一种光刻机光源头水冷组件制造技术

本发明专利技术涉及光刻机技术领域，尤其为一种光刻机光源头水冷组件，包括光源主体、水冷装置、水循环装置和导热装置，所述光源主体一侧与水冷装置固定连接，所述水冷装置另一侧与水循环装置固定连接，所述水循环装置一侧固定连接有散热主体，所述导热装置在水循环装置内呈均匀分布，所述水冷装置包括第一盖板、第一挡水主体和第二挡水主体，所述第一盖板一侧固定连接有第二盖板，所述第二盖板与光源主体固定连接，本发明专利技术中，通过设置的通过设置的第一盖板、第二盖板、导热板、第一挡水架、第二挡水架、第一密封条、第一挡水杆、第二挡水杆、第二密封条和出水孔，可以通过其形成的空腔对冷却液进行引导，使冷却液可以有方向的流动，提高散热效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机光源头水冷组件


[0001]本专利技术涉及光刻机
，具体为一种光刻机光源头水冷组件。

技术介绍

[0002]光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，在光刻机使用时，通常需要特定的光源发射装置对硅片进行照射，在光源发射装置持续运行时，会产生大量的热，此时需要通过水冷组件进行散热。
[0003]传统的光刻机光源头水冷组件在使用时，通常直接将水冷组件固定在光刻机的光源发射装置后方，此时通过冷却液将光刻机的光源发射装置内的热量导出，实现散热，此时水冷组件为封闭式结构，在冷却液纯度不高时，会在水冷组件内产生杂质，此时不方便对水冷组件内部进行清理和维护，因此，针对上述问题提出一种光刻机光源头水冷组件。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种光刻机光源头水冷组件，以解决水冷组件内部不方便清理和维护的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种光刻机光源头水冷组件，包括光源主体、水冷装置、水循环装置和导热装置，所述光源主体一侧与水冷装置固定连接，所述水冷装置另一侧与水循环装置固定连接，所述水循环装置一侧固定连接有散热主体，所述导热装置在水循环装置内呈均匀分布，所述水冷装置包括第一盖板、第一挡水主体和第二挡水主体，所述第一盖板一侧固定连接有第二盖板，所述第二盖板与光源主体固定连接，所述第一盖板内固定连接有导热板，所述导热板远离第二盖板的一侧与水循环装置固定连接，所述第一挡水主体设置在第一盖板内，所述第二挡水主体与第二盖板固定连接，所述第一挡水主体一侧与导热板固定连接，所述第一挡水主体包括第一挡水架和第二挡水架，所述第一挡水架内设置有第一密封条，所述第一密封条一侧与第二挡水架紧密贴合，所述第二挡水架设置在第一挡水架内，所述第一挡水架一侧与导热板固定连接，所述第二挡水架一侧与第二盖板固定连接，所述第二挡水主体包括第一挡水杆、第二挡水杆和密封主体，所述第一挡水杆内设有第二密封条，所述第一挡水杆内设有第二挡水杆，所述第二密封条一侧与第二挡水杆紧密贴合，所述第一挡水杆一侧与导热板固定连接，所述第二挡水杆一侧与第二盖板固定连接，所述第二挡水杆一端与密封主体固定连接，所述第二盖板一侧开设有出水孔。
[0006]优选的，所述密封主体包括密封块，所述密封块内与第二挡水杆紧密贴合，所述第二挡水杆两侧均设置有限位条，所述限位条与密封块紧密贴合，所述密封块内与第一挡水杆紧密贴合，所述密封块两侧均设有限位座，所述限位座呈L形设置，所述限位座一侧与第一挡水杆固定连接。
[0007]优选的，所述密封块内设置有U形板，所述密封块内设置有加固板，所述加固板两
个为一组分别设置在第一挡水杆的两侧，所述限位条两个为一组设置在U形板内。
[0008]优选的，所述水循环装置包括上固定壳、下固定壳、固定装置、夹持装置和定位主体，所述上固定壳与下固定壳相互紧密贴合，所述上固定壳与下固定壳内设有导热管，所述导热管一端固定连接有水循环主体，所述导热管另一端设置在定位主体内，所述定位主体另一侧固定连接有连接主体，所述连接主体另一侧与第二盖板固定连接，所述固定装置设置在上固定壳与下固定壳外侧，所述固定装置包括限位框，所述限位框两端均固定连接有固定板，所述固定板内设置有固定螺栓主体，所述固定螺栓主体由螺栓和螺母组成，所述限位框两侧均设有限位块，所述限位块四个为一组分别固定在上固定壳和下固定壳的外侧，所述水循环主体两侧均设有夹持装置，所述夹持装置的个数共有两个，两个所述夹持装置分别与上固定壳和下固定壳固定连接，所述夹持装置包括夹持板，所述夹持板一侧固定连接有缓冲橡胶板，所述夹持板另一侧一端固定连接有安装板，所述安装板内设有安装螺栓主体，所述安装螺栓主体由螺栓和螺母构成，所述定位主体两侧均设有推杆，所述推杆两个为一组分别固定在上固定壳和下固定壳内，所述上固定壳与下固定壳内均固定连接有固定杆，且固定杆另一端设置在连接主体内。
[0009]优选的，所述定位主体包括固定环，所述固定环内开设有限位槽，固定环所开设限位槽内设有密封环，所述密封环内设置有弹力环，所述导热管设置在密封环内，所述导热管外侧固定连接有限位环，所述限位环一侧与密封环紧密贴合，所述限位环另一侧固定连接有定位杆，所述限位环一侧设有推环，所述推环另一侧固定连接有推块，所述推环一侧内开设有定位孔，所述定位杆设置在推环所开设定位孔内，所述推块一侧与推杆紧密贴合。
[0010]优选的，所述导热装置包括散热鳍片和导热套，所述散热鳍片内一侧与导热套固定连接，所述导热套另一侧与导热管紧密贴合，所述散热鳍片另一侧紧密贴合有涨紧套，所述散热鳍片一端外侧设有底座，所述底座内开设有收纳槽，所述底座通过所开设收纳槽与涨紧套紧密贴合，所述导热套一侧固定连接有支撑杆，所述支撑杆另一端固定连接有卡板，所述卡板呈L形设置，所述卡板设置在底座的一侧。
[0011]优选的，所述导热套包括导热环，所述导热管呈弧形设置，所述导热环一侧固定连接有导热杆，所述导热环一侧设有导热硅胶板，所述导热硅胶板一侧与导热管紧密贴合，所述导热硅胶板另一侧开设有呈均匀分布的限位孔，所述导热杆设置在导热硅胶板所开设限位孔内。
[0012]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、本专利技术中，通过设置的第一盖板、第二盖板、导热板、第一挡水架、第二挡水架、第一密封条、第一挡水杆、第二挡水杆、第二密封条和出水孔，可以通过其形成的空腔对冷却液进行引导，使冷却液可以有方向的流动，提高散热效果，通过设置的密封块、U形板、限位条、加固和限位座，在便于第一盖板和第二盖板拆卸的同时，可以有效地对第一挡水杆、第二挡水杆、第一盖板和第二盖板之间的缝隙进行密封，方便对第一盖板和第二盖板内部进行维护和清理；2、本专利技术中，通过设置的水循环主体、连接主体、导热管和定位主体，可以对水冷装置内的冷却液进行循环，提高散热效果，通过设置的上固定壳、下固定壳、限位框、固定板、固定螺栓主体、限位块、夹持板、安装板、安装螺栓主体和缓冲橡胶板，可以在固定螺栓主体的作用下对限位框进行固定，从而通过限位框对上固定壳和下固定壳进行夹持固定，
对导热管进行夹持和防护，同时可以将导热装置定位在导热管外侧，提高散热效果，同时，在安装螺栓主体的作用下，使夹持板通过缓冲橡胶板对水循环主体进行夹持，方便对水循环主体、连接主体和导热管进行固定，使其连接更加稳定，通过设置的固定环、限位槽、限位环、推环、推块、定位杆、定位孔、密封环、弹力环、推杆和固定杆，可以在上固定壳和下固定壳固定在导热管外侧时，通过推杆推动推块和推环，进而在推环的作用下使限位环与密封环紧密贴合，实现对导热管的密封；3、本专利技术中，通过设置的散热鳍片、底座、收纳槽、涨紧套、支撑杆、导热套和卡板，可以方便的将导热管中的热量导出，增加散热面积，同时在使用时，可以将散热鳍片直接插入底座所开设的收纳槽内，通过底座所开设收纳槽内设置的涨紧套进行定位，方便对散热鳍片进行维护和更换，通过设置的导热环本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机光源头水冷组件，包括光源主体（1）、水冷装置（2）、水循环装置（3）和导热装置（5），其特征在于：所述光源主体（1）一侧与水冷装置（2）固定连接，所述水冷装置（2）另一侧与水循环装置（3）固定连接，所述水循环装置（3）一侧固定连接有散热主体（4），所述导热装置（5）在水循环装置（3）内呈均匀分布，所述水冷装置（2）包括第一盖板（21）、第一挡水主体（24）和第二挡水主体（25），所述第一盖板（21）一侧固定连接有第二盖板（22），所述第二盖板（22）与光源主体（1）固定连接，所述第一盖板（21）内固定连接有导热板（23），所述导热板（23）远离第二盖板（22）的一侧与水循环装置（3）固定连接，所述第一挡水主体（24）设置在第一盖板（21）内，所述第二挡水主体（25）与第二盖板（22）固定连接，所述第一挡水主体（24）一侧与导热板（23）固定连接，所述第一挡水主体（24）包括第一挡水架（241）和第二挡水架（242），所述第一挡水架（241）内设置有第一密封条（243），所述第一密封条（243）一侧与第二挡水架（242）紧密贴合，所述第二挡水架（242）设置在第一挡水架（241）内，所述第一挡水架（241）一侧与导热板（23）固定连接，所述第二挡水架（242）一侧与第二盖板（22）固定连接，所述第二挡水主体（25）包括第一挡水杆（251）、第二挡水杆（252）和密封主体（254），所述第一挡水杆（251）内设有第二密封条（253），所述第一挡水杆（251）内设有第二挡水杆（252），所述第二密封条（253）一侧与第二挡水杆（252）紧密贴合，所述第一挡水杆（251）一侧与导热板（23）固定连接，所述第二挡水杆（252）一侧与第二盖板（22）固定连接，所述第二挡水杆（252）一端与密封主体（254）固定连接，所述第二盖板（22）一侧开设有出水孔（26）。2.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头水冷组件，其特征在于：所述密封主体（254）包括密封块（2541），所述密封块（2541）内与第二挡水杆（252）紧密贴合，所述第二挡水杆（252）两侧均设置有限位条（2543），所述限位条（2543）与密封块（2541）紧密贴合，所述密封块（2541）内与第一挡水杆（251）紧密贴合，所述密封块（2541）两侧均设有限位座（2545），所述限位座（2545）呈L形设置，所述限位座（2545）一侧与第一挡水杆（251）固定连接。3.根据权利要求2所述的一种光刻机光源头水冷组件，其特征在于：所述密封块（2541）内设置有U形板（2542），所述密封块（2541）内设置有加固板（2544），所述加固板（2544）两个为一组分别设置在第一挡水杆（251）的两侧，所述限位条（2543）两个为一组设置在U形板（2542）内。4.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头水冷组件，其特征在于：所述水循环装置（3）包括上固定壳（31）、下固定壳（32）、固定装置（35）、夹持装置（36）和定位主体（38），所述上固定壳（31）与下固定壳（32）相互紧密贴合，所述上固定壳（31）与下固定壳（32）内设有导热管（37），所述导热管（37）一端固定连接有水循环主体（33），所述导热管（37）另一端设置在定位主体（38）内，所述定位主体（38）另一侧固定连接有连接主体（34），所述连接主体（34）另一...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞超群，谭军，曹彬，
申请(专利权)人：张家港奇点光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：