一种半导体车间专用全新风处理装置制造方法及图纸

技术编号:37935390 阅读:13 留言:0更新日期:2023-06-21 23:06
本实用新型专利技术公开了一种半导体车间专用全新风处理装置,涉及通风装置技术领域,包括排风机主体,所述排风机主体的内腔固定安装有电机,所述电机的输出轴上固定安装有固定板。本实用新型专利技术安装时通过将固定杆卡入扇叶杆内,使扇叶杆卡扣卡入固定板顶部凹槽,通过旋转旋钮二带动正反螺纹杆二旋转,使移动板向两侧移动,带动卡板卡入扇叶杆卡扣内固定,需要拆卸扇叶时,通过反向旋转旋钮二使正反螺纹杆二反转,将卡板移动出扇叶杆卡扣内壁,扇叶杆即可脱落,解决了现有的半导体车间排风装置扇叶采用螺丝的方式固定安装在电机输出轴上,导致出现需要拆卸清洗扇叶时非常的繁琐,拆卸速度过慢的问题,达到了快捷安装拆卸扇叶杆,提高拆卸效率的效果。卸效率的效果。卸效率的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体车间专用全新风处理装置


[0001]本技术涉及通风装置
,具体涉及一种半导体车间专用全新风处理装置。

技术介绍

[0002]半导体生产制造按照其制造技术可以分为:集成电路器件、分立器件、光电半导体、逻辑IC、模拟IC、储存器等大类,半导体有点属于重污染企业,首先是半导体工厂内会有大量的酸性气体,其次,由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等等,这些溶液主要是有机物质,因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中,会有大量的有机溶剂被使用,其中就包括二甲苯、丙酮、苯、CCl4、CF4、CCl2F2等有毒有害物质,为了防止这些污染会伤害员工、污染环境,半导体工厂需要有极为严格的污染防治措施,包括实时处理工作场所的空气、妥善处理生产废料等,而车间内需要始终保持空气流通,因此会在吊顶上安装排风装置。针对现有技术存在以下问题:
[0003]因为现有的半导体车间排风装置扇叶采用螺丝的方式固定安装在电机输出轴上,导致出现需要拆卸清洗扇叶时非常的繁琐,拆卸速度过慢的问题,同时因为现有的半导体车间排风装置不具备过滤装置,导致出现车间内很多有毒有害物质会随着排风机排出室外,对空气造成污染的问题。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种半导体车间专用全新风处理装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述技术问题,本技术所采用的技术方案是:
[0006]一种半导体车间专用全新风处理装置,包括排风机主体,所述排风机主体的内腔固定安装有电机,所述电机的输出轴上固定安装有固定板,所述固定板的顶部外壁中端固定安装有固定杆,所述固定板的外壁设置有旋钮二,所述旋钮二的底部外壁固定安装有正反螺纹杆二,所述正反螺纹杆二的底部与固定板的内壁活动连接,所述正反螺纹杆二的两侧螺纹外壁活动安装有移动板,所述移动板的底部外壁固定安装有卡板,所述固定杆的外壁卡接有扇叶杆,所述扇叶杆的底部外壁固定安装有扇叶杆卡扣,所述扇叶杆卡扣的外壁与固定板的顶部凹槽卡接,所述卡板的外壁与扇叶杆卡扣的内壁卡接。
[0007]本技术技术方案的进一步改进在于:所述扇叶杆的内壁固定安装有弹扣,所述弹扣的顶端固定安装有压板,所述压板的外壁与固定杆的外壁搭接。
[0008]本技术技术方案的进一步改进在于:所述排风机主体的包括有活性炭吸附板,所述活性炭吸附板的两端固定安装有吸附板底座,所述排风机主体的底部外壁两侧设置有旋钮一,所述旋钮一的底部外壁固定安装有正反螺纹杆一,所述正反螺纹杆一的底部与排风机主体的底部内壁活动连接。
[0009]本技术技术方案的进一步改进在于:所述正反螺纹杆一的外壁活动安装有移
动块,所述排风机主体的底部内腔固定安装有滑杆,所述滑杆的外壁与移动块的一侧内壁滑动连接。
[0010]本技术技术方案的进一步改进在于:所述移动块的顶端活动安装有活动杆,所述活动杆的顶端活动安装有拉杆。
[0011]本技术技术方案的进一步改进在于:所述拉杆的顶部固定安装有固定卡扣,所述固定卡扣的底板内腔活动安装有滑轮,所述滑轮的外壁与排风机主体的底部内壁滑动连接,所述滑轮的外壁与吸附板底座的外壁凹槽卡接。
[0012]由于采用了上述技术方案,本技术相对现有技术来说,取得的技术进步是:
[0013]1、本技术提供一种半导体车间专用全新风处理装置,采用固定板、旋钮二、正反螺纹杆二、移动板、卡板、固定杆、扇叶杆、扇叶杆卡扣的配合,安装时通过将固定杆卡入扇叶杆内,使扇叶杆卡扣卡入固定板顶部凹槽,通过旋转旋钮二带动正反螺纹杆二旋转,使移动板向两侧移动,带动卡板卡入扇叶杆卡扣内固定,需要拆卸扇叶时,通过反向旋转旋钮二使正反螺纹杆二反转,将卡板移动出扇叶杆卡扣内壁,扇叶杆即可脱落,解决了现有的半导体车间排风装置扇叶采用螺丝的方式固定安装在电机输出轴上,导致出现需要拆卸清洗扇叶时非常的繁琐,拆卸速度过慢的问题,达到了快捷安装拆卸扇叶杆,方便清洗扇叶,提高拆卸效率的效果。
[0014]2、本技术提供一种半导体车间专用全新风处理装置,采用活性炭吸附板、吸附板底座、旋钮一、正反螺纹杆一、移动块、活动杆、拉杆、固定卡扣的配合,排风机主体在进行抽风换气时,有害物质通过排风机主体底部安装的活性炭吸附板被吸附,当需要更换活性炭吸附板时通过旋转旋钮一,带动正反螺纹杆一旋转,使移动块向外侧移动,拉动活动杆,通过拉杆将固定卡扣拉出吸附板底座外壁凹槽,即可对活性炭吸附板进行更换,解决了现有的半导体车间排风装置不具备过滤装置,导致出现车间内很多有毒有害物质会随着排风机排出室外,对空气造成污染的问题,达到了使排出空气较为干净,防止污染空气环境的效果。
附图说明
[0015]图1为本技术结构的整体示意图;
[0016]图2为本技术结构的排风机主体剖面示意图;
[0017]图3为本技术结构的活性炭吸附板固定结构示意图;
[0018]图4为本技术结构的固定板剖面示意图。
[0019]图中:1、排风机主体;11、电机;111、固定板;112、旋钮二;113、正反螺纹杆二;114、移动板;115、卡板;116、固定杆;12、扇叶杆;121、扇叶杆卡扣;122、弹扣;123、压板;13、旋钮一;131、正反螺纹杆一;132、滑杆;133、移动块;134、活动杆;135、拉杆;136、固定卡扣;137、滑轮;2、活性炭吸附板;21、吸附板底座。
具体实施方式
[0020]下面结合实施例对本技术做进一步详细说明:
[0021]实施例1
[0022]如图1

4所示,本技术提供了一种半导体车间专用全新风处理装置,包括排风
机主体1,排风机主体1的内腔固定安装有电机11,电机11的输出轴上固定安装有固定板111,固定板111的顶部外壁中端固定安装有固定杆116,固定板111的外壁设置有旋钮二112,旋钮二112的底部外壁固定安装有正反螺纹杆二113,正反螺纹杆二113的底部与固定板111的内壁活动连接,正反螺纹杆二113的两侧螺纹外壁活动安装有移动板114,移动板114的底部外壁固定安装有卡板115,固定杆116的外壁卡接有扇叶杆12,扇叶杆12的底部外壁固定安装有扇叶杆卡扣121,扇叶杆卡扣121的外壁与固定板111的顶部凹槽卡接,卡板115的外壁与扇叶杆卡扣121的内壁卡接。
[0023]在本实施例中,安装扇叶时通过将固定杆116卡入扇叶杆12内,使扇叶杆卡扣121卡入固定板111顶部凹槽,通过旋转旋钮二112带动正反螺纹杆二113旋转,使移动板114向两侧移动,带动卡板115卡入扇叶杆卡扣121内臂固定,需要拆卸扇叶时,通过反向旋转旋钮二112使正反螺纹杆二113反转,将卡板115移动出扇叶杆卡扣121内壁,扇叶杆12即可带动扇叶脱落。
[0024]实施例2
[0025]如图1

4所示,在实施例1的基础上,本技术提供一本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体车间专用全新风处理装置,包括排风机主体(1),其特征在于:所述排风机主体(1)的内腔固定安装有电机(11),所述电机(11)的输出轴上固定安装有固定板(111),所述固定板(111)的顶部外壁中端固定安装有固定杆(116),所述固定板(111)的外壁设置有旋钮二(112),所述旋钮二(112)的底部外壁固定安装有正反螺纹杆二(113),所述正反螺纹杆二(113)的底部与固定板(111)的内壁活动连接,所述正反螺纹杆二(113)的两侧螺纹外壁活动安装有移动板(114),所述移动板(114)的底部外壁固定安装有卡板(115),所述固定杆(116)的外壁卡接有扇叶杆(12),所述扇叶杆(12)的底部外壁固定安装有扇叶杆卡扣(121),所述扇叶杆卡扣(121)的外壁与固定板(111)的顶部凹槽卡接,所述卡板(115)的外壁与扇叶杆卡扣(121)的内壁卡接。2.根据权利要求1所述的一种半导体车间专用全新风处理装置,其特征在于:所述扇叶杆(12)的内壁固定安装有弹扣(122),所述弹扣(122)的顶端固定安装有压板(123),所述压板(123)的外壁与固定杆(116)的外壁搭接。3.根据权利要求1所述的一种半导体车间专用全新风处理装...

【专利技术属性】
技术研发人员:李省三闫青张泽宇马新宇龚正
申请(专利权)人:同方芯洁能天津科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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