，所述上料仓温控套筒用于对所述微晶蜡进行加热，所述点胶喷头用于在点胶喷头温控装置的控制下对待涂摆片进行喷涂；
[0009]所述摆片装载框用于固定待涂摆片，所述温控加热盘用于将待涂摆片加热至预设温度。
[0010]进一步地，所述系统还包括清洗装置，用于对喷涂前以及喷涂后的摆片进行清洗和吹干。
[0011]进一步地，所述系统还包括视觉检测装置，用于对摆片安装所述温控加热盘时进行对准。
[0012]进一步地，所述摆片装载框包括圆环形的摆片固定槽、摆片外环固定柱、中心支撑
台以及中心柱，所述摆片固定槽位于所述中心支撑台外围，所述中心柱位于所述中心支撑台的圆心，所述摆片外环固定住位于所述摆片固定槽上；所述摆片固定槽的外围还设置有螺钉孔。
[0013]进一步地，所述温控加热盘包括导热框、加温片、温度传感器以及温度传感器固定框，所述加温片粘接于所述导热框上，所述温度传感器固定框位于所述导热框上，所述温度传感器设置于所述温度传感器固定框上。
[0014]进一步地，所述温度传感器的数量为六个。
[0015]进一步地，所述系统还包括加热喷涂工作台，所述加热喷涂设备设置于所述加热喷涂工作台上。
[0016]一种采用上述系统的加速度计摆片加工方法，包括：
[0017]将微晶蜡放入所述上料仓中，经所述上料仓温控套筒加热至液态；
[0018]将所述上料仓套筒放入所述液体脱泡机中将气泡充分溢出；
[0019]将脱泡后的微晶蜡重新放入所述上料仓中，并进行加热；
[0020]将待涂的摆片固定于所述摆片装载框上，并将所述温控加热盘固定于所述待涂的摆片上，调整所述摆片装载框的位置至水平；
[0021]通过温控加热盘将摆片加热至预设温度，启动所述点胶喷头，通过所述点胶喷头温控装置进行温度控制，对所述待涂的摆片进行喷涂；
[0022]拆除所述温控加热盘，将摆片进行翻转，将所述温控加热盘安装于所述摆片未涂的一面；
[0023]将所述摆片未涂的一面与喷涂的一面进行对准；
[0024]通过温控加热盘将摆片加热至预设温度，启动所述点胶喷头，通过所述点胶喷头温控装置进行温度控制，，对摆片未涂一面进行喷涂；
[0025]将完成喷涂的摆片进行凸台刻蚀，并进行清洗和吹干。
[0026]进一步地，所述摆片在喷涂前和喷涂后，采用清洗装置进行清洗和吹干。
[0027]进一步地，采用视觉检测装置将所述摆片未涂的一面与喷涂的一面进行对准。
[0028]本专利技术提供的加速度计摆片加工系统及方法，至少包括如下有益效果：
[0029]人工操作简单，可重复性高，借助该方法加载摆片凸台刻蚀掩膜，操作效率高、成本低；能够有效保证高分子掩膜与摆片表面的结合强度，且刻蚀后掩膜可通过简单碳氢清洗剂去除，能够完全避免拆装复合掩膜过程中摆片外环断裂风险。
附图说明
[0030]图1为本专利技术提供的加速度计摆片加工系统一种实施例的结构示意图。
[0031]图2为本专利技术提供的加速度计摆片加工系统中加热喷涂设备一种实施例的结构示意图。
[0032]图3为本专利技术提供的加速度计摆片加工系统中摆片一种实施例的结构示意图。
[0033]图4为本专利技术提供的加速度计摆片加工系统中摆片装载框一种实施例的结构示意图。
[0034]图5为图4沿A
‑
A线的剖面图。
[0035]图6为本专利技术提供的加速度计摆片加工系统中温控加热盘一种实施例的结构示意
图。
[0036]图7为本专利技术提供的加速度计摆片加工方法一种实施例的流程图。
具体实施方式
[0037]为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案做详细的说明。
[0038]在本专利技术实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本专利技术。在本专利技术实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义，“多种”一般包含至少两种。
[0039]应当理解，尽管在本专利技术实施例中可能采用术语第一、第二、第三等来描述
……
，但这些
……
不应限于这些术语。这些术语仅用来将
……
区分开。例如，在不脱离本专利技术实施例范围的情况下，第一
……
也可以被称为第二
……
，类似地，第二
……
也可以被称为第一
……
。
[0040]应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0041]取决于语境，如在此所使用的词语“如果”、“若”可以被解释成为“在
……
时”或“当
……
时”或“响应于确定”或“响应于检测”。类似地，取决于语境本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加速度计摆片加工系统，其特征在于，包括液体脱泡机、加热喷涂设备以及可翻转定位温控装置；所述加热喷涂设备包括上料仓、上料仓温控套筒、点胶喷头以及点胶喷头温控装置；所述可翻转定位温控装置包括摆片装载框和温控加热盘；所述上料仓用于存储微晶蜡，所述上料仓温控套筒用于对所述微晶蜡进行加热，所述点胶喷头用于在点胶喷头温控装置的控制下对待涂摆片进行喷涂；所述摆片装载框用于固定待涂摆片，所述温控加热盘用于将待涂摆片加热至预设温度。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括清洗装置，用于对喷涂前以及喷涂后的摆片进行清洗和吹干。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括视觉检测装置，用于对摆片安装所述温控加热盘时进行对准。4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述摆片装载框包括圆环形的摆片固定槽、摆片外环固定柱、中心支撑台以及中心柱，所述摆片固定槽位于所述中心支撑台外围，所述中心柱位于所述中心支撑台的圆心，所述摆片外环固定住位于所述摆片固定槽上；所述摆片固定槽的外围还设置有螺钉孔。5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述温控加热盘包括导热框、加温片、温度传感器以及温度传感器固定框，所述加温片粘接于所述导热框上，所述温度传感器固定框位于所述导热框上，所述温度传感器设置于所述温度传感器固定框上。6.根据权利要求5所述的系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，杨杏敏，袁枫，于湘涛，秦淑斌，于皓，彭振新，彭福英，田丰，刘佳佳，
申请(专利权)人：航天科工惯性技术有限公司，
类型：发明
国别省市：