一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀制造技术

本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀。本实用新型专利技术提供的用于半导体晶圆收纳容器的通气阀，包括阀座以及阀盖，所述阀座与所述阀盖之间设置有过滤网、密封圈以及导向筒，所述密封圈活动套接在所述导向筒上，所述阀盖上设置有用于推动所述密封圈以对所述过滤网外缘密封的推动座，所述导向筒上设置有导向锥面。本实用新型专利技术中的用于半导体晶圆收纳容器的通气阀，能够将密封圈可靠地安装在通气阀上，并且保证过滤网与通气阀之间具有良好的密闭性。过滤网与通气阀之间具有良好的密闭性。过滤网与通气阀之间具有良好的密闭性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀


[0001]本申请涉及半导体
，具体而言，涉及一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的不断发展，晶圆制程和存储过程中对环境洁净度的要求越来越高，如果遭到微粒、金属的污染或者氧气的氧化，很容易造成晶圆内电路功能的损坏，晶圆良率下降。
[0003]在对存储半导体晶圆的收纳容器进行清洗后，需要去除收纳容器内空气中残留的水分以及微粒等杂质，并且在去除水分杂质后需要在收纳容器上设置通气阀以及过滤网，保持收纳容器正常换气的同时，防止外部空气中的微粒杂质进入收纳容器。
[0004]现有通气阀以及过滤网在安装时，为了满足气密性要求，在过滤网的安装部位设置有密封圈，在密封圈的安装过程中，非常容易被通气阀的内部结构挤压划伤，一方面无法保证密封圈的可靠安装，另一方面使过滤网与通气阀间隙部位的密封性大打折扣。
[0005]基于此，特提出本技术。

技术实现思路

[0006]本申请的目的是提供一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀，能够将密封圈可靠地安装在通气阀上，并且保证过滤网与通气阀之间具有良好的密闭性。
[0007]为了实现上述目的，本技术提供了一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀，包括阀座以及阀盖，所述阀座与所述阀盖之间设置有过滤网、密封圈以及导向筒，所述密封圈活动套接在所述导向筒上，所述阀盖上设置有用于推动所述密封圈以对所述过滤网外缘密封的推动座，所述导向筒上设置有导向锥面。
[0008]在可选的实施方式中，所述导向筒可活动地安装在阀盖上，且位于所述推动座的径向里侧，所述密封圈抵接在所述推动座的端面上。
[0009]在可选的实施方式中，所述阀盖上设置有环形插槽，所述导向筒包括插接段，所述插接段安装在所述环形插槽中。
[0010]在可选的实施方式中，所述导向筒还包括用于对所述密封圈挤压安装的挤压段，所述挤压段的外径大于所述插接段的外径，所述导向锥面设置在所述插接段及所述挤压段之间。
[0011]在可选的实施方式中，所述阀盖内部设置有气路接口，所述气路接口设置在所述推动座的径向里侧，所述环形插槽设置在所述气路接口与所述推动座之间。
[0012]在可选的实施方式中，所述阀座与所述气路接口上均设置有通气孔，所述通气孔的位置相对，所述过滤网设置在所述气路接口与所述阀座之间。
[0013]在可选的实施方式中，所述气路接口突出于所述推动座，所述导向筒的端面与所述过滤网紧贴设置。
[0014]在可选的实施方式中，所述阀盖与所述阀座分体设置，所述阀座安装在收纳容器的里侧，所述阀盖上设置有连接套筒，所述阀座上设置有突出于所述收纳容器的安装接口，所述连接套筒与所述安装接口配合连接。
[0015]在可选的实施方式中，所述连接套筒的里侧壁上设置有内螺纹，所述安装接口的外侧壁上设置有外螺纹，所述连接套筒与所述安装接口配合螺接。
[0016]在可选的实施方式中，所述连接套筒的里侧壁上设置有卡接块，所述安装接口的外侧壁上设置有卡接槽，所述卡接块与所述卡接槽一一对应，所述连接套筒与所述安装接口配合卡接。
[0017]通过在阀座与阀盖之间设置导向筒及密封圈，能够使密封圈对过滤网的外缘部位进行密封，并能够将导向筒及密封圈同时挤压在阀座与阀盖之间，保证对阀座与阀盖间隙的密封效果。
[0018]通过将密封圈活动套接在导向筒上，并在阀盖上设置推动座，能够在阀盖阀座配合连接时，将密封圈推动至过滤网的外缘部位，有效保证了密封圈的可靠安装。
[0019]结合在导向筒上设置的导向锥面，方便了对密封圈的推动安装，同时减少了对密封圈的挤压损伤，有效保证了密封效果。
[0020]同时，通过推动座以及导向筒的相互配合，实现了密封圈定位安装的功能，防止密封圈在过滤网部位的挤压偏斜，有效保证了安装精准度。
[0021]本申请的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0023]图1为本申请中用于半导体晶圆收纳容器的通气阀的结构示意图；
[0024]图2为本申请中阀座与阀盖配合连接后的结构示意图。
[0025]图标：
[0026]1‑
阀盖；11
‑
连接套筒；12
‑
推动座；13
‑
气路接口；14
‑
环形插槽；15
‑
卡接块；
[0027]2‑
阀座；21
‑
安装接口；
[0028]3‑
通气孔；
[0029]4‑
过滤网；
[0030]5‑
导向筒；51
‑
插接段；52
‑
导向段；53
‑
挤压段；54
‑
导向锥面；
[0031]6‑
密封圈。
具体实施方式
[0032]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0033]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0034]在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0035]本申请中用于半导体晶圆收纳容器的通气阀，主要用于半导体晶圆的存储中，具体安装在半导体晶圆的收纳容器上，通过设置过滤网4保证收纳容器在换气的同时，防止外部空气中的微粒杂质进入收纳容器。
[0036]为了满足气密性要求，通气阀内的密封圈6在安装时容易别通气阀的内部结构挤压划伤，且容易变形跑偏，使过滤网4与通气阀间隙部位的密封性大打折扣。
[0037]通过在通气阀内设置导向筒5的形式，便于将密封圈6稳定可靠地安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀，其特征在于，包括阀座以及阀盖，所述阀座与所述阀盖之间设置有过滤网、密封圈以及导向筒，所述密封圈活动套接在所述导向筒上，所述阀盖上设置有用于推动所述密封圈以对所述过滤网外缘密封的推动座，所述导向筒上设置有导向锥面。2.根据权利要求1所述的通气阀，其特征在于，所述导向筒可活动地安装在阀盖上，且位于所述推动座的径向里侧，所述密封圈抵接在所述推动座的端面上。3.根据权利要求1所述的通气阀，其特征在于，所述阀盖上设置有环形插槽，所述导向筒包括插接段，所述插接段安装在所述环形插槽中。4.根据权利要求3所述的通气阀，其特征在于，所述导向筒还包括用于对所述密封圈挤压安装的挤压段，所述挤压段的外径大于所述插接段的外径，所述导向锥面设置在所述插接段及所述挤压段之间。5.根据权利要求3所述的通气阀，其特征在于，所述阀盖内部设置有气路接口，所述气路接口设置在所述推动座的径向里侧，所述环形插槽设置在所述气路接口与所述推动座之间。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：洪巧水，刘小波，邬友权，刘春峰，刘国华，
申请(专利权)人：荣耀半导体材料嘉善有限公司，
类型：新型
国别省市：